專利名稱：多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及多晶硅的生產(chǎn)，具體地說是一種多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理方法及裝置。
背景技術(shù)：
多晶硅是當(dāng)今發(fā)展微電子產(chǎn)業(yè)和太陽能產(chǎn)業(yè)的重要基礎(chǔ)原材料，是跨化工、冶金、 機(jī)械、電子等多學(xué)科、多領(lǐng)域的高新技術(shù)產(chǎn)品。
隨著光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，對(duì)多晶硅的需求量迅速增長，中國作為全球最大的多晶硅消費(fèi)地，在中國國內(nèi)多晶硅一直供不應(yīng)求。近年來中國國內(nèi)興建了許多較大規(guī)模的多晶硅項(xiàng)目，一些已經(jīng)興建的相對(duì)小規(guī)模的多晶硅項(xiàng)目也在不斷擴(kuò)建。多晶硅行業(yè)在近幾年得到了飛速發(fā)展。
氯硅烷液體是在多晶硅的生產(chǎn)工藝中最重要的原料，氯硅烷主要在三個(gè)工序中生成，三氯氫硅合成工序、三氯氫硅還原工序及四氯化硅氫化工序，在這些工序被分離出來的氯硅烷液體分別被貯存在原料氯硅烷貯槽、還原氯硅烷貯槽及氫化氯硅烷貯槽中，然后用泵抽出，送入氯硅烷分離提純工序的不同精餾塔中，分離提純精制三氯氫硅，三氯氫硅是生成多晶硅的重要原料。
氯硅烷液體的主要成份是三氯氫硅TCS、四氯化硅STC、少量的氯化氫氣體以及一些固體雜質(zhì)，這些固體雜質(zhì)主要是硅粉和I^ci2。這些固體雜質(zhì)的存在直接影響后序工藝的質(zhì)量及提純效率。
傳統(tǒng)的處理工藝是在氯硅烷液體管線上安裝袋式過濾器，用于過濾分離其中的固體雜質(zhì)。但是由于液體中的固體雜質(zhì)含量相對(duì)較多，即使袋式過濾器做的很大，濾袋也很快會(huì)被堵塞，需要頻繁打開過濾器更換濾袋。含有硅粉的氯硅烷液體遇到空氣就會(huì)迅速燃燒， 而被過濾下來的固體雜質(zhì)也會(huì)爆燃，很難處理，氯硅烷液體過濾工位經(jīng)常出現(xiàn)危險(xiǎn)事故，人員被燒傷現(xiàn)象也時(shí)有發(fā)生。所以氯硅烷液體的處理成了各多晶硅生產(chǎn)廠家需要攻克的生產(chǎn)難題。
現(xiàn)在有很多生產(chǎn)廠家采用多臺(tái)設(shè)備并聯(lián)安裝，一用幾備的方式操作，既一臺(tái)袋式過濾器在線過濾，其它幾臺(tái)過濾器離線通入安全置換氣體，對(duì)過濾器內(nèi)部氣體置換以后打開過濾器上蓋，再空置一段時(shí)間，認(rèn)為安全后人工更換濾袋，被過濾出來的渣體被密封填埋。這種操作方式較單臺(tái)過濾器工作的方式安全了許多，但是這種配置設(shè)備數(shù)量多，占地空間大，設(shè)備維護(hù)人員增加，耗材消耗量大，維護(hù)費(fèi)用高。這種方案有時(shí)也難免會(huì)出現(xiàn)問題。在這種化工廠，一點(diǎn)小火就可能引起大禍，這也是多晶硅廠經(jīng)常出現(xiàn)事故的原因之一。
隨著國內(nèi)多晶硅產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展，規(guī)模、產(chǎn)量的不斷擴(kuò)大，隨之而來的多晶硅生產(chǎn)過程中出現(xiàn)的安全和環(huán)保問題也日益突出。多晶硅生產(chǎn)中排出的污染物的治理也變得越來越重要。一些未經(jīng)處理的氯硅烷是具有強(qiáng)腐蝕性的有毒有害液體或氣體，對(duì)安全和環(huán)境危害很大。因此，氯硅烷液體的安全、有效、穩(wěn)定的處理工藝已成為整個(gè)多晶硅產(chǎn)業(yè)鏈中急需解決的瓶頸之一。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)上述問題，提供一種安全、環(huán)保的多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理方法，為此，本發(fā)明還提供了一種應(yīng)用該處理方法的裝置。
