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一種單晶硅加料裝置的制作方法

文檔序號(hào):3468797閱讀:176來源:國知局
專利名稱:一種單晶硅加料裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及制造單晶硅的設(shè)備領(lǐng)域,尤其是一種單晶硅加料裝置。
背景技術(shù)
單晶硅大多是用直拉法制備。在這種方法中,單晶硅錠的生產(chǎn)步驟如下 在一個(gè)熔爐中熔化多晶硅;將一個(gè)籽晶浸入硅熔體;以一種足夠達(dá)到晶錠所希 望直徑的方式提拉籽晶;并在那個(gè)直徑下生長單晶。通常用的坩堝一般一次只 能加料80Kg,制備80Kg的硅熔體,由80Kg的硅熔體所產(chǎn)生的單晶硅錠。根據(jù) 需要若想制備大于80Kg的硅熔體產(chǎn)生的單晶硅錠,比如100Kg和120Kg的硅熔 體,在加料過程中達(dá)到80Kg后,由于熔爐和加料漏斗的限制,就無法再繼續(xù)加 料。給生產(chǎn)帶來了許多麻煩,生產(chǎn)時(shí)間長,生產(chǎn)效率低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有單晶硅制備中,由于受熔爐和 加料漏斗限制, 一次性加料多少無法調(diào)節(jié)而帶來的生產(chǎn)問題,本發(fā)明提供了一 種單晶硅加料裝置。
本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是 一種單晶硅加料裝置,具有 熔爐、支架和加料漏斗,熔爐上端入口處周圈設(shè)置支架,支架上放置加料漏斗, 所述的加料漏斗為收縮性漏斗。
所述的加料漏斗具有至少兩個(gè)可收縮嵌套在一起的分漏斗,可根據(jù)需要調(diào) 節(jié)加料的多少。所述的加料漏斗上設(shè)置有拉動(dòng)相對在下的分漏斗向上移動(dòng)嵌進(jìn)在上分漏斗 的提升機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明的有益效果是收縮性的加料漏斗可根據(jù)需要調(diào)節(jié)加料的多少,操 作簡單方便,縮短了生產(chǎn)時(shí)間,提高了工作效率。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。 圖1是現(xiàn)有加料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本發(fā)明加料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3是相對圖2加料較多時(shí)的狀態(tài)示意圖。 圖中l(wèi).熔爐,2.支架,3.加料漏斗,4.分漏斗。
具體實(shí)施例方式
如圖i所示,現(xiàn)有單晶硅的加料裝置中熔爐r上端的支架2'上放置有加料
漏斗3',所述的加料漏斗3'不具有可收縮性,不便于調(diào)節(jié)加料的多少。
如圖2所示, 一種單晶硅加料裝置的實(shí)施例,具有熔爐l、支架2和加料漏 斗3,熔爐1上端入口處周圈設(shè)置支架2,支架2上放置加料漏斗3,所述的加 料漏斗3為收縮性漏斗,加料漏斗3具有至少兩個(gè)可收縮嵌套在一起的分漏斗4, 加料漏斗3上設(shè)置有拉動(dòng)相對在下的分漏斗4向上移動(dòng)嵌進(jìn)在上分漏斗4內(nèi)的 提升機(jī)構(gòu),提升機(jī)構(gòu)在圖中未畫出。
若圖2中加料為80Kg,則圖3中加料就大于80Kg。在加料超過80Kg時(shí), 在下的分漏斗4向上移動(dòng)嵌進(jìn)在上分漏斗4內(nèi),這樣就便于繼續(xù)加料,操作簡 便。
權(quán)利要求
1. 一種單晶硅加料裝置,具有熔爐(1)、支架(2)和加料漏斗(3),熔爐(1)上端入口處周圈設(shè)置支架(2),支架(2)上放置加料漏斗(3),其特征是所述的加料漏斗(3)為收縮性漏斗。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅加料裝置,其特征是所述的加料漏 斗(3)具有至少兩個(gè)可收縮嵌套在一起的分漏斗(4)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種單晶硅加料裝置,其特征是所述的加 料漏斗(3)上設(shè)置有拉動(dòng)相對在下的分漏斗(4)向上移動(dòng)嵌進(jìn)在上分漏斗(4) 內(nèi)的提升機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明涉及制造單晶硅的設(shè)備領(lǐng)域,尤其是一種單晶硅加料裝置。它具有熔爐、支架和加料漏斗,熔爐上端入口處周圈設(shè)置支架,支架上放置加料漏斗,所述的加料漏斗為收縮性漏斗。有益效果是收縮性的加料漏斗可根據(jù)需要調(diào)節(jié)加料的多少,操作簡單方便,縮短了生產(chǎn)時(shí)間,提高了工作效率。
文檔編號(hào)C01B33/00GK101412511SQ20081023462
公開日2009年4月22日 申請日期2008年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月27日
發(fā)明者張東亮, 汪釘崇 申請人:常州天合光能有限公司
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