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涂布液、使用涂布液形成的金屬化合物薄膜及其形成方法

文檔序號(hào):3435650閱讀:376來(lái)源:國(guó)知局

專利名稱::涂布液、使用涂布液形成的金屬化合物薄膜及其形成方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明涉及用于形成金屬化合物薄膜的涂布液、金屬化合物薄膜及其形成方法、以及在表面形成有金屬氧化物薄膜的制品。
背景技術(shù)
:作為在玻璃、金屬、陶瓷等的表面形成金屬氧化物薄膜的技術(shù),有賊射、物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)等干法,以及以溶膠凝膠法為代表的濕法。但是,濺射、PVD等采用物理方法的干式工藝需要高度真空,裝置越大越是難以保持高真空,因此,很難形成大面積的金屬氧化物薄膜。另夕卜,使材料氣化需要大量的能量,而且為了改善成膜性還必須對(duì)形成金屬氧化物薄膜的基體進(jìn)行加熱,需要巨大的能量。此外,基體為復(fù)雜形狀時(shí),存在對(duì)基體中的"陰影"部分成膜困難的問(wèn)題。另外,CVD涉及到化學(xué)反應(yīng),難以使組成保持均勻,而且為了抑制副產(chǎn)物,要求非常復(fù)雜的控制。此外,在溶膠凝膠法中,由于溫度和濕度的不同而使縮聚反應(yīng)進(jìn)程產(chǎn)生明顯的差異,因此,在想要經(jīng)常獲得均勻的薄膜時(shí),必須要嚴(yán)格控制成膜條件。而且,由于涂布液的溶膠常常不穩(wěn)定,在實(shí)際運(yùn)用中存在很多需要解決的問(wèn)題,例如為了保持溶膠的粘度并防止固體物質(zhì)的沉積需要特別的設(shè)計(jì)等。此外,還存在一些情況,需要通過(guò)使金屬氧化物薄膜中含有兩種以上的金屬,有時(shí)會(huì)使金屬氧化物薄膜表現(xiàn)出特定的功能,但是在溶膠凝膠法中,由于水解速率因金屬種類而有所不同,將不同種類的金屬混合會(huì)產(chǎn)生相分離,不能表現(xiàn)出這樣的功能。因此,提出了一種技術(shù),其是在基體表面涂布含有金屬絡(luò)合物的涂布液,然后通過(guò)燒制將金屬絡(luò)合物熱分解,從而形成金屬氧化物薄膜(參照專利文件13)。在該技術(shù)中,作為金屬絡(luò)合物的配位體,經(jīng)常使用乙二胺四乙酸、二乙醇胺、乙酰丙酮等分子內(nèi)具有兩個(gè)以上取代基(例如氨基、羥基等)的多齒配位體'專利文件1專利文件2專利文件3日本特開(kāi)平09-278489號(hào)公報(bào)日本特開(kāi)平11-228113號(hào)公報(bào)日本特開(kāi)平11-256342號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的課題在以往的使用含金屬絡(luò)合物的涂布液形成金屬氧化物薄膜的方法中,在涂膜形成后對(duì)金屬絡(luò)合物加熱進(jìn)行熱分解時(shí),作為有機(jī)物質(zhì)的配位體消失,導(dǎo)致涂膜產(chǎn)生大幅度的體積收縮,結(jié)果存在如下問(wèn)題金屬氧化物薄膜產(chǎn)生裂紋、或者金屬氧化物薄膜和基體之間的密合性受損。特別是金屬氧化物薄膜的厚度越厚,裂紋和密合性不良的問(wèn)題就會(huì)越顯著。本發(fā)明就是鑒于上述問(wèn)題而作成的,其目的在于提供一種不會(huì)產(chǎn)生裂紋或金屬化合物薄膜(如金屬氧化物薄膜)與基體間的密合性不良,能形成高質(zhì)量的金屬化合物薄膜的涂布液、金屬化合物薄膜的形成方法、金屬化合物薄膜以及金屬化合物薄膜包覆制品。解決問(wèn)題的方法本申請(qǐng)的第一個(gè)發(fā)明涉及一種涂布液,該涂布液包含選自化學(xué)式1表示的金屬絡(luò)合物A、化學(xué)式2表示的金屬絡(luò)合物B和化學(xué)式3表示的金屬絡(luò)合物C中的一種以上金屬絡(luò)合物。k+10化學(xué)式l、化學(xué)式2、化學(xué)式3中的M是金屬離子;化學(xué)式l、化學(xué)式2、化學(xué)式3中的X廣X4分別是0、NH、C02和S中的任一種;化學(xué)式1中的Y廣Y8和化學(xué)式3中的Y,Y4分別是CH或N;化學(xué)式2和化學(xué)式3中的Z,Z3以及化學(xué)式2中的Z4Z6中每組中的一個(gè)選自O(shè)、NH和S,另兩個(gè)選自CH和N;化學(xué)式l、化學(xué)式2、化學(xué)式3中的L是軸向配位體,作為L(zhǎng),例如有烷氧離子、氳氧根離子和卣素離子等陰離子,或者水、醇類、胺類等與金屬形成配位鍵的分子;化學(xué)式l、化學(xué)式2、化學(xué)式3中的k是金屬絡(luò)合物的價(jià)數(shù),且等于M、X廣X4和L所具有的電荷的總和。作為本發(fā)明的涂布液,包括含金屬絡(luò)合物A的涂布液、含金屬絡(luò)合物B的涂布液、含金屬絡(luò)合物C的涂布液、以及含有其中的2種以上金屬絡(luò)合物的涂布液。使用本發(fā)明涂布液,可以在基體表面形成金屬化合物薄膜。例如,將本發(fā)明的涂布液涂布在基體表面并進(jìn)行干燥,就會(huì)在基體表面形成包含金屬絡(luò)合物A、金屬絡(luò)合物B、金屬絡(luò)合物C或前述金屬絡(luò)合物中的兩種以上的涂膜。然后對(duì)該涂膜進(jìn)行燒制,上述金屬絡(luò)合物就會(huì)被熱分解,配位體消失,形成由化學(xué)式18表示的金屬M(fèi)的化合物制成的薄膜。該金屬M(fèi)的化合物根據(jù)化學(xué)式18中的X5和X6種類(X5和X6是X廣X4中含有的0、N和S中的任一個(gè))而不同。例如,X5和X6都為0時(shí),金屬M(fèi)的化合物就成為金屬M(fèi)的氧化物。另外,X5和X6可以均為S,也可以均為N,還可以是選自O(shè)、S和N中的任意兩個(gè)。ii使用本發(fā)明的涂布液而形成的金屬化合物薄膜不會(huì)產(chǎn)生裂紋,并且與基體的密合性優(yōu)異。而且由于不產(chǎn)生裂紋,可以增加金屬化合物薄膜的厚度。如上所述,不產(chǎn)生裂紋的理由推測(cè)如下。即,如化學(xué)式1化學(xué)式3所表示的分子結(jié)構(gòu)可知,金屬絡(luò)合物A金屬絡(luò)合物C具有平板的結(jié)構(gòu),因此在將涂布液涂布在基體上形成薄膜時(shí),由于金屬絡(luò)合物彼此之間的相互作用,形成了金屬絡(luò)合物彼此重疊那樣的分子集合結(jié)構(gòu)(堆積)。此外,配位體所含有的芳香環(huán)彼此之間的作用也對(duì)形成上述的分子集合結(jié)構(gòu)有貢獻(xiàn)。因此可認(rèn)為即使在燒制時(shí)配位體消失,也可抑制在平行于基體表面方向上的體積收縮,并且可抑制產(chǎn)生裂紋和剝離。另外,使用以往采用的金屬絡(luò)合物形成金屬氧化物薄膜時(shí)產(chǎn)生裂紋或密合性不良的理由可認(rèn)為如下。當(dāng)金屬原子形成絡(luò)合物時(shí),通過(guò)最外層d軌道形成鍵,所述鍵向以金屬原子為中心的正八面體的各個(gè)頂點(diǎn)延伸,其前端存在配位體的取代基,因此,例如圖8所示的分子結(jié)構(gòu)所示,通常的有機(jī)金屬絡(luò)合物具有以金屬為中心的立體結(jié)構(gòu)。因此,對(duì)由金屬絡(luò)合物制成的薄膜進(jìn)行燒制,由于熱分解而使配位體消失時(shí),在三維方向上會(huì)產(chǎn)生較大的體積收縮,結(jié)果產(chǎn)生裂紋或由于基體與薄膜的尺寸失配而導(dǎo)致的剝離。此外,使用本發(fā)明的涂布液形成的金屬化合物薄膜的硬度高。而且,使用本發(fā)明的涂布液形成的金屬化合物薄膜是平滑的,透明性也高,因此,例如在玻璃表面上形成金屬化合物薄膜時(shí),可以保持玻璃的透過(guò)性;在鏡子表面形成金屬化合物薄膜時(shí),可以保持鏡子的反射率。此外,本發(fā)明的涂布液即使不含粘合劑,也能形成具有耐久性的金屬化合物薄膜。因此,所形成的薄膜中的金屬化合物的濃度不會(huì)被粘合劑稀釋,金屬化合物的作用(例如,光催化作用)高。另外,由于本發(fā)明的涂布液是穩(wěn)定的,因此能夠長(zhǎng)期保存作為上述M,可列舉例如A1、Si、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、In、Sn、Eu、Ta、Pb等。作為M,可以只使用一種金屬,也可以混合兩種以上金屬使用。使用Ti作為上述M時(shí),使用本發(fā)明的涂布液形成的金屬化合物薄膜(化學(xué)式18中的M為T(mén)i)可發(fā)揮光催化作用。其中,Xs和X6均為0的情況下(Ti02的情況下),可在紫外光的波長(zhǎng)區(qū)域發(fā)揮光催化作用。另外,Xs和X6中的至少一個(gè)為S或N時(shí),可以在不同的波長(zhǎng)區(qū)域(例如可見(jiàn)光區(qū)域)發(fā)揮光催化作用。使用In和Sn的組合、Ga和Zn的組合或Nb和Ti的組合作為上述M,且乂5和X6均為O時(shí),使用本發(fā)明的涂布液形成的金屬氧化物薄膜(ITO、Ga-ZnO或Nb-Ti02)可發(fā)揮透明導(dǎo)電膜的功能。使用Sn作為M,且Xs和X6都為0時(shí),使用本發(fā)明的涂布液形成的金屬氧化物薄膜(Sn02)可發(fā)揮作為L(zhǎng)ow-E膜的熱線阻斷作用。如果使用M為V且Xs和X6都為O的本發(fā)明的涂布液在玻璃表面上形成金屬氧化物薄膜(V205),則可以生產(chǎn)調(diào)光玻璃。使用Nb作為上述M時(shí),使用本發(fā)明的涂布液形成的金屬氧化物薄膜可表現(xiàn)出超親水性。上述金屬絡(luò)合物A例如可以為化學(xué)式4~化學(xué)式11所表示的金屬絡(luò)合物中的任一個(gè)。13<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>[化學(xué)式11]在上述化學(xué)式4中,X,和X3為S、X2和X4為0;除此之外,還可以是X,和X4為S、且X2和X3為0,X,和X2為S、Xs和X4為0,X廣X4之一為S其余為O,或X廣X4之一為O其余為S。同樣地,化學(xué)式7、9和11也可以如上述那樣變更Xi~X4的組合。另外,在化學(xué)式10中,Y4和Yg為N、Y廣Y3和Y5Y7為CH;除此之外,還可以是Y!和Ys為N、Y廣Y7為CH。上述金屬絡(luò)合物B例如可以為化學(xué)式12化學(xué)式15表示的金屬絡(luò)合物中的任一個(gè)。此外,在上述化學(xué)式13中,Z,和Z4為S、Z2~Z3和Z5~Z6為CH。除此之外,還可以是Z,和Z6為S、Z廣Zs為CH。上述金屬絡(luò)合物C例如可以為化學(xué)式16化學(xué)式17表示的金屬絡(luò)合物中的任一個(gè)。本發(fā)明的涂布液可以容易地制造。例如,該涂布液能夠如下制得在適當(dāng)?shù)娜軇┲袑?摩爾當(dāng)量的作為配位體的成分加入到金屬烷氧化物或金屬鹽(例如金屬氯化物)等原料中,并通過(guò)加熱生成金屬絡(luò)合物A和/或金屬絡(luò)合物B,必要時(shí)可進(jìn)行過(guò)濾/回收操作?;蛘?,該涂布液能夠如下制得在適當(dāng)?shù)娜軇┲袑煞N作為配位體的成分各1摩爾當(dāng)量加入到金屬烷氧化物或金屬鹽(例如金屬氯化物)等原料中,并通過(guò)加熱生成金屬絡(luò)合物C,必要時(shí)可進(jìn)行分離/純化操作。