按照本發(fā)明的技術(shù)方案一種多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理方法，氯硅烷液體被送入管式過濾器進(jìn)行過濾，過濾后的氯硅烷液體進(jìn)入多晶硅生產(chǎn)的后續(xù)工序，被管式過濾器攔截下來的固體雜質(zhì)排入密閉式排渣罐，向排渣罐內(nèi)通入適量空氣并加熱排渣罐， 使排渣罐內(nèi)的固體雜質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成二氧化硅粉末及氯化氫氣體。
所述氯化氫氣體被送入鹽酸吸收池，循環(huán)吸收制成鹽酸溶液。
一種多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理裝置，包括帶有液體入口、液體出口及排渣口的管式過濾器，所述排渣口位于所述管式過濾器的底部，所述排渣口與位于所述管式過濾器下方的排渣罐相連通，所述排渣罐上設(shè)有空氣入口、氣體出口及固定排放口，所述固定排放口位于所述排渣罐的底部，所述排渣罐外設(shè)置有輔助加熱系統(tǒng)。
所述排渣罐的氣體出口與鹽酸吸收池相通。
所述管式過濾器包括設(shè)置在過濾器筒體內(nèi)的至少兩根集液管，每根所述集液管上懸吊有至少兩根過濾元件，每根所述過濾元件包括一根不鉆孔的中心管及圍繞所述中心管的六根鉆孔的流通管，所述六根流通管的外圍包裹有濾布。
所述管式過濾器與反沖洗系統(tǒng)相連，所述反沖洗系統(tǒng)包括設(shè)置在所述管式過濾器頂部的第一反洗閥、溢流閥及排氣閥，以及安裝在每根所述集液管出液管上的第二反洗閥， 所述第二反洗閥與所述第一反洗閥并聯(lián)后與反清洗氣體入口相通。
所述集液管出液管與所述管式過濾器之間設(shè)置有差壓變送器。
所述管式過濾器上設(shè)置有安全氣體置換閥，所述安全氣體置換閥與安全氣體置換系統(tǒng)相連。
所述管式過濾器設(shè)置有兩臺(tái)，并聯(lián)連接。
所述管式過濾器與全自動(dòng)控制系統(tǒng)相連。
本發(fā)明的技術(shù)效果在于本發(fā)明通過管式過濾器對(duì)氯硅烷液體進(jìn)行有效過濾，去除其中的固體雜質(zhì)，并對(duì)被過濾攔截的危險(xiǎn)雜質(zhì)進(jìn)行了無害化處理；整個(gè)系統(tǒng)全密閉式運(yùn)行，過濾元件使用壽命長，無危險(xiǎn)工況發(fā)生，解決了長期以來氯硅烷液體難于處理的技術(shù)難題，達(dá)到了過濾效率高、環(huán)保、安全、穩(wěn)定運(yùn)行的目的。


圖1為本發(fā)明中的處理方法的工藝流程示意框圖。
圖2為本發(fā)明中的處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。
圖2中，包括底部排渣閥1、殘液返回閥2、進(jìn)液閥3、管式過濾器4、過濾元件5、集液管6、溢流閥7、供氣閥8、供水閥9、第一反洗閥10、排氣閥11、差壓變送器12、第二反洗閥 13、出液閥14、安全氣體置換閥15、氯化氫氣體出口閥16、排渣罐17、二氧化硅排放閥18、輔助加熱系統(tǒng)19、空氣入口閥20等。
本發(fā)明采用管式過濾器對(duì)氯硅烷液體進(jìn)行過濾處理，該管式過濾器的結(jié)構(gòu)采用專利號(hào)為200820057362. 4，專利名稱為“一種催化劑回收過濾器”的中國實(shí)用新型專利。
