本發(fā)明涉及工業(yè)氣體生產(chǎn)與凈化領(lǐng)域，尤其涉及一種超純氨凈化裝置及其凈化方法。

背景技術(shù)：

電子級超純氨是一種非常重要的工業(yè)基礎(chǔ)材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路IC、液晶顯示器LCD、半導(dǎo)體發(fā)光器件LED以及太陽能電池PV等行業(yè)。近年來，隨著全球石油等能源資源逐漸減少和環(huán)境污染，溫室效應(yīng)對氣候的影響，世界各國大力發(fā)展清潔能源以及節(jié)能技術(shù)，重點關(guān)注低碳經(jīng)濟。在此背景之下，我國的太陽能電池和半導(dǎo)體發(fā)光器件及相關(guān)產(chǎn)業(yè)得到了迅猛發(fā)展。在生產(chǎn)制造過程中，都需要用到大量的超純氨作為氮源，尤其是LED晶片在生長時，所用的氨的純度越高，制備的LED功耗越小，發(fā)光強度越大。因此，生產(chǎn)電子級超純氨在未來將擁有廣闊的市場前景。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是針對以上不足之處，提供了一種超純氨凈化裝置及其凈化方法，進行液氨精餾凈化，提高了液氨的凈化效率和凈化效果。

本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的方案是：一種超純氨凈化裝置，包括依次連通設(shè)置的原料預(yù)處理系統(tǒng)、精餾凈化系統(tǒng)和產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)，所述原料預(yù)處理系統(tǒng)、精餾凈化系統(tǒng)和產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)均與一冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)相連通；所述精餾凈化系統(tǒng)包括一用于將重組分水與氨分離的第一精餾塔和用于將輕組分與氨分離的第二精餾塔，所述第一精餾塔的頂部和底部分別連通設(shè)有第一冷凝器和第一再沸器，所述第二精餾塔的頂部和底部分別連通設(shè)有第二冷凝器和第二再沸器，所述第一冷凝器與所述第二精餾塔相連通，所述第一冷凝器和第二冷凝器還分別經(jīng)一廢氨排放調(diào)節(jié)閥與一廢氨冷凝器相連通，所述廢氨冷凝器的出口端與一廢氨槽和一廢氨吸收塔相連通，所述廢氨槽經(jīng)一廢氨泵與一廢氨罐連通，所述廢氨吸收塔經(jīng)一氨水泵與一用于盛放氨水的氨水回收槽相連通，所述廢氨吸收塔內(nèi)設(shè)有盛放有水用于吸收廢氨的水槽；所述第一精餾塔的頂部和第二精餾塔的下部還分別設(shè)有一用于檢測第一精餾塔內(nèi)水分含量和第二精餾塔內(nèi)輕組分含量的微量水分儀和氦離子化氣相色譜儀，所述微量水分儀、氦離子化氣相色譜儀和廢氨排放調(diào)節(jié)閥與一控制器電連。

進一步的，所述第一再沸器和第二再沸器與冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)的熱水輸出端相連通，所述第一冷凝器和第二冷凝器與冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)的冷水輸出端相連通。

進一步的，所述冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)采用PHNIX熱泵機組，包括若干組用于輸出冷水和熱水的冷熱聯(lián)供機組、若干組用于輸出冷水的制冷模塊機組以及分別用于存儲回流的冷水和熱水的冷水箱和熱水箱，所述冷水箱和熱水箱分別經(jīng)一冷水循環(huán)泵和一熱水循環(huán)泵與冷熱聯(lián)供機組相連通，所述制冷模塊機組與冷熱聯(lián)供機組相連通。

進一步的，所述原料預(yù)處理系統(tǒng)包括一用于盛放液氨的液氨槽車、用于儲存液氨的原料罐、用于儲存氣化后液氨的氣化罐，所述液氨槽車與原料罐之間連通設(shè)置有一第一液氨泵，所述原料罐與氣化罐之間還連通設(shè)置有一第二液氨泵，所述氣化罐的出口端依次經(jīng)除油器和過濾器與第一精餾塔中部相連通。