在制備金屬絡(luò)合物A金屬絡(luò)合物C時(shí),作為配位體的成分為1,2-取代型芳香化合物;在化學(xué)式4表示的金屬絡(luò)合物A的情況下,配位體成分為鄰苯二酚(化學(xué)式19);在化學(xué)式5化學(xué)式ll表示的金屬絡(luò)合物A的情況下,配位體成分分別為化學(xué)式20化學(xué)式26表示的化合物;在化學(xué)式12~化學(xué)式15表示的金屬絡(luò)合物B的情況下,配位體成分分別為化學(xué)式27化學(xué)式30表示的化合物;在化學(xué)式16表示的金屬絡(luò)合物C的情況下,配位體成分為鄰笨二酚(化學(xué)式19)和化學(xué)式27表示的化合物的組合;在化學(xué)式17表示的金屬絡(luò)合物C的情況下,配位體成分為鄰苯二酚(化學(xué)式19)和化學(xué)式29表示的化合物的組合。[化學(xué)式19]-SH、SH楊、0HNH2-SH'NH2f、OH18[化學(xué)式26]'OH-CO2H野'本發(fā)明的涂布液中,作為溶劑,例如可以是包含醇類(例如2-丙醇、曱乙醇、正丁醇)、醚類(例如乙醚、MTBE、THF等)、烴類(例如辛烷、19正己烷、環(huán)己烷、苯、曱苯、二甲苯等)、二曱亞石風(fēng)、二甲基甲酰胺、卣化物(氯仿、二溴曱烷、二氯曱烷等)、酮類(丙酮、曱乙酮(MEK)、AcAc等)、乙酸乙酯,水等的溶劑。涂布液中的金屬絡(luò)合物濃度沒(méi)有特別限制,只要該濃度不超過(guò)金屬絡(luò)合物的溶解度的范圍,例如優(yōu)選0.15重量%的濃度。當(dāng)2種以上的金屬形成均勻混合的復(fù)合金屬化合物薄膜時(shí),可以按照期望的比例將相應(yīng)的金屬絡(luò)合物混合使用。本申請(qǐng)的第二個(gè)發(fā)明涉及一種金屬氧化物薄膜的形成方法,該方法包括將上述第一個(gè)發(fā)明中的涂布液涂布在基體上形成薄膜,然后使上述薄膜中含有的選自金屬絡(luò)合物A、金屬絡(luò)合物B和金屬絡(luò)合物C中的一種以上金屬絡(luò)合物轉(zhuǎn)變成化學(xué)式18表示的金屬化合物。M(O華X5+X《)n化學(xué)式18中的Xs和X6是上述X,X4中含有的0、N和S中的任一個(gè);1、m和n分別是X5、乂6和M的價(jià)數(shù)。另外,x和y分別是Xs和乂6在上述金屬化合物中的含有率,x和y之和是不超過(guò)l的值。按照本發(fā)明形成的金屬化合物薄膜不會(huì)產(chǎn)生裂紋,與基體的密合性優(yōu)異,并且硬度也高。另外,如上所述,由于不產(chǎn)生裂紋,可以增加金屬化合物薄膜的厚度。此外,按照本發(fā)明形成的金屬化合物薄膜是平滑的,且透明性高,因此,例如在玻璃表面上形成金屬化合物薄膜時(shí),可以保持玻璃的透過(guò)性;在鏡子表面上形成金屬化合物薄膜時(shí),可以保持鏡子的反射率。此外,本發(fā)明的涂布液即使不含粘合劑,也能形成具有耐久性的金屬化合物薄膜。因此,所形成的薄膜中的金屬化合物的濃度不會(huì)被粘合劑稀釋,金屬化合物的作用(例如,光催化作用)高。特別是,金屬化合物為Nb化合物時(shí),金屬化合物薄膜的超親水性顯著。此外,金屬化合物為T(mén)i化合物且該^r屬化合物的化學(xué)式(化學(xué)式1化學(xué)式3中的任一個(gè))中的X,X4中的任一個(gè)為NH或S時(shí),金屬化合物薄膜成為響應(yīng)可見(jiàn)光的光催化劑。20上述基體沒(méi)有特別限定,但在由金屬絡(luò)合物A金屬絡(luò)合物C轉(zhuǎn)變?yōu)榛瘜W(xué)式18表示的金屬化合物的過(guò)程中使用燒制法時(shí),上述基體優(yōu)選能夠耐受燒制時(shí)的溫度的物質(zhì)。作為基體的具體例子,例如可列舉玻璃(例如PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃、鈉玻璃、石英玻璃)、金屬(例如鐵、不銹鋼、鋁、銅、黃銅等)、陶瓷(例如氧化鋁、氧化鋯、氧化硅)、以及樹(shù)脂(例如聚酰亞胺樹(shù)脂等)等耐熱高分子。作為上述涂布的方法,可以廣泛使用能夠形成涂布液的涂膜的方法,例如可列舉旋涂法、浸涂法、噴涂法等通常使用的涂布方法。另外,優(yōu)選在涂布該涂布液后,在室溫常壓下使薄膜自然干燥。然后,可以進(jìn)行例如涂膜的燒制。作為將金屬絡(luò)合物A金屬絡(luò)合物C轉(zhuǎn)變成化學(xué)式18表示的化合物的方法,例如有涂布該涂布液并對(duì)形成的涂膜進(jìn)行燒制的方法。燒制溫度優(yōu)選例如2501800。C的范圍。如果燒制溫度為250。C以上,則可以形成牢固致密的膜。如上所述,由于燒制溫度可以為25(TC左右的低溫,因此如果使用本發(fā)明的涂布液,即使在不耐熱的基材表面也可以形成金屬化合物薄膜。另外,即使基體為鈉玻璃,也可以不使用底涂層而形成金屬化合物薄膜。燒制溫度可以根據(jù)金屬M(fèi)的種類和期望的金屬化合物薄膜的結(jié)晶相來(lái)進(jìn)行調(diào)節(jié)。本申請(qǐng)的第三個(gè)發(fā)明涉及根據(jù)上述第二個(gè)發(fā)明的金屬化合物薄膜的形成方法所形成的金屬化合物薄膜。本發(fā)明的金屬化合物薄膜不會(huì)產(chǎn)生裂紋,與基體的密合性優(yōu)異,并且硬度高。此外,本發(fā)明的金屬化合物薄膜是平滑的,且透明性高,因此,例如在玻璃表面上形成金屬化合物薄膜時(shí),可以保持玻璃的透過(guò)性;在在鏡子表面上形成金屬化合物薄膜時(shí),可以保持鏡子的反射率。此外,由于本發(fā)明的金屬化合物薄膜可以不含粘合劑,因此所形成的薄膜中的金屬化合物的濃度不會(huì)被粘合劑所稀釋,金屬化合物的作用(例如光催化作用)高。特別是,金屬化合物為Nb化合物時(shí),金屬化合物薄膜的超親水性顯著。另外,金屬化合物為T(mén)i化合物且該金屬化合物的化學(xué)式(化學(xué)式1化學(xué)式3中的任一個(gè))的X,X4中的任一個(gè)為NH或S時(shí),金屬化合物薄膜成為響應(yīng)可見(jiàn)光的光催化劑。本申請(qǐng)的第四個(gè)發(fā)明涉及一種金屬化合物薄膜包覆制品,其包括基體和根據(jù)上述第二個(gè)發(fā)明中金屬化合物薄膜形成方法在基體表面上形成的金屬化合物薄膜。在本發(fā)明的金屬化合物包覆制品中,金屬化合物薄膜不會(huì)產(chǎn)生裂紋,與基體的密合性優(yōu)異,并且硬度高。此外,本發(fā)明的金屬化合物薄膜是平滑的,且透明性高,因此,例如在玻璃表面上形成金屬化合物薄膜時(shí),可以保持玻璃的透過(guò)性;在在鏡子表面上形成金屬化合物薄膜時(shí),可以保持鏡子的反射率。此外,由于本發(fā)明的金屬化合物薄膜可以不含粘合劑,因此所形成的薄膜中的金屬化合物的濃度不會(huì)被粘合劑所稀釋,金屬化合物的作用(例如光催化作用)高。特別是,金屬化合物為Nb化合物時(shí),金屬化合物薄膜的超親水性顯著。另外,金屬化合物為T(mén)i化合物且該金屬化合物的化學(xué)式(化學(xué)式1化學(xué)式3中的任一個(gè))的X,X4中的任一個(gè)為NH或S時(shí),金屬化合物薄膜成為響應(yīng)可見(jiàn)光的光催化劑。上述基體沒(méi)有特別限定,但在由金屬絡(luò)合物A金屬絡(luò)合物C轉(zhuǎn)變?yōu)榛瘜W(xué)式18表示的金屬化合物的過(guò)程中使用燒制法時(shí),上述基體優(yōu)選能夠耐受燒制時(shí)的溫度的物質(zhì)。作為基體的具體例子,例如可列舉玻璃(例如PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃、鈉玻璃、石英玻璃)、金屬(例如鐵、不銹鋼、鋁、銅、黃銅等)、陶瓷(例如氧化鋁、氧化鋯、氧化硅)、以及樹(shù)脂(例如聚酰亞胺樹(shù)脂等)等耐熱高分子。是顯示金屬氧化物薄膜的表面的照片。是金屬氧化物薄膜在表面吸附了亞甲基藍(lán)并且照射紫外線時(shí),表示金屬氧化物薄膜的吸光度變化的曲線圖。是表示金屬氧化物薄膜表面的SEM圖像以及表示元素分析結(jié)果的圖表。是表示金屬氧化物薄膜表面的SEM圖像以及表示元素分析結(jié)果的圖表。是表示金屬氧化物薄膜表面的SEM圖像以及表示元素分析結(jié)果的圖表。是表示金屬氧化物薄膜表面的SEM圖像以及表示元素分析結(jié)果的圖表。[圖7]是表示金屬氧化物薄膜表面的SEM圖像以及表示元素分析結(jié)果的圖表。是表示鈦-亞氨基二乙醇絡(luò)合物的分子結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。[圖9]是顯示金屬氧化物薄膜表面的照片。是表示金屬氧化物薄膜表面的SEM圖像以及表示元素分析結(jié)果的圖表。是表示金屬氧化物薄膜表面的SEM圖像以及表示元素分析結(jié)果的圖表。是表示金屬氧化物薄膜表面的SEM圖像以及表示元素分析結(jié)果的圖表。是表示金屬氧化物薄膜表面的SEM圖像以及表示元素分析結(jié)果的圖表。是表示金屬氧化物薄膜表面的SEM圖像以及表示元素分析結(jié)果的圖表。是表示金屬氧化物薄膜表面的SEM圖像以及表示元素分析結(jié)果的圖表。是表示金屬氧化物薄膜的可見(jiàn)光吸收特性的圖。[圖17]是表示金屬氧化物薄膜的接觸角變化的圖。具體實(shí)施例方式基于實(shí)施例說(shuō)明本發(fā)明。實(shí)施例1(a)涂布液的制備將鄰苯二酚溶解在適量的二曱苯中,制備溶液,并向該溶液中滴加異丙醇鈦(IV)(Titanium(IV)isopropoxide),其量為異丙醇鈦(IV)與鄰苯二酚的摩爾比為1:2,然后進(jìn)行混合。將上述混合液回流約1小時(shí),然后進(jìn)行蒸餾直至蒸氣溫度為140°C。蒸餾后,將剩余的混合物在室溫下放置一夜后,使用膜濾器將產(chǎn)生的沉淀物過(guò)濾。然后,將過(guò)濾得到的固體物質(zhì)置于14(TC的真空中,除去易揮發(fā)成分,使之干燥。該干燥一直持續(xù)到固體物質(zhì)的量接近于理論值(約98%)。得到的固體物質(zhì)為鄰苯二酚鈦。接著,將1g上述鄰苯二酚鈦(換算成鄰苯二酚鈦為3.79mmol)溶解在乙23酰丙酮和丙酮按體積比1:14的比例混合而得到的100ml混合液中,從而得到涂布液A。此外,作為用于制作厚膜的涂布液,將1.32g上述鄰苯二酚鈦(換算成鄰苯二酚鈦為5.0mmol)溶解在乙酰丙酮和苯按體積比1:1的比例混合而得到的10ml混合液中,從而得到涂布液B。(b)在玻璃基板表面形成金屬氧化物薄膜使用旋涂法將上述(a)中制得的涂布液A涂布在PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃制成的大小為50mmx50mm的基板表面上,形成涂膜。旋涂法的轉(zhuǎn)速為1000rpm,涂布時(shí)間為30秒,且涂布液的滴加量約為0.5ml。接著,對(duì)上述基板進(jìn)行燒制。燒制分別按照下述所示的25(TC條件、300。C條件、350。C條件和50(TC條件下進(jìn)行。250。C條件在空氣氛圍中,用1小時(shí)從室溫升溫至250°C,在250°C下保持25小時(shí),最后用1小時(shí)冷卻至室溫。300。C條件在空氣氛圍中,用1小時(shí)從室溫升溫至300°C,在300°C下保持25小時(shí),最后用l小時(shí)冷卻至室溫。350。C條件在空氣氛圍中,用1小時(shí)從室溫升溫至350°C,在350°C下保持25小時(shí),最后用l小時(shí)冷卻至室溫。