如圖1所示，是一種多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理方法的工藝流程示意框圖。該處理方法是待過濾的氯硅烷液體被送入管式過濾器進(jìn)行過濾，過濾后的潔凈的氯硅烷液體進(jìn)入多晶硅生產(chǎn)的后續(xù)工序，被管式過濾器攔截下來的固體雜質(zhì)從過濾器底部排出，直接排入密閉式排渣罐，向排渣罐內(nèi)通入適量空氣并通過輔助加熱裝置加熱排渣罐，使排渣罐內(nèi)的固體雜質(zhì)與空氣當(dāng)中的氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成穩(wěn)定的二氧化硅粉末及較純凈的氯化氫氣體。二氧化硅粉末可有多種用途，如做為水泥的填加劑回收利用。氯化氫氣體被送入鹽酸吸收池，循環(huán)吸收制成濃度為30%左右的鹽酸溶液回收利用，少量未吸收的其它氣體經(jīng)中和處理后達(dá)標(biāo)排放。該處理操作簡單，維護(hù)方便，無危險(xiǎn)，無污染。
如圖2所示，是一種多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理裝置，包括管式過濾器4。 管式過濾器4可以設(shè)置成單臺(tái)連續(xù)工作，這時(shí)就要在線排渣，只能排出漿料狀的渣體。要使氯硅烷液體被最大限度的保留，就要使被過濾下來的殘?jiān)毫孔畹?，形成的濾餅最干，即所謂的干渣排放，就只能離線排渣，所以過濾器一般設(shè)置成多臺(tái)并聯(lián)，以幾用一備的方式工作，本實(shí)施例中設(shè)置有兩臺(tái)，并聯(lián)連接，一用一備，一臺(tái)過濾器在線過濾工作，另一臺(tái)過濾器離線排渣反沖洗，使濾芯外表面形成的濾餅充分干燥，只保留其中的固體雜質(zhì)，氯硅烷液體少量殘留，近似干渣排放。
管式過濾器4上設(shè)置有液體入口、液體出口及排渣口。氯硅烷液體通過進(jìn)液閥3 與管式過濾器4的液體入口相通，液體出口通過出液閥14與后續(xù)工序相通，排渣口位于管式過濾器4的底部，通過底部排渣閥1與位于管式過濾器4下方的排渣罐17相連通。過濾器4的底部還設(shè)置有殘液返回閥2，與殘液儲(chǔ)罐相連。排渣罐17上設(shè)有帶有空氣入口閥20 的空氣入口、帶有氯化氫氣體出口閥16的氣體出口及帶有二氧化硅排放閥18的固定排放口，固定排放口位于排渣罐17的底部。排渣罐17的氣體出口與鹽酸吸收池相通。排渣罐 17外設(shè)置有輔助加熱系統(tǒng)19。
管式過濾器4包括設(shè)置在過濾器筒體內(nèi)的至少兩根集液管6，每根集液管6上懸吊有至少兩根過濾元件5。每根過濾元件5由兩部分組成，內(nèi)部是6+1式的金屬管式結(jié)構(gòu)，包括一根不鉆孔的中心管及圍繞中心管的六根鉆孔的流通管，既作為支撐骨架，又作為濾管； 外部是包裹在六根流通管外圍的濾布，濾布是實(shí)際的過濾介質(zhì)，用專用的卡箍使其密封緊固在過濾元件的表面。這種結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)是既有非金屬濾布的過濾精度高、過濾效率高的優(yōu)點(diǎn)，又具有很高的強(qiáng)度和耐沖擊性能，內(nèi)部的6根管結(jié)構(gòu)，使濾布不能完全與內(nèi)部金屬管貼合，更利于反吹抖動(dòng)，排卸濾餅。這種特殊的管式結(jié)構(gòu)，使得高于過濾元件以上的液體可以全部被過濾出去，過濾更充分，不浪費(fèi)母液，而且濾渣含液量也達(dá)到最低，減少原料浪費(fèi)。當(dāng)過濾器4開始過濾工作時(shí)，濾液從過濾元件5的外部進(jìn)入過濾元件5內(nèi)部，固體雜質(zhì)被攔截在濾布外表面形成濾餅，潔凈的濾液從過濾元件5的頂部流到集液管6，從集液管6連接的出口排出過濾器4。
管式過濾器4與反沖洗系統(tǒng)相連，可使過濾器4長期全自動(dòng)運(yùn)行，不需要經(jīng)常打開過濾器4更換過濾元件5，使整個(gè)系統(tǒng)始終保持密閉運(yùn)行，使氯硅烷液體不接觸空氣，無爆燃危險(xiǎn)。反沖洗系統(tǒng)包括設(shè)置在管式過濾器4頂部的第一反洗閥10、溢流閥7及排氣閥11，以及安裝在每根集液管6出液管上的第二反洗閥13。第二反洗閥13與第一反洗閥10并聯(lián)后，通過供氣閥8與反清洗氣體入口相通，通過供水閥9與反洗水入口相通。管式過濾器4 上還設(shè)置有安全氣體置換閥15，安全氣體置換閥15與安全氣體置換系統(tǒng)相連。
