技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供比以往的硅材料更理想的硅材料及其制造方法。一種碳被覆硅材料的制造方法，其特征在于，包括如下工序：層狀硅化合物制造工序，使CaSi2與酸反應(yīng)而制成層狀硅化合物；硅材料制造工序，將上述層狀硅化合物在300℃以上加熱而制成硅材料；被覆工序，用碳被覆上述硅材料；清洗工序，用相對(duì)介電常數(shù)5以上的溶劑清洗上述硅材料或經(jīng)過(guò)上述被覆工序的硅材料。

技術(shù)研發(fā)人員：近藤剛司;杉山佑介;合田信弘;高橋睦;毛利敬史;新美知宏;阿部友邦;曾根宏隆;齊藤淳志;佐伯昭裕
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社豐田自動(dòng)織機(jī)
文檔號(hào)碼：201580045448
技術(shù)研發(fā)日：2015.07.17
技術(shù)公布日：2017.05.31