技術(shù)編號：11502386
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種三氯氫硅的生產(chǎn)工藝及系統(tǒng)。背景技術(shù)三氯氫硅作為多晶硅生產(chǎn)的原料，其制備方式一般分為熱氫化和冷氫化，熱氫化主要以四氯化硅和氫氣作為原料，在超過一千度的高溫下進行，生成三氯氫硅和氯化氫氣體，此反應(yīng)為吸熱反應(yīng)。而冷氫化則是以硅粉、四氯化硅和氫氣作為原料，在冷氫化反應(yīng)器中反應(yīng)，合成三氯氫硅，冷氫化需要的溫度相對較低(550度左右)。但上述兩種傳統(tǒng)的三氯氫硅生產(chǎn)工藝目前轉(zhuǎn)化率都較低，而且能耗高，造成三氯氫硅的生產(chǎn)成本較高，這也是多晶硅成本較高的一個原因。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是：提供...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。