進一步的，所述氣化罐內(nèi)還環(huán)繞設(shè)有一熱水管，所述熱水管的入口端和出口端均設(shè)置于氣化罐外側(cè)，并且熱水管的入口端處和出口端處分別設(shè)有一調(diào)節(jié)閥，所述熱水管與所述冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)相連通，所述調(diào)節(jié)閥與所述控制器電連。

進一步的，所述產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)包括一個以上的產(chǎn)品罐和緩沖罐，所述產(chǎn)品罐和緩沖罐均與第二精餾塔相連通，每個產(chǎn)品罐的出口端均與產(chǎn)品槽車相連通，每個產(chǎn)品罐的出口端處還設(shè)有一開關(guān)閥，每個緩沖罐分別經(jīng)一產(chǎn)品泵與一產(chǎn)品T甁相連通，所述產(chǎn)品槽車和產(chǎn)品T甁的下端均設(shè)有一電子秤，所述電子秤和開關(guān)閥與所述控制器電連。

進一步的，所述產(chǎn)品罐和緩沖罐均由內(nèi)筒和外筒內(nèi)外套設(shè)組成，并且內(nèi)筒和外筒之間形成一密封的夾層，所述夾層連通一進水管，所述進水管與所述冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)相連通。

進一步的，所述產(chǎn)品T甁分別經(jīng)一保溫管道與各自的緩沖罐相連通，所述產(chǎn)品泵對應(yīng)設(shè)置于保溫管道上。

本發(fā)明還提供一種如上述所述的超純氨凈化裝置的凈化方法，包括以下步驟：

步驟S1：原料液氨經(jīng)原料預(yù)處理系統(tǒng)先進行氣化形成氨氣，然后經(jīng)除油、過濾后輸入至第一精餾塔；

步驟S2：將原料預(yù)處理系統(tǒng)輸出的氨氣先輸入第一精餾塔中部，進行氨與重組分水的分離，在第一精餾塔塔頂獲得含水小于10ppb的氨氣；

步驟S3：含水小于10ppb的氨氣經(jīng)第一冷凝器進入第二精餾塔，進行氨與輕組分的分離，在第二精餾塔獲得純度為7N的液氨，形成產(chǎn)品液氨；

步驟S4：將第二精餾塔的產(chǎn)品液氨輸入至產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)，按照產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)中產(chǎn)品槽車和產(chǎn)品T甁的充裝系數(shù)進行產(chǎn)品液氨的充裝。

進一步的，在步驟S2中，在第一精餾塔塔頂獲得含水小于10ppb的氨氣，包括以下步驟：

步驟S21：將原料預(yù)處理系統(tǒng)輸出的氨氣與第一精餾塔塔頂?shù)牡谝焕淠鬟M行熱質(zhì)交換；

步驟S22：其中部分氨氣經(jīng)第一冷凝器被液化成液氨回流至第一精餾塔的塔內(nèi)，在第一精餾塔的塔底中第一再沸器的作用下，部分液氨氣化，自下而上作為上升蒸汽參與精餾；

步驟S23：液氨中重組分水未被氣化存留在第一精餾塔塔內(nèi)，間斷開啟第一精餾塔塔底的廢氨排放調(diào)節(jié)閥，將液氨中重組分水排出至第一精餾塔塔外；

步驟S24：通過第一精餾塔的精餾凈化，獲得含水小于10ppb的氨氣。

進一步的，在步驟S3中，獲得純度為7N的液氨，包括以下步驟：

步驟S31：將含水小于10ppb的氨氣輸入至第二精餾塔中；

步驟S32：含水小于10ppb的氨氣經(jīng)第二冷凝器產(chǎn)生液氨回流至第二精餾塔內(nèi)，與第二再沸器內(nèi)上升蒸汽在第二精餾塔塔內(nèi)的填料層不斷進行熱質(zhì)交換：