50(TC條件在空氣氛圍中,用1小時(shí)從室溫升溫至50(TC,在500°C下保持25小時(shí),最后用l小時(shí)冷卻至室溫。通過(guò)上述燒制,在玻璃基板表面形成了金屬氧化物(Ti02)薄膜。在按照下述條件形成厚膜。50(TC厚膜條件使用旋涂法按照與上述同樣的條件將上述(a)中制得的涂布液B涂布在由PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃制成的大小為50mmx50mm的基板上,形成涂膜。然后在空氣氛圍中,用1小時(shí)從室溫升溫至500°C,在50(TC下保持1小時(shí),最后用1小時(shí)冷卻至室溫。由此,在PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃基板上形成了金屬氧化物(Ti02)的厚膜。(c)金屬氧化物薄膜的評(píng)價(jià)在上述(b)形成的金屬氧化物薄膜中,使用光學(xué)顯微鏡分別觀察使用涂布液A在500。C燒制條件下形成的金屬氧化物薄膜、以及在500。C厚膜條件下形成的金屬氧化物厚膜的表面。圖1的上圖是對(duì)在50(TC燒制條件下使用涂布液A形成的金屬氧化物薄膜的表面拍攝的照片;下圖是對(duì)在50(TC厚24膜條件下形成的金屬氧化物薄膜的表面拍攝的照片。如圖1中的上下兩個(gè)照片所示,任何一個(gè)金屬氧化物薄膜都沒(méi)有產(chǎn)生裂紋。另外,測(cè)定了上述(b)中所形成的金屬氧化物薄膜的硬度。其結(jié)果如表l所示_uv照射時(shí)間水接觸角(小時(shí))(°)0641102103763>243>如表2所示,接觸角在UV照射前約為64°,但在UV照射1小時(shí)后金屬氧化物的薄膜變成親水以致接觸角約為10°,在UV照射6小時(shí)后變成超25親水性,接觸角為3。以下。該結(jié)果表明,該金屬氧化物薄膜被光誘導(dǎo)為超親水性。表2中還給出了后述的比較例2中制作的金屬氧化物薄膜的測(cè)定結(jié)果。在上述(b)形成的金屬氧化物薄膜中,測(cè)定了燒制條件為30(TC條件和350。C條件下形成的金屬氧化物薄膜表面的水的接觸角。測(cè)定分別在UV照射前(初期)、UV照射1小時(shí)、2小時(shí)和3小時(shí)后進(jìn)行。需要說(shuō)明的是,光源使用40W-BLB燈,UV照射的條件為試樣表面的UV強(qiáng)度為2.4mW/cm2。測(cè)定結(jié)果如表3所示。_<table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table>如表3所示,在燒制條件為30(TC條件的情況下以及燒制條件為350°C條件下都可以實(shí)現(xiàn)接觸角為10。以下的超親水性。特別是在燒制條件為350。C的情況下,只照射1小時(shí)就可實(shí)現(xiàn)超親水性。表3中還給出了后述比較例2中制作的金屬氧化物薄膜的測(cè)定結(jié)果。(ii)另外,按照上述(b)形成金屬氧化物薄膜,并將在50(TC條件下燒制的玻璃基板浸漬在O.lmM的亞曱基藍(lán)水溶液中一夜,再用蒸餾水洗滌,然后測(cè)定玻璃基板的初期吸光度。接著,對(duì)金屬氧化物薄膜進(jìn)行UV照射,同時(shí)每經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間間隔就測(cè)定玻璃基板的吸光度。結(jié)果如圖2所示。需要說(shuō)明的是,試驗(yàn)條件基于光催化制品的濕式分解性能試驗(yàn)方法(日本光催化工業(yè)會(huì))。如圖2所示,在UV照射20分鐘后,由亞曱基藍(lán)產(chǎn)生的波長(zhǎng)664nm附近的峰(吸光度)開(kāi)始變小,隨著UV照射時(shí)間的增加,吸光度持續(xù)減小。在開(kāi)始UV照射24小時(shí)的時(shí)刻,波長(zhǎng)664nm附近的峰減少至初始吸光度的大約三分之一。該結(jié)果表明,金屬氧化物薄膜由于光催化作用而使亞曱基藍(lán)分解。從上述(i)和(ii)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果可以確定,本實(shí)施例1所制作的金屬氧化物薄膜具有較高的光催化活性。實(shí)施例2(a)涂布液的制備將1.1g(10mmol)的鄰苯二酚溶解在丙酮和苯按體積比1:1的比例混合而得到溶液中,制備混合液。向該混合溶液中滴加異丙醇鈦(IV),其量為異丙醇鈦(IV)與鄰苯二酚的摩爾比為1:2,從而得到涂布液。另外,調(diào)節(jié)涂布液中的溶劑總量使得異丙醇鈦(IV)的濃度為0.1M。本實(shí)施例2中制得的涂布液與上述實(shí)施例1的涂布液同樣,是鄰苯二酚鈦溶液。(b)在玻璃基板表面形成金屬氧化物薄膜與上述實(shí)施例1同樣地,使用上述(a)中制得的涂布液,在由PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃制成的大小為50mmx50mm的基板表面上形成金屬氧化物薄膜。但是,涂布涂布液之后的燒制條件為上述500。C條件。實(shí)施例2中形成的金屬氧化物薄膜也具有與上述實(shí)施例1中相同的效果。實(shí)施例3(a)金屬氧化物薄膜的形成板上,然后燒制以形成金屬氧化物薄膜。涂布液的涂布方法如下基板的材質(zhì)為玻璃纖維時(shí)使用滴涂法;基板的材質(zhì)為其他材質(zhì)時(shí)使用流涂法。另外,燒制條件均為上述的50(TC條件。(b)光催化活性的試驗(yàn)(i)測(cè)量在UV照射之前以及照射10分鐘后的上述(a)中形成的金屬氧化物薄膜的水接觸角。UV照射前的測(cè)定值(初期值)為20。以上且在照射10分鐘后的值為5。以下時(shí),金屬氧化物薄膜的親水性被評(píng)定為O。其結(jié)果如表4所示。[表4]基板的材質(zhì)親水性試驗(yàn)鈉玻璃OPYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃O石英玻璃〇瓷磚〇銅〇黃銅〇鋁〇鎳銀合金(Ni-Al)〇如表4所示,當(dāng)基板的材質(zhì)是鈉玻璃、PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃、石英玻璃、瓷磚、銅、黃銅、鋁或鎳銀合金(Ni-Ag)時(shí),金屬氧化物薄膜的親水性評(píng)價(jià)結(jié)果均為O。(ii)將上述(a)中的表面上形成有金屬氧化物薄膜的基板浸漬于0.01M的硝酸銀中,用UV光照射IO分鐘。如果在基板照射部分觀察到銀的粘附,則將光催化活性評(píng)價(jià)為O。結(jié)果如表5所示。_基板的材質(zhì)親水性試驗(yàn)鈉玻璃〇PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃O石英玻璃O瓷磚〇銅O鋁〇鎳銀合金(Ni-Al)〇玻璃纖維〇如表5所示,當(dāng)基板的材質(zhì)是鈉玻璃、PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃、石英玻璃、瓷磚、銅、鋁、鎳銀合金(Ni-Ag)、玻璃纖維時(shí),金屬氧化物薄膜的親水性評(píng)價(jià)結(jié)果均為O。實(shí)施例4(a)涂布液的制備將仲丁醇鋁(Alluminium(III)sec-butoxide)和適量的苯混合,將其作為溶液l。另外,將鄰苯二酚溶解在適量的苯中,將其作為溶液2。向溶液2中滴加溶液l,使得仲丁醇鋁和鄰苯二酚的摩爾比為2:3,得到混合溶液。調(diào)28節(jié)混合溶液中溶劑的總量,使得仲丁醇鋁的濃度為0.2M。接著,將上述混合溶液回流約10分鐘,然后加入苯使得鋁的濃度為0.05M,得到涂布液。該涂布液為鄰苯二酚鋁絡(luò)合物的溶液。(b)在硅片基板的表面形成金屬氧化物薄膜rpm下進(jìn)行30秒)。然后將硅片基板在上述50(TC條件下燒制。(c)金屬氧化物薄膜的評(píng)價(jià)在使用上述(b)中的旋涂法涂布涂布液后,觀察硅片基板的表面,其表面均勻光滑。另外,在上述(b)中燒制后,對(duì)硅片基板的表面進(jìn)行SEM觀察,同時(shí)使用能量分散型X射線分光法(EDAX)進(jìn)行元素分析。圖35的上面部分為所觀察到的SEM圖像(同一區(qū)域的圖像),可看到該圖像中白色部分和黑色部分混合存在。在圖3的SEM圖像中,表示為光譜4的部分為看上去是白色的部分,對(duì)該部分進(jìn)行元素分析時(shí),檢測(cè)到來(lái)自硅片基板的Si(圖3的中部和下部)。圖4的SEM圖像中,表示為光譜3的部分為看上去是黑色的部分,對(duì)該部分進(jìn)行元素分析時(shí),;險(xiǎn)測(cè)到來(lái)自硅片基板的Si和來(lái)自金屬氧化物薄膜的Al(圖4的中部和下部)。圖5的SEM圖像中,表示為光鐠2的區(qū)域包含看上去為黑色的部分和看上去為白色的部分,對(duì)該區(qū)域進(jìn)行元素分析時(shí),檢測(cè)到來(lái)自硅片基板的Si和來(lái)自金屬氧化物薄膜的Al(圖5的中部和下部)。由上述結(jié)果可以確定,在硅片基板上形成了均勻的氧化鋁薄膜。實(shí)施例5(a)涂布液的制備向甲苯中溶解有鄰苯二酚的溶液中滴加乙醇鈮(V)(niobium(V)ethoxide),并使乙醇鈮(V)與鄰苯二酚的摩爾比為1:2,得到混合溶液。另夕卜,調(diào)節(jié)該混合溶液中的溶劑總量使得乙醇鈮(V)的濃度為0.1M。接著,對(duì)上述混合溶液進(jìn)行蒸餾直至溶劑的一半被蒸發(fā),蒸餾時(shí)的蒸氣溫度為ll(TC。然后加入曱苯調(diào)節(jié)鈮的濃度為0.05M,得到涂布液。該涂布液為鈮的鄰苯二S^纟各合物的-容液。(b)在硅片基板表面形成金屬氧化物薄膜使用旋涂法(在1000rpm下進(jìn)行30秒)將上述(a)中制備的涂布液涂布在硅片基板的表面。然后將硅片基板在上述5O(TC條件下燒制。29(C)金屬氧化物薄膜的評(píng)價(jià)在使用上述(b)中的旋涂法涂布涂布液后,觀察硅片基板的表面,其表面均勻光滑。另外,在上述(b)的燒制后,對(duì)硅片基板的表面進(jìn)行SEM觀察,同時(shí)使用能量分散型X射線分光法(EDAX)進(jìn)行元素分析。圖6的上面部分的圖像為所觀察的SEM圖像,在該SEM圖像上沒(méi)有觀察到不均勻圖案。對(duì)該SEM圖像上的規(guī)定區(qū)域進(jìn)行元素分析時(shí),如圖6的中部和下部所示,檢測(cè)到Nb、Si、O和C。由上述結(jié)果可以確定,在硅片基板上形成了均勻的Nb2OJt。實(shí)施例6o)涂布液的制備將原硅酸四乙酯(TEOS-TetraethylOrthosilicate)滴加到在適量的二曱苯中溶解了鄰苯二酚而得到的溶液中,并使原硅酸四乙酯與鄰苯二酚的摩爾比為1:2,得到混合溶液。調(diào)節(jié)該混合溶液中的溶劑總量使得原硅酸四乙酯的濃度為0.1M。接著,將上述混合溶液回流約1小時(shí),再進(jìn)行蒸餾。蒸餾持續(xù)到溶劑的一半被蒸發(fā),蒸餾時(shí)的蒸氣溫度為14(TC。然后加入二曱苯調(diào)節(jié)硅的濃度為0.05M,由此得到涂布液。該涂布液為硅的鄰苯二酚絡(luò)合物的;容液。(b)在鋁基板表面形成金屬氧化物薄膜鋁基板的表面。然后將鋁基板在上述50(TC條件下燒制。(c)金屬氧化物薄膜的評(píng)價(jià)在使用上述(b)中的旋涂法涂布涂布液后,觀察鋁基板的表面,其表面均勻光滑。在上述(b)的燒制后,對(duì)鋁基板的表面進(jìn)行SEM觀察,同時(shí)使用能量分散型X射線分光法(EDAX)進(jìn)行元素分析。