技術(shù)編號(hào)：3467770
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及多晶硅的生產(chǎn)，具體地說是一種多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷液體的處理方法及裝置。背景技術(shù)多晶硅是當(dāng)今發(fā)展微電子產(chǎn)業(yè)和太陽能產(chǎn)業(yè)的重要基礎(chǔ)原材料，是跨化工、冶金、 機(jī)械、電子等多學(xué)科、多領(lǐng)域的高新技術(shù)產(chǎn)品。隨著光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，對多晶硅的需求量迅速增長，中國作為全球最大的多晶硅消費(fèi)地，在中國國內(nèi)多晶硅一直供不應(yīng)求。近年來中國國內(nèi)興建了許多較大規(guī)模的多晶硅項(xiàng)目，一些已經(jīng)興建的相對小規(guī)模的多晶硅項(xiàng)目也在不斷擴(kuò)建。多晶硅行業(yè)在近幾年得到了飛速發(fā)展。氯硅烷液體是在...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。