步驟S33：開啟第二冷凝器的廢氨排放調(diào)節(jié)閥，輕組分從第二精餾塔塔頂?shù)牡诙淠髋懦?，第二精餾塔塔釜獲得純度為7N的液氨。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明有以下有益效果：通過原料預(yù)處理系統(tǒng)、精餾凈化系統(tǒng)和產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)實現(xiàn)對原料液氨進行凈化，獲得純度為7N的液氨。同時通過廢氨吸收塔和廢氨罐回收凈化過程中產(chǎn)生的廢氨，實現(xiàn)廢氨回收；通過冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)提供原料預(yù)處理系統(tǒng)、精餾凈化系統(tǒng)和產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)中冷熱水的循環(huán)供應(yīng)，其中原料預(yù)處理系統(tǒng)、精餾凈化系統(tǒng)、產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)、廢氨的回收以及冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)之間通過控制器智能控制，提高液氨的凈化效率和凈化效果。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明專利進一步說明。

圖1為本發(fā)明實施例超純氨凈化裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2本發(fā)明實施例精餾凈化系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本發(fā)明實施例原料預(yù)處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本發(fā)明實施例產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為本發(fā)明實施例冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)的供水流程圖。

圖中：1-第一精餾塔；2-第二精餾塔；3-第一冷凝器；4-第二冷凝器；5-第一再沸器；6-第二再沸器；7-廢氨冷凝器；8-廢氨槽；9-廢氨吸收塔；10-氨水回收槽；11-廢氨罐；12-氨水泵；13-廢氨泵；14-廢氨排放調(diào)節(jié)閥；15-液氨槽車；16-原料槽；17-氣化罐；170-熱水管；18-除油器；19-過濾器；20-第一液氨泵；21-第二液氨泵；22-產(chǎn)品罐；23-緩沖罐；24-產(chǎn)品泵；25-產(chǎn)品T甁；26-產(chǎn)品槽車。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本發(fā)明進一步說明。

如圖1～5所示，本實施例的一種超純氨凈化裝置，包括依次連通設(shè)置的原料預(yù)處理系統(tǒng)、精餾凈化系統(tǒng)和產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)，所述原料預(yù)處理系統(tǒng)、精餾凈化系統(tǒng)和產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)均與一冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)相連通；所述精餾凈化系統(tǒng)包括一用于將重組分水與氨分離的第一精餾塔1和用于將輕組分與氨分離的第二精餾塔2，所述第一精餾塔1的頂部和底部分別連通設(shè)有第一冷凝器3和第一再沸器5，所述第二精餾塔2的頂部和底部分別連通設(shè)有第二冷凝器4和第二再沸器6，所述第一冷凝器3與所述第二精餾塔2相連通，所述第一冷凝器3和第二冷凝器4還分別經(jīng)一廢氨排放調(diào)節(jié)閥14與一廢氨冷凝器7相連通，所述廢氨冷凝器7的出口端與一廢氨槽8和一廢氨吸收塔9相連通，所述廢氨槽8經(jīng)一廢氨泵13與一廢氨罐11連通，所述廢氨吸收塔9經(jīng)一氨水泵12與一用于盛放氨水的氨水回收槽10相連通，所述廢氨吸收塔9內(nèi)設(shè)有盛放有水用于吸收廢氨的水槽；所述第一再沸器5和第二再沸器6還連通一有冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)；所述第一精餾塔1的頂部和第二精餾塔2的下部還分別設(shè)有一用于檢測第一精餾塔1內(nèi)水分含量和第二精餾塔2內(nèi)輕組分含量的微量水分儀和氦離子化氣相色譜儀，所述微量水分儀、氦離子化氣相色譜儀和廢氨排放調(diào)節(jié)閥14與一控制器電連。將原料預(yù)處理系統(tǒng)輸出的氨氣依次輸入至第一精餾塔1和第二精餾塔2，分別實現(xiàn)重組分與氨的分離和輕組分與氨的分離。其中重組分為水，輕組分為氫、氮、氬、氧、一氧化碳、二氧化碳及碳氫化合物等等。來自原料預(yù)處理系統(tǒng)的氨氣先進入第一精餾塔1中部，與第一冷凝器3液化的回流液氨在填料層進行熱質(zhì)交換，進塔的部分氨氣被液化回流至第一精餾塔1塔內(nèi)，在第一精餾塔1塔底再沸器的作用下，部分液氨氣化自下而上作為上升蒸汽參與精餾，而重組分水未被氣化存留在塔釜，間斷排出塔外。通過第一精餾塔1的精餾凈化，從塔頂可獲得含水小于10ppb的氨氣。除掉水分的氨氣自第一精餾塔1頂部的第一冷凝器3進入第二精餾塔2，進行氨與輕組分的分離，在塔頂?shù)诙淠?和塔底第二再沸器6的作用下，回流液與上升蒸汽在塔內(nèi)的填料層不斷進行熱質(zhì)交換，輕組分隨少量氨氣從塔頂冷凝器排出，在第二精餾塔2塔釜可獲得純度為7N的液氨。其中原料預(yù)處理系統(tǒng)、精餾凈化系統(tǒng)、產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)均與冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)相連通。通過微量水分儀和氦離子化氣相色譜儀檢查第一精餾塔和第二精餾塔氨中的重組分水的含量和輕組分的含量，通過控制器進行監(jiān)測，調(diào)整第一精餾塔和第二精餾塔的參數(shù)，包括流量、壓力、溫度以及液位。所述控制器為DCS控制模塊或者通過單片機控制，所述控制器還可以與外部PC機連接。