圖7的上半部分的圖像為SEM圖像,在該SEM圖像上沒(méi)有觀察到不均勻的圖案。對(duì)圖7的SEM圖像中表示為光譜3的區(qū)域進(jìn)行元素分析時(shí),檢測(cè)到來(lái)自鋁基板的Al和來(lái)自金屬氧化物薄膜的Si(圖7的中部和下部)。由上述結(jié)果可以確定,在鋁基板上形成了均勻的Si的氧化物薄膜。實(shí)施例7(a)涂布液的制備30將丙醇鍺(IV)(Germanium(IV)propoxide)滴加到在二曱苯中溶解了鄰苯二酚而得到的溶液中,并使丙醇鍺(IV)與鄰苯二酚摩爾比為1:2,從而得到混合溶液。另外,調(diào)節(jié)該混合溶液中的溶劑總量使得丙醇鍺(IV)的濃度為0.1M。上述混合溶液回流約1小時(shí)后,再進(jìn)行蒸餾。蒸餾持續(xù)到溶劑的一半被蒸發(fā),蒸餾時(shí)的蒸氣溫度為140°C。然后加入二曱苯調(diào)節(jié)鍺的濃度為0.05M,由此得到涂布液。該涂布液為鍺的鄰苯二紛絡(luò)合物的溶液。(b)在鋁基板表面形成金屬氧化物薄膜使用旋涂法(在1000rpm下進(jìn)行30秒)將上述(a)中制備的涂布液涂布在鋁基板的表面。然后將鋁基板在上述50(TC條件下燒制。實(shí)施例8(a)涂布液的制備將鄰苯二酚溶解在曱苯中,制備溶液,向該溶液中滴加乙醇鈮(V)(niobium(V)ethoxide)并使乙醇鈮(V)與鄰苯二酚的摩爾比為2:5,由此得到混合溶液。調(diào)節(jié)該混合溶液中的溶劑總量使得乙醇鈮(V)的濃度為0.5M。然后蒸餾去該溶液的一半,確認(rèn)蒸餾時(shí)的蒸氣溫度為IO(TC,蒸餾后混合液中殘余的易揮發(fā)組分在減壓條件下使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器蒸發(fā)除去,再使用真空干燥儀在真空下將殘余固體加熱到IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。持續(xù)干燥直至得到接近理論值(約98%)的固體物質(zhì)(乙醇鈮)。在本實(shí)施例8中,可以從乙醇鈮(V)(50.0g,0.157mol)、鄰苯二酚(43.3g,0.939mol)和曱苯(320mL)的溶液中得到56.0g(收率98%)的固體物質(zhì)(鄰苯二酚鈮)。將得到的固體物質(zhì)(鄰苯二酚鈮)溶解在乙酰丙酮與曱苯按體積比1:4的比例混合而得到的混合溶液中,調(diào)節(jié)鈮在混合溶液中的濃度為0.10M或4wt。/。,制成涂布液。(b)金屬氧化物薄膜的形成使用旋涂法將上述(a)中制得的涂布液涂布在由鈉鉤玻璃(SLG)或PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃制成的長(zhǎng)寬為50mmx50mm、厚度為3mm的基板表面上,形成涂膜。旋涂法中的轉(zhuǎn)速設(shè)定為750rpm,且滴加量約為0,4ml。使用電爐在空氣中對(duì)涂有該涂布液的涂敷玻璃基板進(jìn)行燒制,得到涂敷有Nb20s的玻璃。關(guān)于燒制條件,以10°C/min的升溫速度升溫至規(guī)定的燒制溫度(300、350、400、450、500、550、600°C),然后在該燒制溫度下保持1小時(shí),然后自然冷卻。燒制后,可以在涂敷玻璃基板上得到良好的氧化鈮薄膜。(C)金屬氧化物(氧化鈮)薄膜的評(píng)價(jià)Ci)總透光度、法度、色差的測(cè)定測(cè)定上述(b)中表面上形成了氧化鈮薄膜的涂敷玻璃的總透光度、濁度和色差。另外,總透光度和濁度使用日本電色工業(yè)林式會(huì)社制造的NDH-500W并基于JISK7136來(lái)測(cè)定。此外,色差使用日本電色工業(yè)抹式會(huì)社制造的SE-2000并基于JISZ8722來(lái)測(cè)定。其結(jié)果如下述表6所示。金屬氧化物基板燒制溫度(。C)總透光度(%)濁度(%)色差(△E)Nb205SLG30079.790.2511.39Nb205SIX}35081.090.239.17Nb205SLG40082.030.207.02Nb205SLG45086.760.172.54Nb205SLG50086.480.402.52Nb205SLG55086.470.202.49Nb205SU360085.080.173.44Nb205PYR50087.950.141.79承SLG-鈉鉤玻璃PYR=PYREX(ii)硝酸銀的光誘導(dǎo)還原反應(yīng)試驗(yàn)(氧化鈮)將上述(b)中表面上形成有氧化鈮薄膜的涂敷玻璃浸漬在0.01M的硝酸銀水溶液中,且涂敷玻璃位于水面以下50mm處。在這種狀態(tài)下,照射人造太陽(yáng)光1小時(shí),評(píng)價(jià)有無(wú)由光催化反應(yīng)導(dǎo)致的金屬銀的析出(即光催化活性)。結(jié)果如下述表7所示。另外,銀的析出(有無(wú)反應(yīng))通過(guò)肉眼確認(rèn)。_金屬氧化物基板燒制溫度rc)銀析出*Nb205SLG300XNb205SLG350XNb205SLG400XNb205SLG450XNb205SLG500〇Nb205SLG550〇Nb205SLG600〇Nb205PYR500X*存在銀析出O;沒(méi)有銀析出x(iii)光誘導(dǎo)超親水性的試驗(yàn)32對(duì)上述(b)中形成有氧化鈮薄膜的涂敷玻璃進(jìn)行UV照射,測(cè)定照射前后水的接觸角的變化。其結(jié)果如下述表8所示。UV照射使用40W-BLB燈在2.4mW/cn^的強(qiáng)度(光的波長(zhǎng)365nm處的強(qiáng)度)下進(jìn)行。另外,接觸角的測(cè)定分別在照射前、照射1小時(shí)、2小時(shí)、3小時(shí)、6小時(shí)和24小時(shí)后進(jìn)行。<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>(iv)試驗(yàn)結(jié)果當(dāng)基體為鈉鈣玻璃時(shí),光催化活性非常顯著,特別是,在燒制溫度為500。C以上時(shí),光催化活性更加顯著。另外,無(wú)論燒制溫度高低,都顯示超親水性,特別是,當(dāng)燒制溫度為500550。C時(shí),超親水性顯著。在燒制溫度為600。C時(shí),作為親水性不良的原因,認(rèn)為可能是由于氧化鈮轉(zhuǎn)變成其他的結(jié)晶體系。由上述結(jié)果可以確認(rèn),氧化鈮薄膜作為光自清洗性涂膜是有效的。實(shí)施例9向10mL的曱苯/2-丁酮(摩爾比l:l)溶劑中加入2-氨基苯酚(218mg,2mmol)和異丙醇鈦(IV)(TTIP)(284mg,lmmol),然后利用超聲波使試劑溶解,制成涂布液。然后使用旋涂法在PY'REX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃基板上涂布涂布液,使用電爐在50(TC下燒制1小時(shí)。結(jié)果在玻璃基板上形成了金屬氧化物(CNO-Ti)薄膜。使用可見(jiàn)/紫外分光光度計(jì)(U-3310,HitachiHigh-TechnologiesCorporation)測(cè)定上述的表面形成有金屬氧化物薄膜的玻璃基板的吸光度光語(yǔ),評(píng)價(jià)金屬氧化物薄膜的可見(jiàn)光吸收特性(參照?qǐng)D16)。另外,按照以下的方法評(píng)價(jià)所形成的金屬氧化物薄膜的可見(jiàn)光響應(yīng)性(光誘導(dǎo)親水性)。即,在對(duì)金屬氧化物薄膜照射可見(jiàn)光后,測(cè)定水的接觸角,評(píng)價(jià)光誘導(dǎo)親水性(參見(jiàn)圖17)。其中,使用熒光燈(20000k)作為光源,并且波長(zhǎng)為420nm以下的光被過(guò)濾掉。另外,接觸角測(cè)定計(jì)使用Dataphysics公司制造的OCA15plus??梢?jiàn)/紫外分光光度計(jì)的測(cè)定結(jié)果顯示,金屬氧化物薄膜的吸收端的初期增加為400450nm附近(與通常的氧化鈦薄膜相比,金屬氧化物薄膜的可見(jiàn)光吸收特性高)。經(jīng)除去波長(zhǎng)為420nm以下的紫外光的光照射后的水接觸角比照射前的值小,且隨著照射時(shí)間的增加變得更小。這表明作為光催化活性之一的光誘導(dǎo)親水性通過(guò)可見(jiàn)光而表現(xiàn)出來(lái)。實(shí)施例10向10mL的曱苯溶劑中加入2-氨基苯酚(250mg,2mmol)和TTIP(284mg,lmmol),利用超聲波使試劑溶解,制成涂布液。然后使用旋涂法在PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃基板上涂布涂布液,使用電爐在500。C下燒制1小時(shí)。其結(jié)果,在玻璃基板上形成了金屬氧化物(CNS-Ti)薄膜。對(duì)于上述形成的金屬氧化物薄膜,與上述實(shí)施例9同樣地,對(duì)其可見(jiàn)光吸收特性和光誘導(dǎo)親水性進(jìn)行評(píng)價(jià)(參照?qǐng)D16和17)。結(jié)果與實(shí)施例9中的結(jié)果大致相同。實(shí)施例11向10mL的曱苯溶劑中加入2-巰基苯酚(252mg,2mmol)和TTIP(284mg,lmmol),利用超聲波使試劑溶解,制成涂布液。然后使用旋涂法在PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃基板上涂布涂布液,使用電爐在500。C下燒制1小時(shí)。其結(jié)果,在玻璃基板上形成了金屬氧化物(COS-Ti)薄膜。對(duì)于上述形成金屬氧化物薄膜,與上述實(shí)施例9同樣地,對(duì)其可見(jiàn)光吸收特性和光誘導(dǎo)親水性進(jìn)行評(píng)價(jià)(參見(jiàn)圖16和17)。結(jié)果與實(shí)施例9中的結(jié)果大致相同。實(shí)施例12向10mL的曱苯/2-丁酮(摩爾比l:l)溶劑中加入鄰氨基苯曱酸(274mg,2mmol)和TTIP(284mg,lmmol),利用超聲波使試劑溶解,制成涂布液。然后使用旋涂法在PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃基板上涂布涂布液,使用電爐在500。C下燒制1小時(shí)。其結(jié)果,在玻璃基板上形成了金屬氧化物(ANT-Ti)薄膜。對(duì)于上述形成金屬氧化物薄膜,與上述實(shí)施例9同樣地,對(duì)其可見(jiàn)光34吸收特性和光誘導(dǎo)親水性進(jìn)行評(píng)價(jià)(參見(jiàn)圖16和17)。結(jié)果與實(shí)施例9中的結(jié)果大致相同。實(shí)施例13向10mL的曱苯/2-丁酮(摩爾比l:l)溶劑中加入硫代水楊酸(308mg,2mmol)和TTIP(284mg,lmmol),利用超聲波使試劑溶解,制成涂布液。然后使用旋涂法在PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃基板上涂布涂布液,使用電爐在500。C下燒制1小時(shí)。其結(jié)果,在玻璃基板上形成了金屬氧化物(TAL-Ti)薄膜。對(duì)于上述形成金屬氧化物薄膜,與上述實(shí)施例9同樣地,對(duì)其可見(jiàn)光吸收特性和光誘導(dǎo)親水性進(jìn)行評(píng)價(jià)(參見(jiàn)圖16和17)。結(jié)果與實(shí)施例9中的結(jié)果大致相同。