專(zhuān)利名稱(chēng)：多晶爐爐壓自動(dòng)控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶爐領(lǐng)域，尤其涉及一種多晶爐爐壓控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
多晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為多晶硅錠工藝過(guò)程中的必備設(shè)備，而多晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料。多晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽(yáng)能的主要功能材料。多晶爐紅外控溫系統(tǒng)作用如下在多晶爐鑄錠過(guò)程中，在溶化、長(zhǎng)晶、退火工序中， 需要按照工藝要求設(shè)定一定的氬氣流量，并根據(jù)工藝要求控制腔體內(nèi)壓力。具體過(guò)程為通過(guò)真空壓力計(jì)測(cè)定的爐壓反饋給智能閥控制器，有智能閥控制器控制智能閥的開(kāi)度，從而使?fàn)t內(nèi)壓力達(dá)到設(shè)定值。如圖1所示，現(xiàn)有的多晶爐爐壓自動(dòng)控制系統(tǒng)包括PLC控制器、PC機(jī)、真空壓力計(jì)和智能閥，所述PLC控制器與PC機(jī)互相傳遞數(shù)據(jù)，PLC控制器控制連接智能閥，所述的真空壓力計(jì)的輸出端連接PLC控制器，真空壓力計(jì)收集到參數(shù)后送入PLC控制器內(nèi)，由PLC控制器處理后對(duì)智能閥進(jìn)行控制。這類(lèi)控制系統(tǒng)中因PLC控制器同時(shí)還要進(jìn)行其它的數(shù)據(jù)處理，例如伺服電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)速度計(jì)算和控制、加熱電源功率的計(jì)算和控制以及與控制電腦的通訊等，所以響應(yīng)速度較慢。由于多晶爐內(nèi)的爐壓變化較快，情況復(fù)雜，而多晶硅的定向生長(zhǎng)工藝要求生長(zhǎng)環(huán)境的壓力應(yīng)是穩(wěn)定的，不能有突變，這種響應(yīng)速度較慢的控制方式無(wú)法根據(jù)爐壓變化及時(shí)計(jì)算調(diào)整，從而影響定向生長(zhǎng)的多晶硅錠的品質(zhì)，包括電阻率的徑向均勻度等指標(biāo)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種多晶爐爐壓自動(dòng)控制系統(tǒng)，該自動(dòng)控制系統(tǒng)把智能閥控制器從PLC控制器中獨(dú)立出來(lái)專(zhuān)門(mén)控制爐壓，芯片功能單一，執(zhí)行效率和精度都大大提高。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的一種多晶爐爐壓自動(dòng)控制系統(tǒng)，包括PLC控制器、PC 機(jī)、真空壓力計(jì)、智能閥控制器和智能閥，所述PLC控制器與PC機(jī)互相傳遞數(shù)據(jù)，所述的智能閥控制器與PLC控制器相連，智能閥控制器控制連接智能閥，所述的真空壓力計(jì)的輸出端連接智能閥控制器，PLC控制器對(duì)智能閥控制器進(jìn)行設(shè)定，真空壓力計(jì)收集到參數(shù)后送入智能閥控制器內(nèi)，由智能閥控制器處理后對(duì)智能閥進(jìn)行控制，智能閥控制器將控制結(jié)果反饋給PLC控制器。本實(shí)用新型多晶爐爐壓自動(dòng)控制系統(tǒng)中用獨(dú)立的智能閥控制器專(zhuān)門(mén)控制爐壓，提高了控制響應(yīng)速度、執(zhí)行效率和控制精度，使得爐壓能很穩(wěn)定的保持在設(shè)定值，提高了產(chǎn)品質(zhì)量。
圖1為現(xiàn)有的多晶爐爐壓自動(dòng)控制系統(tǒng)控制連接框圖；圖2為本實(shí)用新型多晶爐爐壓自動(dòng)控制系統(tǒng)控制連接框圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型而不用于限制本實(shí)用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實(shí)用新型表述的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型作各種改動(dòng)或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求書(shū)所限定的范圍。實(shí)施例1如圖2所示，一種多晶爐爐壓自動(dòng)控制系統(tǒng)，包括PLC控制器、PC機(jī)、真空壓力計(jì)、 智能閥控制器和智能閥，所述PLC控制器與PC機(jī)互相傳遞數(shù)據(jù)，所述的智能閥控制器與PLC 控制器相連，智能閥控制器控制連接智能閥，所述的真空壓力計(jì)的輸出端連接智能閥控制器，PLC控制器對(duì)智能閥控制器進(jìn)行設(shè)定，真空壓力計(jì)收集到參數(shù)后送入智能閥控制器內(nèi)， 由智能閥控制器處理后對(duì)智能閥進(jìn)行控制，智能閥控制器將控制結(jié)果反饋給PLC控制器。在本實(shí)施例中所述的PLC控制器選用基恩士 KV-5000PLC，在多晶爐溶化、長(zhǎng)晶、退火過(guò)程中，在步參數(shù)工序中由PC機(jī)設(shè)定壓力后，把設(shè)定壓力通過(guò)PLC控制器傳輸?shù)街悄荛y控制器中，再把真空壓力計(jì)表測(cè)得的壓力值傳輸?shù)街悄荛y控制器中，進(jìn)行智能閥PID運(yùn)算得出操作量控制智能閥的開(kāi)度，使多晶爐腔體內(nèi)壓力達(dá)到工藝要求，智能閥控制器把智能閥的開(kāi)度和壓力值反饋到PLC控制器中，方便觀(guān)察。
權(quán)利要求1. 一種多晶爐爐壓自動(dòng)控制系統(tǒng)，其特征是包括PLC控制器、PC機(jī)、真空壓力計(jì)、智能閥控制器和智能閥，所述PLC控制器與PC機(jī)互相傳遞數(shù)據(jù)，所述的智能閥控制器與PLC控制器相連，智能閥控制器控制連接智能閥，所述的真空壓力計(jì)的輸出端連接智能閥控制器， PLC控制器對(duì)智能閥控制器進(jìn)行設(shè)定，真空壓力計(jì)收集到參數(shù)后送入智能閥控制器內(nèi)，由智能閥控制器處理后對(duì)智能閥進(jìn)行控制，智能閥控制器將控制結(jié)果反饋給PLC控制器。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及多晶爐領(lǐng)域，尤其涉及一種多晶爐爐壓控制系統(tǒng)。一種多晶爐爐壓自動(dòng)控制系統(tǒng)，包括PLC控制器、PC機(jī)、真空壓力計(jì)、智能閥控制器和智能閥，所述PLC控制器與PC機(jī)互相傳遞數(shù)據(jù)，所述的智能閥控制器與PLC控制器相連，智能閥控制器控制連接智能閥，所述的真空壓力計(jì)的輸出端連接智能閥控制器，PLC控制器對(duì)智能閥控制器進(jìn)行設(shè)定，真空壓力計(jì)收集到參數(shù)后送入智能閥控制器內(nèi)，由智能閥控制器處理后對(duì)智能閥進(jìn)行控制，智能閥控制器將控制結(jié)果反饋給PLC控制器。本實(shí)用新型多晶爐爐壓自動(dòng)控制系統(tǒng)中用獨(dú)立的智能閥控制器專(zhuān)門(mén)控制爐壓，提高了控制響應(yīng)速度、執(zhí)行效率和控制精度，使得爐壓能很穩(wěn)定的保持在設(shè)定值，提高了產(chǎn)品質(zhì)量。
文檔編號(hào)C01B33/021GK201945851SQ20102066105
公開(kāi)日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2010年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月15日
發(fā)明者周凱忠 申請(qǐng)人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司