在第一冷凝器3和第二冷凝器4設(shè)有廢氨排放調(diào)節(jié)閥14，第一精餾塔1頂部氨中水分超標時，通過控制器控制廢氨排放調(diào)節(jié)閥14自動對廢氨進行排放；第二冷凝器4中含輕組分的廢氨必須連續(xù)進行排放。來自第一精餾塔1和第二精餾塔2的廢氨經(jīng)廢氨冷凝器7部分液化進入廢氨槽8，由廢氨泵13打入廢氨罐11回收。含輕組分未被液化的廢氨氣則進入廢氨吸收塔9，與水混合生成氨水輸入至氨水回收槽10；未能混合的輕組分及少量氨氣通過廢氨吸收塔9中高25米的排放口進行排放。

在本實施例中，所述第一再沸器5和第二再沸器6與冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)的熱水輸出端相連通，所述第一冷凝器3和第二冷凝器4與冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)的冷水輸出端相連通。

如圖5所示，在本實施例中，所述冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)采用PHNIX熱泵機組，包括若干組用于輸出冷水和熱水的冷熱聯(lián)供機組、若干組用于輸出冷水的制冷模塊機組以及分別用于存儲冷水和熱水的冷水箱和熱水箱，所述冷水箱和熱水箱分別經(jīng)熱水循環(huán)泵和冷水循環(huán)泵與冷熱聯(lián)供機組相連通，所述制冷模塊機組與冷熱聯(lián)供機組的冷水出水口相連通。第一再沸器5和第二再沸器6中與冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)中的熱水供水口連通，第一冷凝器3和第二冷凝器4與冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)中冷水供水口相連通，實現(xiàn)第一再沸器5、第二再沸器6、第一冷凝器3和第二冷凝器4的工作；如圖4所示，原料預(yù)處理系統(tǒng)、精餾凈化系統(tǒng)、產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)都要用到大量的冷水和熱水，占整個能量消耗的90%以上，為節(jié)省能耗，降低成本，采用PHNIX熱泵機組，其中冷熱聯(lián)供機組5臺，其中2臺備用；制冷模塊機組2臺，其中1臺備用；能同時產(chǎn)生65℃～85℃的高溫?zé)崴?℃～25℃的冷水。冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)中冷熱聯(lián)供機組可同時生產(chǎn)冷水和熱水，因5臺冷熱聯(lián)供機組生產(chǎn)的熱水夠用，冷水不能滿足需要，所以另配置2臺只生產(chǎn)冷水的制冷模塊機組，從冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)中產(chǎn)出的冷、熱水分別經(jīng)冷水供水口和熱水供水口輸送至產(chǎn)品罐22、緩沖罐23、氣化罐17、第一再沸器5、第二再沸器6、第一冷凝器3和第二冷凝器4，然后產(chǎn)品罐22、緩沖罐23、氣化罐17、第一再沸器5、第二再沸器6、第一冷凝器3和第二冷凝器4輸出的冷水或熱水分別經(jīng)冷水回水口或熱水回水口回流至進入冷水箱或熱水箱，后經(jīng)冷水循環(huán)泵或熱水泵增壓循環(huán)使用。所述熱水箱和冷水箱還經(jīng)一自來水補水口與自來水管相連通。冷熱聯(lián)供機組的熱水出水口和冷水出水口相連通，并且制冷模塊機組的冷水出水口與冷熱聯(lián)供機組的冷水出水相連通后輸出至冷水供水口，冷熱聯(lián)供機組的熱水出水口與熱水供水口相連通。