實(shí)施例14向10mL的乙酰丙酮/乙酸乙酉旨(摩爾比l:4)溶劑中加入3,4-二羥基苯曱酸-鈦絡(luò)合物(176mg,,lmmol),利用超聲波使試劑溶解,制成涂布液。然后使用旋涂法在PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃基板上涂布涂布液,使用電爐在500。C下燒制1小時(shí)。其結(jié)果,在玻璃基板上形成了金屬氧化物(HOOC-CT-Ti)薄膜。對(duì)于上述形成金屬氧化物薄膜,與上述實(shí)施例9同樣地,對(duì)其可見(jiàn)光吸收特性和光誘導(dǎo)親水性進(jìn)行評(píng)價(jià)(參見(jiàn)圖16和17)。結(jié)果與實(shí)施例9中的結(jié)果大致相同。(比較例1)(a)涂布液的制備將異丙醇鈦(IV)加入到在適量的甲苯中溶解了2,2,-亞氨基二乙醇而得到的溶液中,得到混合溶液。另外,調(diào)節(jié)該混合溶液中的溶劑總量使得異丙醇鈦(IV)的濃度為0.5M。接著,將上述混合溶液回流大約1小時(shí),然后進(jìn)行蒸餾。蒸餾持續(xù)到混合溶液的量剩下一半,且蒸餾時(shí)的蒸氣溫度為110。C。然后,向上述混合液中以混合液1mL:1mL苯的比例加入苯,得到涂布液。該涂布液為2,2,-亞氨基二乙醇合鈥(titanium2,2,-iminodiethoxide)(鈥-亞氨基二乙醇絡(luò)合物)的溶液。圖8示出了2,2,-亞氨基二乙醇合鈦的分子結(jié)構(gòu)。(b)在玻璃基板表面形成金屬氧化物薄膜使用旋涂法(以1000rpm進(jìn)行30秒鐘,加入約0.5mL)將上述(a)中制備35的涂布液涂布在玻璃基板(50mmx50mm的PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃)。然后將玻璃基板在上述50(TC條件下燒制。(c)金屬氧化物薄膜的評(píng)價(jià)利用光學(xué)顯微鏡觀察上述(b)中形成的金屬氧化物薄膜。圖9是金屬氧化物薄膜表面的照片。如圖9所示,在金屬氧化物薄膜表面產(chǎn)生大量裂紋。認(rèn)為其理由如下。即,如圖3所示,本比較例1中的涂布液所含的2,2,-亞氨基二乙醇合鈦具有金屬位于中心的立體結(jié)構(gòu)。因此,在對(duì)由2,2,-亞氨基二乙醇合鈦形成的薄膜進(jìn)行燒制,由于熱分解使配位體消失,造成了在三維方向產(chǎn)生較大體積的收縮,結(jié)果產(chǎn)生了裂紋。(比較例2)(a)涂布液的制備用乙醇將1重量%的TNS(氧化鈦納米片)的水懸浮液稀釋到0.25重量%,使用超聲波對(duì)其照射5分鐘,得到涂布液。(b)在玻璃基板表面形成金屬氧化物薄膜使用旋涂法(以1000rpm進(jìn)行30秒鐘,加入約0.5mL)將上述(a)中制備的涂布液涂布在玻璃基板(50mmx50mm的PYREX(注冊(cè)商標(biāo))玻璃)的表面,然后對(duì)該玻璃基板進(jìn)行燒制。燒制分別在上述250。C條件、30(TC條件、35(TC條件下進(jìn)行。(c)金屬氧化物薄膜的評(píng)價(jià)測(cè)定上述(b)中形成的各金屬氧化物薄膜的硬度。其結(jié)果如上述表1所示。如表1所示,在燒制條件為25(TC條件、300。C條件和35(TC條件的任一情況下,本比較例2中的各金屬氧化物薄膜的硬度均為6B以下。另夕卜,測(cè)定條件與實(shí)施例1中的測(cè)定條件相同。對(duì)于上述(b)中的金屬氧化物薄膜,測(cè)定了與水的接觸角。測(cè)定結(jié)果如上述表3所示。如上述表3所示,在燒制條件為300。C條件或350。C條件時(shí),照射3小時(shí)后的接觸角均為4.9°,與上述實(shí)施例1中的接觸角為同等程度。(比較例3)(a)涂布液的制備將仲丁醇鋁(Alluminium(III)化c-butoxide)和適量的苯混合,將其作為溶液l。另外,將2,2,-亞氨基二乙醇溶解在適量的苯中,將其作為溶液2。向36溶液2中滴加溶液1,使得仲丁醇鋁和2,2,-亞氨基二乙醇的摩爾比為2:3,得到混合溶液。調(diào)節(jié)該混合溶液中溶劑的總量,使得仲丁醇鋁的濃度為0.1M。然后,將上述混合溶液回流大約1小時(shí),再在ll(TC溫度下蒸餾大約1小時(shí),直至混合液量剩下一半。然后加入苯使得鋁的濃度為0.05M,得到涂布液。該涂布液是鋁的2,2,-亞氨基二乙醇絡(luò)合物的溶液。(b)在硅片基板表面形成金屬氧化物薄膜使用旋涂法(在1000rpm下進(jìn)行30秒鐘)將上述(a)中制備的涂布液涂布在硅片基板的表面。然后將硅片基板在上述50(TC條件下燒制。(c)金屬氧化物薄膜的評(píng)價(jià)在使用上述(b)中的旋涂法涂布涂布液后,觀察硅片基板的表面,其表面均勻光滑。另外,在上述(b)的燒制后,對(duì)硅片基板表面進(jìn)行SEM觀察,同時(shí)使用能量分散型X射線分光法(EDAX)進(jìn)行元素分析。圖10圖13的上面的圖像是所觀察的SEM圖像(圖10和圖11為同一區(qū)域的SEM照片,圖12和圖13為同一區(qū)域的SEM照片)。圖10和圖11的SEM圖像中看上去為白色的部分和看上去為黑色的部分混合存在。另外,圖12和圖13的SEM圖像中存在幾十微米的尺度上肉眼觀察有差異的區(qū)域。在圖IO的SEM圖像中,表示為光譜2的區(qū)域是看上去為黑色的部分,對(duì)該部分進(jìn)行元素分析時(shí),檢測(cè)到來(lái)自硅片基板的Si和來(lái)自金屬氧化物薄膜的A1(圖IO的中部和下部)。圖11的SEM圖像中,表示為光語(yǔ)3的區(qū)域是看上去為白色的部分,對(duì)該部分進(jìn)行元素分析時(shí),檢測(cè)到來(lái)自硅片基板的Si(圖11的中部和下部)。另外,對(duì)圖12的SEM圖像中表示為光語(yǔ)3的區(qū)域中進(jìn)行元素分析時(shí),檢測(cè)到來(lái)自硅片基板的Si和來(lái)自金屬氧化物薄膜的Al(圖12的中部和下部)。對(duì)圖13的SEM圖像中表示為光譜3的區(qū)域進(jìn)行元素分析時(shí),檢測(cè)到來(lái)自硅片基板的Si(圖13的中部和下部)。如上所述,不僅在微觀的尺度上存在未檢測(cè)到Al的部分(看上去為白色的部分)(圖11的元素分析結(jié)果),而且對(duì)于比較廣的區(qū)域,也存在未檢測(cè)到Al的部分(圖13的元素分析結(jié)果),從這些結(jié)果可知,形成在硅片基板上的A1203的氧化物薄膜非常不均勻。(比較例4)(a)涂布液的制備將原硅酸四乙酉旨(TEOS-TetraethylOrthosilicate)滴加到2,2,-亞氨基二乙醇溶解在適量的二曱苯中而得到的溶液中,并使原硅酸四乙酯與2,2,-亞氨基二乙醇摩爾比為1:2,得到混合溶液。調(diào)節(jié)該混合溶液中的溶劑總量使得原硅酸四乙酯的濃度為0.1M。接著,將上述混合溶液回流大約1小時(shí)后,進(jìn)行蒸餾。蒸餾持續(xù)到一半溶劑被蒸發(fā),蒸餾時(shí)的蒸氣溫度為140°C。然后加入二甲苯調(diào)節(jié)硅的濃度為0.05M,得到涂布液。該涂布液為硅的2,2,-亞氨基二乙醇絡(luò)合物的溶液。(b)在鋁基板表面形成金屬氧化物薄膜使用旋涂法(以1000rpm進(jìn)行30秒鐘)將上述(a)中制備的涂布液涂布在鋁基板的表面。然后將鋁基板在上述50(TC條件下燒制。(c)金屬氧化物薄膜的評(píng)價(jià)在使用上述(b)中的旋涂法涂布涂布液后,觀察鋁基板的表面,其表面均勻光滑。此外,在上述(b)的燒制后,對(duì)鋁基板的表面進(jìn)行SEM觀察,同時(shí)使用能量分散型X射線分光法(EDAX)進(jìn)行元素分析。圖14和圖15中上面的圖像是SEM圖像(同一部分的圖像),在該SEM圖像中,看上去為白色的部分和看上去為黑色的部分混合存在。在圖14的SEM圖像中,表示為光譜2的部分是看上去為白色的部分,對(duì)該部分進(jìn)行元素分析時(shí),檢測(cè)到來(lái)自鋁基板的A1(圖14的中部和下部)。在圖15的SEM圖像中,表示為光譜2的部分是看上去為黑色的部分,對(duì)該部分進(jìn)行元素分析時(shí),檢測(cè)到來(lái)自鋁基板的Al和來(lái)自金屬氧化物薄膜的Si(圖15的中部和下部)。從上述結(jié)果可知,在鋁基板上混合存在未形成Si的氧化物薄膜的部分(SEM圖像上看起來(lái)為白色的部分)和形成Si的氧化物薄膜的部分(SEM圖像上看起來(lái)為黑色的部分),Si的氧化物薄膜是不均勻的。(比較例5)(a)涂布液的制備將丙醇鍺(IV)(Germanium(IV)propoxide)滴加到在適量的二曱苯中溶解了二乙醇胺而得到的溶液中,并使丙醇鍺(IV)與二乙醇胺摩爾比為1:2,得到混合溶液。調(diào)節(jié)該混合溶液中的溶劑總量使得丙醇鍺(IX)的濃度為0.1M。將上述混合溶液回流大約1小時(shí)后,進(jìn)行蒸餾。蒸餾持續(xù)到一半溶劑被蒸發(fā),蒸餾時(shí)的蒸氣溫度為140°C。然后加入二曱苯調(diào)節(jié)鍺的濃度至0.05M,38得到涂布液。該涂布液為鍺的2,2,-亞氨基二乙醇絡(luò)合物的溶液,但由于凝膠化,不能涂布在基板上。需要指出的是,本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施例,可以在不超出本發(fā)明的范圍內(nèi)以各種方式實(shí)施。例如,上述各實(shí)施例中的金屬絡(luò)合物或者包含該金屬絡(luò)合物的涂布液,可以是按照下述方法制備的。使用這些金屬絡(luò)合物或者涂布液,能夠獲得與上述各實(shí)施例中幾乎一樣的效果。(1)鄰苯二酚鈦(分子量264)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(22.0g,200mmol)和甲苯(220ml)的溶液蒸餾除去20mL以脫水。接著,邊攪拌邊加入28.4g(100mmol)的異丙醇鈦(IV)(TTIP)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為IO(TC以上進(jìn)行蒸餾直至溶液的量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余的固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鈦絡(luò)合物)為茶色,其收量為26.0g(98.5mmo1),收率為98%。將2.64g鄰苯二酚-鈦絡(luò)合物溶解在100mL的乙酰丙S同/曱苯(1:4)中,制成涂布液。(2)2,3-二萘酚鈦(titaniumnaphthalene-2,3-dioxide)(分子量366)通過(guò)對(duì)2,3-二羥基萘(32.0g,200mmol)和曱苯(220ml)的溶液蒸餾除去20mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入28.4g(100mmol)的異丙醇鈦(IV)(TTIP)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為10(TC以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(2,3-二羥基萘-鈦絡(luò)合物)為茶色,其收量為36.2g(98.9mmo1),收率為99%。將3.66g2,3-二鞋基萘-鈦絡(luò)合物溶解在100mL的乙酰丙酮/曱苯(l:4)中,制成涂布液。