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一種超高純涂層石英坩堝的制作方法與流程
文檔序號:11645290
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來源:國知局
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一種超高純涂層石英坩堝的制作方法與流程
技術特征:
技術總結
本發(fā)明公開了一種超高純涂層石英坩堝的制作方法,以超高純石英砂作為原料,通過球磨、混料攪拌制成料漿,采用流延、噴涂或刷涂工藝在石英坩堝上制成一種超高純涂層,降低了坩堝滲透至多晶硅錠的雜質量,提升了硅錠質量,降低了多晶硅鑄錠成本。
技術研發(fā)人員:
周勇;李衛(wèi);川上泉;寺西久広;占克文
受保護的技術使用者:
杭州晶鑫科技有限公司
技術研發(fā)日:
2016.01.21
技術公布日:
2017.07.28
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