如下為最低產(chǎn)量情況下3臺冷熱聯(lián)供機組和1臺制冷模塊機組運行狀況，3臺冷熱聯(lián)供機組電功率為106.8kw，1臺制冷模塊機組電功率為31.6kw，冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)總能耗為：

（106.8kw + 31.6kw）÷0.9 = 153.8kw；

按最低產(chǎn)量150kg/h計算，每kg超純氨的能耗為：

153.8kw ÷150kg/h = 1.025kwh/kg。

在本實施例中，所述原料預(yù)處理系統(tǒng)包括一用于盛放液氨的液氨槽車15、用于儲存液氨的原料罐16、用于液氨氣化的氣化罐17，所述液氨槽車15與原料罐16之間連通設(shè)置有一第一液氨泵20，所述原料罐16與氣化罐17之間還連通設(shè)置有一第二液氨泵21，所述氣化罐17的出口端依次經(jīng)除油器18和過濾器19與第一精餾塔1中部相連通。原料液氨由液氨槽車15經(jīng)第一液氨泵20充入原料罐16儲存，再由第二液氨泵21充入氣化罐17。

在本實施例中，所述氣化罐17內(nèi)還環(huán)繞設(shè)有一熱水管170，所述熱水管170的入口端和出口端均設(shè)置于氣化罐17外側(cè)，并且熱水管170的入口端處和出口端處分別設(shè)有一調(diào)節(jié)閥，所述熱水管170與所述冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)相連通，所述調(diào)節(jié)閥與所述控制器電連。在氣化罐17中，由冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)輸入熱水至熱水管170中，將液氨加熱到一定溫度，液氨氣化為相應(yīng)的飽和蒸汽壓，然后氨氣經(jīng)除油器18、過濾器19輸入至第一精餾塔1中。

在本實施例中，所述產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)包括一個以上的產(chǎn)品罐22和緩沖罐23，所述產(chǎn)品罐22和緩沖罐23均與第二精餾塔2相連通，每個產(chǎn)品罐22的出口端均與產(chǎn)品槽車26相連通，每個產(chǎn)品罐22的出口端處還設(shè)有一開關(guān)閥，每個緩沖罐23分別經(jīng)一產(chǎn)品泵24與一產(chǎn)品T甁25相連通，所述產(chǎn)品槽車26和產(chǎn)品T甁25的下端均設(shè)有一電子秤，所述電子秤和開關(guān)閥與所述控制器電連。將第二精餾塔2的產(chǎn)品液氨分別進入產(chǎn)品罐22和緩沖罐23，產(chǎn)品罐22用于產(chǎn)品液氨的儲存，進行產(chǎn)品槽車26的充裝；緩沖罐23用于產(chǎn)品T瓶的充裝，產(chǎn)品液氨從緩沖罐23經(jīng)產(chǎn)品泵24增壓，產(chǎn)品液氨通過保溫管道充入產(chǎn)品T瓶；按照產(chǎn)品槽車26和產(chǎn)品T甁25的充裝系數(shù)進行產(chǎn)品液氨的充裝。

