本發(fā)明屬于導(dǎo)電薄膜材料的合成技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種銀-鎳酸鑭復(fù)合導(dǎo)電薄膜材料的制備方法。

背景技術(shù)：

鐵電薄膜材料是一類應(yīng)用廣泛的功能薄膜材料，其通常采用Pt或Ti等金屬薄膜作為鐵電薄膜的電極材料，但是由于金屬本身的原因使得在金屬電極上制備的鐵電薄膜存在明顯的極化疲勞現(xiàn)象。因此，人們想到用導(dǎo)電金屬氧化物代替金屬作為電極材料以提高器件的使用壽命。鎳酸鑭是一種具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的金屬氧化物，它在很多方面具有優(yōu)良的性質(zhì)，如室溫導(dǎo)電性和制備成本低廉等。鎳酸鑭導(dǎo)電薄膜材料的這些優(yōu)良性質(zhì)決定了鎳酸鑭導(dǎo)電薄膜不僅可以作為鐵電薄膜的底電極，而且可以作為具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的鐵電導(dǎo)電薄膜的緩沖層使用。在眾多制備鎳酸鑭導(dǎo)電薄膜材料的方法中，化學(xué)溶液沉積法具有制備工藝簡單，反應(yīng)溫度低且反應(yīng)易于進(jìn)行等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明解決的技術(shù)問題是提供了一種銀-鎳酸鑭復(fù)合導(dǎo)電薄膜材料的制備方法。

本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題采用如下技術(shù)方案，一種銀-鎳酸鑭復(fù)合導(dǎo)電薄膜材料的制備方法，其特征在于包括以下步驟：（1）以乙二醇甲醚為溶劑，以硝酸鑭、醋酸鎳和硝酸銀為溶質(zhì)配制綠色透明溶液，其中La³⁺、Ni²⁺和Ag⁺的摩爾比為1:1:0.03-0.07，La³⁺的摩爾濃度為0.1mol/L；（2）將步驟（1）中配制的綠色透明溶液滴到基片上進(jìn)行旋涂鍍膜，先以1000轉(zhuǎn)/分的速率旋涂9秒，再以4000轉(zhuǎn)/分的速率旋涂50秒得到前驅(qū)體濕膜；（3）將步驟（2）得到的前驅(qū)體濕膜放入馬弗爐中于750℃退火處理5分鐘；（4）重復(fù)步驟（2）和（3）多次制得所需厚度的銀-鎳酸鑭復(fù)合導(dǎo)電薄膜材料，其中最后一次的退火時(shí)間延長為30分鐘。

本發(fā)明采用化學(xué)溶液沉積法制得的銀-鎳酸鑭復(fù)合導(dǎo)電薄膜材料，有效提高了鎳酸鑭導(dǎo)電薄膜材料的導(dǎo)電性，具有工藝簡單、成本低廉、組成均勻和可大面積成膜等優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例制得的復(fù)合導(dǎo)電薄膜材料的方塊電阻隨銀含量的變化曲線。

具體實(shí)施方式

以下通過實(shí)施例對本發(fā)明的上述內(nèi)容做進(jìn)一步詳細(xì)說明，但不應(yīng)該將此理解為本發(fā)明上述主題的范圍僅限于以下的實(shí)施例，凡基于本發(fā)明上述內(nèi)容實(shí)現(xiàn)的技術(shù)均屬于本發(fā)明的范圍。

實(shí)施例1

（1）以乙二醇甲醚為溶劑，以硝酸鑭、醋酸鎳和硝酸銀為溶質(zhì)配制綠色透明溶液，其中La³⁺、Ni²⁺和Ag⁺的摩爾比為1:1:0.001，La³⁺的摩爾濃度為0.1mol/L；（2）將步驟（1）中配制的綠色透明溶液滴到基片上進(jìn)行旋涂鍍膜，先以1000轉(zhuǎn)/分的速率旋涂9秒，再以4000轉(zhuǎn)/分的速率旋涂50秒得到前驅(qū)體濕膜；（3）將步驟（2）得到的前驅(qū)體濕膜放入馬弗爐中于750℃退火處理5分鐘；（4）重復(fù)步驟（2）和（3）6次制得所需厚度的銀-鎳酸鑭復(fù)合導(dǎo)電薄膜材料，其中最后一次的退火時(shí)間延長為30分鐘。

實(shí)施例2

（1）以乙二醇甲醚為溶劑，以硝酸鑭、醋酸鎳和硝酸銀為溶質(zhì)配制綠色透明溶液，其中La³⁺、Ni²⁺和Ag⁺的摩爾比為1:1:0.03，La³⁺的摩爾濃度為0.1mol/L；（2）將步驟（1）中配制的綠色透明溶液滴到基片上進(jìn)行旋涂鍍膜，先以1000轉(zhuǎn)/分的速率旋涂9秒，再以4000轉(zhuǎn)/分的速率旋涂50秒得到前驅(qū)體濕膜；（3）將步驟（2）得到的前驅(qū)體濕膜放入馬弗爐中于750℃退火處理5分鐘；（4）重復(fù)步驟（2）和（3）6次制得所需厚度的銀-鎳酸鑭復(fù)合導(dǎo)電薄膜材料，其中最后一次的退火時(shí)間延長為30分鐘。

對比例1

（1）以乙二醇甲醚為溶劑，以硝酸鑭和醋酸鎳為溶質(zhì)配制綠色透明溶液，其中La³⁺和Ni²⁺的摩爾比為1:1，La³⁺的摩爾濃度為0.1mol/L；（2）將步驟（1）中配制的綠色透明溶液滴到基片上進(jìn)行旋涂鍍膜，先以1000轉(zhuǎn)/分的速率旋涂9秒，再以4000轉(zhuǎn)/分的速率旋涂50秒得到前驅(qū)體濕膜；（3）將步驟（2）得到的前驅(qū)體濕膜放入馬弗爐中于750℃退火處理5分鐘；（4）重復(fù)步驟（2）和（3）6次制得所需厚度的鎳酸鑭復(fù)合導(dǎo)電薄膜材料，其中最后一次的退火時(shí)間延長為30分鐘。

如圖1所示，隨著Ag的摻入，鎳酸鑭導(dǎo)電薄膜材料的方塊電阻升高，在摻入Ag的量在0.03和0.07時(shí)，銀-鎳酸鑭復(fù)合導(dǎo)電薄膜材料的方塊電阻基本相當(dāng)，為純鎳酸鑭導(dǎo)電薄膜材料的75%左右。

以上實(shí)施例僅為說明本發(fā)明的技術(shù)思想，不能以此限定本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡是按照本發(fā)明提出的技術(shù)思想，在技術(shù)方案基礎(chǔ)上所做的任何改動(dòng)，均落入本發(fā)明保護(hù)范圍之內(nèi)。