技術(shù)編號：12569249
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及工業(yè)氣體生產(chǎn)與凈化領(lǐng)域，尤其涉及一種超純氨凈化裝置及其凈化方法。背景技術(shù)電子級超純氨是一種非常重要的工業(yè)基礎(chǔ)材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路IC、液晶顯示器LCD、半導(dǎo)體發(fā)光器件LED以及太陽能電池PV等行業(yè)。近年來，隨著全球石油等能源資源逐漸減少和環(huán)境污染，溫室效應(yīng)對氣候的影響，世界各國大力發(fā)展清潔能源以及節(jié)能技術(shù)，重點(diǎn)關(guān)注低碳經(jīng)濟(jì)。在此背景之下，我國的太陽能電池和半導(dǎo)體發(fā)光器件及相關(guān)產(chǎn)業(yè)得到了迅猛發(fā)展。在生產(chǎn)制造過程中，都需要用到大量的超純氨作為氮源，尤其是LED晶片在生長時(shí)，所用的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。