在本實施例中，所述產(chǎn)品罐22和緩沖罐23均由內(nèi)筒和外筒內(nèi)外套設(shè)組成，并且內(nèi)筒和外筒之間形成一密封的夾層，所述夾層連通一進水管，所述進水管與所述冷熱水供應(yīng)系統(tǒng)相連通。所述夾層內(nèi)可以通入流入冷水或熱水，儲存時夾層流入冷水，利于產(chǎn)品儲存；充裝產(chǎn)品槽車26時，產(chǎn)品罐22流入熱水進行增壓，提高充壓效率。

在本實施例中，所述產(chǎn)品T甁25分別經(jīng)一保溫管道與各自的緩沖罐23相連通，所述產(chǎn)品泵24對應(yīng)設(shè)置于保溫管道上。

如圖1-4中，PG為就地壓力表，PY為壓力轉(zhuǎn)換器，PT為壓力變送器，TE為溫度檢測器，LT為液位變送器，F(xiàn)T為差壓變送器。

本發(fā)明還提供一種如上述所述的超純氨凈化裝置的凈化方法，包括以下步驟：

步驟S1：原料液氨經(jīng)原料預(yù)處理系統(tǒng)先進行氣化形成氨氣，然后經(jīng)除油、過濾后輸入至第一精餾塔1；

步驟S2：將原料預(yù)處理系統(tǒng)輸出的氨氣先輸入第一精餾塔1中部，進行氨與重組分水的分離，在第一精餾塔1塔頂獲得含水小于10ppb的氨氣；

步驟S3：含水小于10ppb的氨氣經(jīng)第一冷凝器3進入第二精餾塔2，進行氨與輕組分的分離，在第二精餾塔2獲得純度為7N的液氨，形成產(chǎn)品液氨；

步驟S4：將第二精餾塔2的產(chǎn)品液氨輸入至產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)，按照產(chǎn)品儲存充裝系統(tǒng)中產(chǎn)品槽車26和產(chǎn)品T甁25的充裝系數(shù)進行產(chǎn)品液氨的充裝。

在本實施例中，在步驟S2中，在第一精餾塔1塔頂獲得含水小于10ppb的氨氣，包括以下步驟：

步驟S21：將原料預(yù)處理系統(tǒng)輸出的氨氣與第一精餾塔1塔頂?shù)牡谝焕淠?進行熱交換；

步驟S22：其中部分氨氣經(jīng)第一冷凝器3被液化成液氨回流至第一精餾塔1的塔內(nèi)，在第一精餾塔1的塔底第一再沸器5的作用下，部分液氨氣化，自下而上作為上升蒸汽參與精餾；

步驟S23：液氨中重組分水未被氣化存留在第一精餾塔1塔釜，間斷開啟第一精餾塔1塔底的廢氨排放調(diào)節(jié)閥14，將液氨中重組分水排出至第一精餾塔1塔外；

步驟S24：通過第一精餾塔1的精餾凈化，獲得含水小于10ppb的氨氣。

在本實施例中，在步驟S3中，獲得純度為7N的液氨，包括以下步驟：

步驟S31：將含水小于10ppb的氨氣輸入至第二精餾塔2中；

步驟S32：含水小于10ppb的氨氣經(jīng)第二冷凝器4產(chǎn)生液氨回流至第二精餾塔2內(nèi)，與第二再沸器6內(nèi)上升蒸汽在第二精餾塔2塔內(nèi)的填料層不斷進行熱質(zhì)交換：

步驟S33：開啟第二冷凝器4的廢氨排放調(diào)節(jié)閥14，輕組分從第二精餾塔2塔頂?shù)牡诙淠?排出，第二精餾塔2塔釜獲得純度為7N的液氨。

綜上所述，本發(fā)明提供的一種超純氨凈化裝置及其凈化方法，可以實現(xiàn)廢氨自動回收，凈化效率高，凈化效果好，可以獲得純度為7N的液氨。

上列較佳實施例，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點進行了進一步詳細說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。