(3)氰基鄰苯二酚鈦(分子量314)通過(guò)對(duì)3,4-二羥基苯甲腈(5.00g,37.0mmol)和曱苯(45ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入5.25g(18.5mmol)的異丙醇鈦(IV)(TTIP)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為100。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易39揮發(fā)組分。固體成分(3,4-二羥基苯曱腈-鈦絡(luò)合物)為茶色,其收量為5.80g(18.5mmo1),收率為100%。將3.14g3,4-二羥基苯曱腈-鈦絡(luò)合物溶解在100mL的乙醇中,制成涂布液。(4)羧基鄰苯二酚鈦(分子量352)通過(guò)對(duì)3,4-二羥基苯曱酸(30.8g,200mmol)和甲苯(220ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入28.4g(100mmol)的異丙醇鈦(IV)(TTIP)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為IO(TC以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话搿U麴s后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(3,4-二羥基苯甲酸-鈦絡(luò)合物)為茶色,其收量為35.0g(99.4mmo1),收率為99%。將3.52g3,4-二羥基苯曱酸-鈦絡(luò)合物溶解在100mL的乙酰丙酮/乙酸乙酯(l:4)中,制成涂布液。(5)硝基鄰苯二酚鈦(分子量354)通過(guò)對(duì)4-硝基鄰苯二酚(10g,64.5mmol)和曱苯(220ml)的溶液蒸餾除去20mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入9.15g(32.2mmol)的異丙醇鈦(IV)(TTIP)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為IO(TC以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(4-硝基鄰苯二酚-鈦絡(luò)合物)為茶色,其收量為11.0g(31.1mmo1),收率為97%。將3.54g4-硝基鄰苯二酚-鈦絡(luò)合物溶解在100mL的乙酰丙酮/曱苯(l:4)中,制成涂布液。(6)吡淀-2,3-二醇鈦(titaniumpyridine-2,3-dioxide)(分子量266)通過(guò)對(duì)2,3-二羥基吡啶(22.2g,200mmol)和曱苯(220ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入28.4g(100mmol)的異丙醇鈦(IV)(TTIP)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為IO(TC以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(2,3-二羥基吡啶-鈦絡(luò)合物)為黃色,其收量為26.6g(lOOmmol),收率為100%。(7)1,4-二。惡烷-2,3-二醇鈦(titanium1,4-dioxane-2,3-dioxide)(分子量284)通過(guò)對(duì)1,4-二p惡烷-2,3-二醇(10.0g,83.3mmol)和甲苯(90ml)的溶液蒸餾40除去6mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入11.8g(41.6mmol)的異丙醇鈦(IV)(TTIP)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為100。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话搿U麴s后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至100。C,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(1,4-二p惡烷-2,3-二醇-鈦絡(luò)合物)為茶色,其收量為12.2g(35.9mmo1),收率為86%。(8)水楊酸鈦(分子量320)通過(guò)對(duì)水楊酸(27.6g,200mmol)和曱苯(220ml)的溶液蒸餾除去20mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入2S.化(100mmol)的異丙醇鈦(IV)(TTIP)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為IO(TC以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至100。C,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(水楊酸-鈦絡(luò)合物)為紅色,其收量為32.0g(100mmo1),收率為100%。將3.20g水楊酸-鈦絡(luò)合物溶解在100mL的乙酰丙酮/曱苯(l:4)中,制成涂布液。(9)鄰苯二酚鋯通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(2.20g,20mmol)和曱苯(25ml)的i容液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入5.00g(10.6mmol)的異丙醇鋯(IV)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為10(TC以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鋯絡(luò)合物)為黑色,其收量為3.07g(10.0mmol),收率為100%。(10)鄰苯二酚《合通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(2.34g,2.12mmol)和曱苯(26ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入5.00g(10.6mmol)的丁醇鉿(IV)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為10(TC以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鉿絡(luò)合物)為黑色,其收量為4.18g(10.6mmol),收率為100%。將鄰苯二酚-鉿絡(luò)合物溶解在乙酰丙酮中直至飽和,再過(guò)濾得到涂布液。(11)鄰苯二酚釩(分子量213)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(3.30g,30.0mmol)和二曱苯(45ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入6.97g(20mmol)的乙酰丙酮合釩(m)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為132。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话搿U麴s后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-釩絡(luò)合物)為黑色,其收量為4.26g(20.0mmo1),收率為100%。將鄰苯二酚-釩絡(luò)合物溶解在乙酰丙酮中直至飽和,再過(guò)濾得到涂布液。(12)鄰苯二酚鈮(分子量363)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(8.64g,78.5mmol)和曱苯(70ml)的溶液蒸餾除去10mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入10.0g(31.4mmol)的乙醇鈮(V)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為110。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话搿U麴s后,用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器在減壓下使殘留的混合液中的易揮發(fā)組分蒸發(fā)。再使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鈮絡(luò)合物)為茶色,其收量為11.4g(31.4mmo1),收率為100%。將3.63g鄰苯二酚-鈮絡(luò)合物溶解在100mL的乙酰丙酮/曱苯(l:4)中,制成涂布液。(13)鄰苯二酚鉭(分子量451)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(5.51g,50.0mmol)和曱苯(50ml)的溶液蒸餾除去10mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入8.13g(20.0mmol)的乙醇鉭(V)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為ll(TC以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器在減壓下使殘留的混合液中的易揮發(fā)組分蒸發(fā)。再使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鉭絡(luò)合物)為黃色,其收量為9.02g(20.0mmo1),收率為100%。將4.51g鄰苯二盼-鉭絡(luò)合物溶解在100mL的乙酰丙酮/曱苯(l:4)中,制成涂布液。(14)鄰苯二酚鉬(二氧)(分子量236)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(1.10g,10.0mmol)和二曱苯(25ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入3.26g(10.0mmol)的二氧雙乙酰丙酮合鉬(IV)(dioxymolybdenum(IV)bisacetylacetonate)。將該混合溶液回流1小時(shí),42然后在蒸餾溫度為132。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器在減壓下使殘留的混合液中的易揮發(fā)組分蒸發(fā)。再使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鉬絡(luò)合物)為黑色,其收量為3.26g(10.0mmo1),收率為100%。將鄰苯二酚-鉬絡(luò)合物溶解在乙醇中直至飽和,再過(guò)濾得到涂布液。(15)鄰苯二酚鴒(分子量400)將鄰苯二酚(2.20g,20mmol)混合到二曱苯(60ml)與2-丙醇(20ml)的溶液中。然后,邊攪拌邊加入3.26g(10mmol)的氯化鎢(IV)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后蒸餾直至溶液量變?yōu)?0mL。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鴒絡(luò)合物)為黑色,其收量為4.00g(10.0mmo1),收率為100%。