管式過濾器4與全自動(dòng)控制系統(tǒng)相連。本發(fā)明中的所有設(shè)備的自動(dòng)控制共用一套 PLC控制系統(tǒng)，也可以集中到整個(gè)項(xiàng)目的DCS控制系統(tǒng)中進(jìn)行統(tǒng)一控制操作。本系統(tǒng)在管式過濾器4的進(jìn)液腔和集液管6的出液管間安裝了差壓變送器12。過濾、反吹、排渣過程有差壓和時(shí)間兩種控制模式。從進(jìn)液、過濾液固分離、排殘液、濾餅干燥、反吹濾餅脫落、排渣、濾渣與空氣反應(yīng)生成二氧化硅粉粒及氯化氫氣體、二氧化硅粉體收集密封包裝及氯化氫氣體排到吸收塔，整個(gè)流程全自動(dòng)控制，全密閉運(yùn)行，無任何泄漏和環(huán)境污染，運(yùn)行安全方便。
如圖2所示，本發(fā)明中的處理裝置的工作過程如下當(dāng)過濾器A正在過濾工作時(shí)， 過濾器B排渣反沖洗，反沖洗結(jié)束后待機(jī)。當(dāng)過濾器A開始過濾時(shí)，先打開進(jìn)液閥3、過濾器頂部的溢流閥7和排氣閥11，其它閥門都處于關(guān)閉狀態(tài)，氯硅烷液體經(jīng)進(jìn)液閥3進(jìn)入過濾器 4的內(nèi)部，使氯硅烷液體充滿過濾器4，當(dāng)溢流口有溢流液體時(shí)，關(guān)閉溢流閥7和排氣閥11， 打開出液閥14，氯硅烷液體通過過濾元件5，由過濾元件5將氯硅烷液體中的固體雜質(zhì)攔截在過濾元件5的外表面，被過濾的潔凈的氯硅烷液體通過過濾元件5進(jìn)入到集液管6，再從出液閥14排出過濾器4。隨著過濾時(shí)間的增加，被攔截的固體雜質(zhì)越來越多，固體雜質(zhì)在過濾元件5的外表面集聚形成濾餅。隨著濾餅不斷增厚，過濾器4的進(jìn)液腔和出液管線間的壓差也越來越大，當(dāng)濾餅達(dá)到一定厚度時(shí)，壓差達(dá)到設(shè)定值，過濾器A停止過濾，過濾器B開始過濾。過濾器A開始排渣，關(guān)閉出液閥14，打開殘液返回閥2、供氣閥8、第一反洗閥10， 向過濾器4內(nèi)通入氮?dú)鈱⑦^濾器A底部的殘留原液送回原料罐，關(guān)閉殘液返回閥2，打開出液閥14，繼續(xù)通入氮?dú)猓瑢V餅中所含的液體擠出，形成含液量很低的干濾餅，此時(shí)，一部分濾餅由于干燥開裂而自行脫落到過濾器4底部。關(guān)閉出液閥14及第一反洗閥10，打開第二反洗閥13及底部排渣閥1，反向通入氮?dú)鈴倪^濾元件5內(nèi)部向外反吹，使過濾元件5外部的濾布抖動(dòng)，殘留的一些濾餅會(huì)被反吹脫落到過濾器4底部，這些渣體通過底部排渣閥1排到排渣罐17中。
被過濾攔截的固體顆粒排放到排渣罐17后，關(guān)閉底部排渣閥1，打開空氣入口閥 20，通入空氣，同時(shí)打開輔助加熱系統(tǒng)19，對(duì)排渣罐17加熱，使排渣罐17內(nèi)的溫度達(dá)到設(shè)定溫度，關(guān)閉輔助加熱系統(tǒng)19，排渣罐17內(nèi)的固體顆粒與空氣中的氧氣反應(yīng)生成穩(wěn)定的二氧化硅粉末及氯化氫氣體，打開氯化氫氣體出口閥16，氯化氫氣體被排放到鹽酸吸收池。反應(yīng)結(jié)束后，繼續(xù)通入一段時(shí)間的空氣，使排渣罐17內(nèi)的氯化氫氣體被排出，關(guān)閉氯化氫氣體出口閥16，打開二氧化硅排放閥18，將生成的二氧化硅粉末排入包裝袋，經(jīng)包裝后可送到水泥廠等處回收利用。
當(dāng)過濾元件5經(jīng)過幾次反吹排渣后，過濾元件5外部的濾布的孔隙率會(huì)下降，需要徹底沖洗。打開供水閥9、第二反洗閥13、排氣閥11及殘液返回閥2，關(guān)閉其它閥門，從集液管6向過濾元件5內(nèi)部通入一段時(shí)間的反洗水，從過濾元件5內(nèi)部向外清洗濾布，使濾布孔隙內(nèi)殘留的固體雜質(zhì)被反沖出去，隨反洗水脫到過濾器4底部。關(guān)閉第二反洗閥13，打開第一反洗閥10，通入反洗水，從過濾器4頂部向過濾元件5外部沖洗濾布，附著在濾布外面的固體雜質(zhì)會(huì)隨著反洗水掉落到過濾器4底部，這些含有固體雜質(zhì)的反洗液經(jīng)殘液返回閥 2排到殘液管道內(nèi)。
