技術(shù)編號：12416741
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，尤其涉及一種用于磷化銦多晶水平合成的裝置及合成過程中的壓力平衡控制方法。背景技術(shù)磷化銦是具戰(zhàn)略性的重要半導(dǎo)體材料之一，在光通信、毫米波高頻、低噪聲、寬帶微電子集成等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用。磷化銦基的長波長(1.3-1.55μm)發(fā)光二極管、激光器和探測器已廣泛用于光纖通信系統(tǒng)，磷化銦基的異質(zhì)結(jié)雙極晶體管(HBT)、高電子遷移率晶體管(HEMT)也已用于新一代高速通信系統(tǒng)，磷化銦還是太赫茲領(lǐng)域的首選材料之一。用半絕緣磷化銦制造的高頻低噪聲器件是新一代雷達通信、衛(wèi)星通訊的關(guān)鍵元...
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