將鄰苯二酚-鎢絡(luò)合物溶解在乙酰丙酮中直至飽和,再過(guò)濾得到涂布液。(16)鄰苯二酚錳(分子量163)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(2.20g,20mmol)和二曱苯(45ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入3.46g(20mmol)的醋酸錳(n)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為132。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-錳絡(luò)合物)為綠色,其收量為3.26g(20.0mmo1),收率為100%。將鄰苯二酚-錳絡(luò)合物溶解在乙酰丙酮中直至飽和,再過(guò)濾得到涂布液。(17)鄰苯二酚鐵(分子量164)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(2.20g,20mmol)和二曱苯(45ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入3.48g(20mmol)的醋酸鐵(n)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為132。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鐵絡(luò)合物)為橙色或茶色,其收量為3.28g(20.0mmo1),收率為100%。將鄰苯二酚-鐵絡(luò)合物溶解在乙酰丙酮中直至飽和,再過(guò)濾得43至'J涂布液。(18)鄰苯二酚鈷(分子量167)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(2.20g,20mmol)和二曱苯(45ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入3.54g(20mmol)的醋酸鈷(n)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為132。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话搿U麴s后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鈷絡(luò)合物)為綠色,其收量為3.34g(20.0mmo1),收率為100%。將鄰苯二酚-鈷絡(luò)合物溶解在乙酰丙酮中直至飽和,得到涂布液。(19)鄰笨二酚銅(分子量171.6)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(2.20g,20mmol)和曱苯(45ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入2.50g(20mmol)的曱醇銅(n)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為IO(TC以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-銅絡(luò)合物)為紫色,其收量為3.30g(19.2mmo1),收率為96%。將鄰苯二酚-銅絡(luò)合物溶解在乙酰丙酮中直至飽和,再過(guò)濾得到涂布液。(20)鄰苯二酚鋅(分子量173)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(2.20g,20mmol)和二曱苯(45ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入3.76g(20mmol)的醋S吏鋅(n)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為132。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鋅絡(luò)合物)為白色,其收量為3.46g(20.0mmo1),收率為100%。將鄰苯二酚-鋅絡(luò)合物溶解在乙酰丙酮中直至飽和,再過(guò)濾得到涂布液。(21)鄰苯二酚鋁(分子量189)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(3.30g,30.0mmol)和曱苯(45ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入4.08g(20mmol)的異丙醇鋁(in)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為100。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话搿U麴s后,使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器在減壓下使殘留的混合液中的易揮發(fā)組分蒸發(fā)。再使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鋁絡(luò)合物)為綠色,其收量為78g(20.0mmol),收率為100%。將1.89g鄰苯二酚-鋁絡(luò)合物溶解在lOOmL乙酰丙酮/曱苯(l:4)中,制成涂布液。(22)鄰苯二酚鎵(III)(分子量232)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(1.65g,15mmol)和二曱苯(25ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入3.67g(lOmmol)的乙酰丙酮合鎵(III)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為132。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至100°C,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鎵絡(luò)合物)為灰色,其收量為2.32g(10.0mmo1),收率為100%。將鄰苯二酚-鎵絡(luò)合物溶解在乙酰丙酮中直至飽和,再過(guò)濾得到涂布液。(23)鄰苯二酚銦(III)(分子量277)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(3.30g,30mmol)和二曱苯(90ml)的溶液蒸餾除去10mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入5.84g(20mmol)的醋酸銦。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為132。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话搿U麴s后,使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器在減壓下使殘留的混合液中的易揮發(fā)組分蒸發(fā)。再使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至100°C,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-銦絡(luò)合物)為綠色,其收量為5.54g(20.0mmo1),收率為100%。將6.93g鄰苯二酚-銦絡(luò)合物溶解在100mL乙酰丙酮/甲苯(l:4)中,制成涂布液。(24)鄰笨二酚硅(IV)(分子量244)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(22.0g,0.20mol)和曱苯(220ml)的溶液蒸餾除去20mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入20.8g(0.10mmol)的四乙氧基硅烷(TEOS)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為10CTC以上以15mL/h的液體流速蒸餾,直至溶液量變?yōu)?00mL。結(jié)果得到鄰苯二酚-硅絡(luò)合物的甲苯溶液。向2mL該鄰苯二酚-珪絡(luò)合物的曱苯溶液中加入2mL的乙酰丙酮,制成涂布液。(25)羰基鄰苯二酚硅(IV)(分子量300)通過(guò)對(duì)3,4-二羥基苯曱醛(27.6g,200mmol)和曱苯(220ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入20.8g(100mmol)的四乙氧基硅烷(TEOS)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為100。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话搿U麴s后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(3,4-二羥基苯甲醛-硅絡(luò)合物)為黑色,其收量為30.0g(100mmo1),收率為100%。將15g3,4-二羥基苯曱醛-硅絡(luò)合物溶解在100mL二曱亞砜/乙醇(l:9)中,制成涂布液。(26)鄰苯二酚鍺(分子量288.6)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(2.20g,20mmol)和曱苯(25ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入3.09g(10.0mmol)的異丙醇鍺(IV)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為IOO'C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鍺絡(luò)合物)為灰色,其收量為2.89g(10.0mmol),收率為100%。將鄰苯二酚-鍺絡(luò)合物溶解在乙酰丙酮中直至飽和,再過(guò)濾得到涂布液。(27)鄰苯二酚錫(分子量335)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(2.20g,20.0mmol)和曱苯(25ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入4.11g(10.0mmol)的丁醇錫(IV)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為100。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器在減壓下使殘留的混合液中的易揮發(fā)組分蒸發(fā)。再使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-錫絡(luò)合物)為綠色,其收量為3.35g(lO.Ommol),收率為100%。將6.70g鄰苯二酚-錫絡(luò)合物溶解在100mL乙酰丙酮/曱苯(l:4)中,制成涂布液。(28)鄰苯二酚鉍(分子量371)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(1.65g,15mmol)和二曱苯(25ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入4.70g(10mmol)的戊醇鉍(ni)。