當(dāng)檢修過濾器4或更換過濾元件5外的濾布時(shí)需要打開過濾器4，此時(shí)需要先打開安全氣體置換系統(tǒng)，將過濾器4內(nèi)部的氣體完全置換。打開排氣閥11和安全氣體置換閥 15，其它閥門均關(guān)閉，通入安全氣體，系統(tǒng)開始?xì)怏w置換，直到設(shè)定時(shí)間，過濾器4內(nèi)部的氣體都被安全氣體置換以后，關(guān)閉排氣閥11和安全氣體置換閥15，過濾器4才能打開進(jìn)行檢修或更換過濾元件5外的濾布。安全氣體置換系統(tǒng)可防止出現(xiàn)爆燃現(xiàn)象，防止操作人員受到傷害。
本發(fā)明通過管式過濾器對(duì)氯硅烷液體進(jìn)行有效過濾，去除了其中的固體雜質(zhì)，并對(duì)被過濾攔截的危險(xiǎn)雜質(zhì)進(jìn)行了無害化處理；采用特殊結(jié)構(gòu)的管式過濾器，使整個(gè)系統(tǒng)全密閉式運(yùn)行，做到了全自動(dòng)反沖洗及全自動(dòng)排渣處理，過濾元件使用壽命長，無需經(jīng)常更換，無危險(xiǎn)工況發(fā)生，解決了長期以來氯硅烷液體難于處理的技術(shù)難題，達(dá)到了過濾效率高、環(huán)保、安全、穩(wěn)定運(yùn)行的目的。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)1、本發(fā)明是利用管式過濾器過濾攔截氯硅烷液體中的固體雜質(zhì)，過濾效率可達(dá)到 99. 5%以上，過濾效率高。
2、過濾系統(tǒng)是全封閉式全自動(dòng)反沖洗過濾系統(tǒng)，在過濾過程中整個(gè)系統(tǒng)全封閉全自動(dòng)運(yùn)行，靠系統(tǒng)的壓差和運(yùn)行時(shí)間控制排渣或?qū)^濾元件進(jìn)行反沖洗，延長過濾元件的使用壽命，不需要頻繁更換過濾元件，確保無泄漏，避免了經(jīng)常打開過濾器而發(fā)生危險(xiǎn)，保證現(xiàn)場工作環(huán)境清潔環(huán)保。
3、本發(fā)明可以最大限度過濾氯硅烷液體，可做到無殘液干渣排放，不浪費(fèi)原液，減少經(jīng)濟(jì)損失。
4、過濾元件采用復(fù)合管式結(jié)構(gòu)，強(qiáng)度高，耐沖擊，機(jī)械性能好，易于形成濾餅層，也易于反清洗濾布。
5、被過濾攔截的濾渣在排渣罐中發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成較純凈的二氧化硅(SiO2)粉末和氯化氫(HCl)氣體，二氧化硅可做為建筑等行業(yè)的填加料，氯化氫氣體被送入吸收池， 利用水循環(huán)系統(tǒng)吸收可制成30%以上濃度的鹽酸溶液回收利用，可創(chuàng)造一定的經(jīng)濟(jì)價(jià)值。
權(quán)利要求
1.一種多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理方法，其特征是氯硅烷液體被送入管式過濾器進(jìn)行過濾，過濾后的氯硅烷液體進(jìn)入多晶硅生產(chǎn)的后續(xù)工序，被管式過濾器攔截下來的固體雜質(zhì)排入密閉式排渣罐，向排渣罐內(nèi)通入適量空氣并加熱排渣罐，使排渣罐內(nèi)的固體雜質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成二氧化硅粉末及氯化氫氣體。
2.按照權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理方法，其特征是所述氯化氫氣體被送入鹽酸吸收池，循環(huán)吸收制成鹽酸溶液。
3.一種多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理裝置，包括帶有液體入口、液體出口及排渣口的管式過濾器(4)，所述排渣口位于所述管式過濾器(4)的底部，所述排渣口與位于所述管式過濾器(4)下方的排渣罐(17)相連通，所述排渣罐(17)上設(shè)有空氣入口、氣體出口及固定排放口，所述固定排放口位于所述排渣罐(17)的底部，所述排渣罐(17)外設(shè)置有輔助加熱系統(tǒng)(19)。
