技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種三氯氫硅生產(chǎn)系統(tǒng)，包括蒸發(fā)器、熱氫化爐、冷氫化反應(yīng)器、過(guò)濾器、冷凝器和提純分離塔，熱氫化爐與冷氫化反應(yīng)器相連，將熱氫化后的尾氣通入冷氫化反應(yīng)器內(nèi)反應(yīng)；過(guò)濾器與冷氫化反應(yīng)器相連以過(guò)濾冷氫化反應(yīng)器的尾氣；蒸發(fā)器與熱氫化爐、過(guò)濾器和冷凝器相連，蒸發(fā)器將作為原料的四氯化硅與氫氣與過(guò)濾后的尾氣換熱，尾氣通入冷凝器；冷凝器將尾氣冷凝獲得氯硅烷；提純分離塔將液態(tài)氯硅烷分離提純分離。本發(fā)明還提供了一種三氯氫硅生產(chǎn)工藝。本發(fā)明的三氯氫硅生產(chǎn)系統(tǒng)及工藝，可以有效利用熱氫化尾氣余熱，并把熱氫化產(chǎn)生的副產(chǎn)物氯化氫作為原料參與冷氫化反應(yīng)，降低電耗，提高原料利用率，降低整體運(yùn)行成本。

技術(shù)研發(fā)人員：齊林喜;趙亮;陳建宇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：內(nèi)蒙古盾安光伏科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.27
技術(shù)公布日：2017.08.18