將該混合溶液回流1小時(shí),然后在蒸餾溫度為132。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器在減壓下使殘留的混合液中的易揮發(fā)組分蒸發(fā)。再使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鉍絡(luò)合物)為黑色,其收量為463.71g(10mmo1),收率為100%。將鄰苯二酚-鉍絡(luò)合物溶解在乙醇中直至飽和,再過(guò)濾得到涂布液。(29)鄰苯二酚鎂(分子量132)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(2.20g,20mmol)和曱苯(45ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入2.29g(20mmol)的乙醇鎂(n)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為100。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鎂絡(luò)合物)為黑色,其收量為2.57g(19.5mmo1),收率為97%。將鄰苯二酚-鎂絡(luò)合物溶解在乙酰丙酮中直至飽和,再過(guò)濾得到涂布液。(30)鄰苯二酚鋇(分子量245)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(1.37g,12.5mmol)和曱苯(25ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入3.20g(12.5mmol)的異丙醇鋇(n)。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為IO(TC以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话搿U麴s后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-鋇絡(luò)合物)為灰綠色,其收量為3.08g(12.5mmo1),收率為100%。將鄰苯二酚-鋇絡(luò)合物溶解在乙酰丙酮中直至飽和,再過(guò)濾得到涂布液。(31)鄰苯二酚銪(III)(分子量314)通過(guò)對(duì)鄰苯二酚(3.30g,30mmol)和二甲苯(45ml)的溶液蒸餾除去5mL以脫水。然后,邊攪拌邊加入6.58g(20mmol)的醋酸銪。將該混合溶液回流l小時(shí),然后在蒸餾溫度為132。C以上進(jìn)行蒸餾,直至溶液量變?yōu)橐话?。蒸餾后,使用膜濾器進(jìn)行抽濾,分離'出生成物的固體成分。使用真空干燥機(jī)在真空下將殘余固體成分加熱至IO(TC,徹底除去殘余的易揮發(fā)組分。固體成分(鄰苯二酚-銪絡(luò)合物)為黃色,其收量為6.28g(20mmo1),收率為100%。將0.314g鄰苯二酚-銪絡(luò)合物溶解在10mL乙酰丙酮/曱苯(l:4)中,制成涂布液。4權(quán)利要求1.一種涂布液,該涂布液包含選自化學(xué)式1表示的金屬絡(luò)合物A、化學(xué)式2表示的金屬絡(luò)合物B和化學(xué)式3表示的金屬絡(luò)合物C中的一種以上金屬絡(luò)合物,化學(xué)式1化學(xué)式2化學(xué)式3其中,化學(xué)式1、化學(xué)式2、化學(xué)式3中的M是金屬離子;化學(xué)式1、化學(xué)式2、化學(xué)式3中的X1~X4分別是O、NH、CO2和S中的任一個(gè);化學(xué)式1中的Y1~Y8和化學(xué)式3中的Y1~Y4分別是CH或N;化學(xué)式2和化學(xué)式3中的Z1~Z3以及化學(xué)式2中的Z4~Z6中每組中的一個(gè)選自O(shè)、NH和S,另兩個(gè)選自CH和N;化學(xué)式1、化學(xué)式2、化學(xué)式3中的L是軸向配位體;化學(xué)式1、化學(xué)式2、化學(xué)式3中的k是金屬絡(luò)合物的價(jià)數(shù),且等于M、X1-X4和L所具有的電荷總和。2.權(quán)利要求1所述的涂布液,其中,上述M是選自A1、Si、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、In、Sn、Eu、Ta和Pb中的一種以上的金屬離子。3.含有化學(xué)式1表示的金屬絡(luò)合物A的涂布液,化學(xué)式1:、+化學(xué)式1中的M是金屬離子;X,X4分別是0、NH、C02和S中的任一個(gè);Y廣Y8分別是CH或N;化學(xué)式1中的L是軸向配位體;化學(xué)式1中的k是金屬絡(luò)合物A的價(jià)數(shù),且等于M、X,X4和L所具有的電荷總和。4.權(quán)利要求3所述的涂布液,其中,上述M是選自A1、Si、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、In、Sn、Eu、Ta和Pb中的一種以上的金屬離子。5.含有化學(xué)式2表示的金屬絡(luò)合物B的涂布液,化學(xué)式2:—k+化學(xué)式2中的M是金屬離子;X廣X4分別是0、NH、C02和S中的任一個(gè);Z,~Z3和Z4Z6中每組中的一個(gè)選自O(shè)、NH和S,另兩個(gè)選自CH和N;化學(xué)式2中的L是軸向配位體;化學(xué)式2中的k是金屬絡(luò)合物B的價(jià)數(shù),且等于M、X!X4和L所具有的電荷總和。6.權(quán)利要求5所述的涂布液,其中,上述M是選自A1、Si、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、In、Sn、Eu、Ta和Pb中的3一種以上的金屬離子。7.含有化學(xué)式3表示的金屬絡(luò)合物C的涂布液,化學(xué)式3:k+化學(xué)式3中的M是金屬離子;X!X4分別是0、NH、C02和S中的任一個(gè);Y,Y4分別是CH或N;Z廣Z3中的一個(gè)選自O(shè)、NH和S,另兩個(gè)選自CH和N;化學(xué)式3中的L是向配位體;化學(xué)式3中的k是金屬絡(luò)合物C的價(jià)數(shù),且等于M、X廣X4和L所具有的電荷總和。8.權(quán)利要求7所述的涂布液,其中,上述M是選自A1、Si、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、In、Sn、Eu、Ta和Pb中的一種以上的金屬離子。9.權(quán)利要求14中任一項(xiàng)所述的涂布液,其中,金屬絡(luò)合物A是化學(xué)式4化學(xué)式11表示的金屬絡(luò)合物中的任一個(gè),化學(xué)式4:化學(xué)式5:<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>化學(xué)式6:化學(xué)式7:化學(xué)式8:化學(xué)式9:化學(xué)式10:金屬絡(luò)合k+10.權(quán)利要求1、2、5和6中任一項(xiàng)所述的涂布液,其中,物B是化學(xué)式12化學(xué)式15表示的金屬絡(luò)合物中的任一個(gè),化學(xué)式12:<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>11.權(quán)利要求1、2、7和8中任一項(xiàng)所述的涂布液,其中,金屬絡(luò)合物C是化學(xué)式l卜化學(xué)式17表示的金屬絡(luò)合物中的任一個(gè),化學(xué)式16:<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>12.—種涂布液,其是將含有金屬烷氧化物或金屬鹽的溶液和化學(xué)式19化學(xué)式30中的任一個(gè)所表示的配位體混合而得到。13.權(quán)利要求12所述的涂布液,其中,上述金屬是選自A1、Si、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Zr、Nb、In、Sn、Eu、Ta禾口Pb中的一種以上的金屬。14.一種金屬化合物薄膜的形成方法,該方法包括將權(quán)利要求113中任一項(xiàng)所述的涂布液涂布在基體上而形成涂膜,并使上迷涂膜中含有的金屬絡(luò)合物轉(zhuǎn)變?yōu)榛瘜W(xué)式18表示的金屬化合物,化學(xué)式18:M(O華X5+X《)n化學(xué)式18中的X5和X6分別是上述X廣X4中包含的O、N和S中的任一個(gè);1、m和n分別是Xs、X6和M的價(jià)數(shù);另夕卜,x和y分別是X;和X6在上述金屬化合物中的含有率,x和y之和是不超過(guò)l的值。15.權(quán)利要求14所述的金屬化合物薄膜的形成方法,其中,通過(guò)燒制使上述金屬絡(luò)合物變成上述金屬化合物。16.權(quán)利要求15所述的金屬化合物薄膜的形成方法,其中,上述燒制的溫度在250。C180(TC的范圍。17.利用權(quán)利要求1416中任一項(xiàng)所述的金屬化合物薄膜的形成方法所形成的金屬化合物薄膜。18.—種包覆有金屬化合物薄膜的制品,其包括基體;和利用權(quán)利要求1416中任一項(xiàng)所述的金屬化合物薄膜的形成方法在基體表面上形成的金屬化合物薄膜。19.權(quán)利要求18所述的包覆有金屬化合物薄膜的制品,其中,上述基體為樹(shù)脂、金屬、陶瓷和玻璃中的任意一種。全文摘要本發(fā)明提供一種涂布液,其包含選自化學(xué)式1表示的金屬絡(luò)合物A、化學(xué)式2表示的金屬絡(luò)合物B和化學(xué)式3表示的金屬絡(luò)合物C中的一種以上金屬絡(luò)合物。其中,化學(xué)式1、化學(xué)式2、化學(xué)式3中的M是金屬離子;化學(xué)式1、化學(xué)式2、化學(xué)式3中的X<sub>1</sub>~X<sub>4</sub>分別是O、NH、CO<sub>2</sub>和S中的任一個(gè);化學(xué)式1中的Y<sub>1</sub>~Y<sub>8</sub>和化學(xué)式3中的Y<sub>1</sub>~Y<sub>4</sub>分別是CH或N;化學(xué)式2和化學(xué)式3中的Z<sub>1</sub>~Z<sub>3</sub>以及化學(xué)式2中的Z<sub>4</sub>~Z<sub>6</sub>中每組中的一個(gè)選自O(shè)、NH和S,另兩個(gè)選自CH和N;化學(xué)式1、化學(xué)式2、化學(xué)式3中的L是軸向配位體;化學(xué)式1、化學(xué)式2、化學(xué)式3中的k是金屬絡(luò)合物的價(jià)數(shù),且等于M、X<sub>1</sub>-X<sub>4</sub>和L所具有的電荷總和。文檔編號(hào)C01B13/14GK101489920SQ20078002652公開(kāi)日2009年7月22日申請(qǐng)日期2007年7月12日優(yōu)先權(quán)日2006年7月13日發(fā)明者仲村亮正,克里斯托弗·科多尼爾,小峰輝男,山下誠(chéng),志知哲也,沼田貴史,勝又健一,勝又靖博,藤嶋昭,雨宮健一郎申請(qǐng)人:東海旅客鐵道株式會(huì)社
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