4.按照權(quán)利要求3所述的多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理裝置，其特征是所述排渣罐(17)的氣體出口與鹽酸吸收池相通。
5.按照權(quán)利要求3所述的多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理裝置，其特征是所述管式過濾器(4 )包括設(shè)置在過濾器筒體內(nèi)的至少兩根集液管(6 )，每根所述集液管(6 )上懸吊有至少兩根過濾元件(5)，每根所述過濾元件(5)包括一根不鉆孔的中心管及圍繞所述中心管的六根鉆孔的流通管，所述六根流通管的外圍包裹有濾布。
6.按照權(quán)利要求5所述的多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理裝置，其特征是所述管式過濾器(4)與反沖洗系統(tǒng)相連，所述反沖洗系統(tǒng)包括設(shè)置在所述管式過濾器(4)頂部的第一反洗閥(10)、溢流閥(7)及排氣閥(11)，以及安裝在每根所述集液管(6)出液管上的第二反洗閥(13)，所述第二反洗閥(13)與所述第一反洗閥(10)并聯(lián)后與反清洗氣體入口相ο
7.按照權(quán)利要求5所述的多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理裝置，其特征是所述集液管(6)出液管與所述管式過濾器(4)之間設(shè)置有差壓變送器(12)。
8.按照權(quán)利要求3所述的多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理裝置，其特征是所述管式過濾器(4)上設(shè)置有安全氣體置換閥(15)，所述安全氣體置換閥(15)與安全氣體置換系統(tǒng)相連。
9.按照權(quán)利要求3所述的多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理裝置，其特征是所述管式過濾器(4 )設(shè)置有兩臺(tái)，并聯(lián)連接。
10.按照權(quán)利要求3所述的多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理裝置，其特征是所述管式過濾器(4)與全自動(dòng)控制系統(tǒng)相連。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理方法及裝置。本發(fā)明的方法是氯硅烷液體被送入管式過濾器進(jìn)行過濾，被攔截下來的固體雜質(zhì)排入密閉式排渣罐，向排渣罐內(nèi)通入空氣并加熱排渣罐，使排渣罐內(nèi)的固體雜質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成二氧化硅粉末及氯化氫氣體。本發(fā)明的裝置包括帶有液體入口、液體出口及排渣口的管式過濾器，排渣口位于管式過濾器的底部，排渣口與位于管式過濾器下方的排渣罐相連通，排渣罐上設(shè)有空氣入口、氣體出口及固定排放口，固定排放口位于排渣罐的底部，排渣罐外設(shè)置有輔助加熱系統(tǒng)。本發(fā)明通過管式過濾器對(duì)氯硅烷液體進(jìn)行過濾，對(duì)被過濾攔截的固體雜質(zhì)進(jìn)行無害化處理，達(dá)到了過濾效率高、環(huán)保、安全、穩(wěn)定運(yùn)行的目的。
文檔編號(hào)C01B33/18GK102515183SQ201110405319
公開日2012年6月27日 申請(qǐng)日期2011年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月8日
發(fā)明者何向陽, 葉杰, 楊曉凱, 王翔 申請(qǐng)人:飛潮(無錫)過濾技術(shù)有限公司