技術(shù)編號：3435650
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于形成金屬化合物薄膜的涂布液、金屬化合物薄膜及其 形成方法、以及在表面形成有金屬氧化物薄膜的制品。背景技術(shù)作為在玻璃、金屬、陶瓷等的表面形成金屬氧化物薄膜的技術(shù)，有賊射、物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)等干法，以及以溶膠凝膠法 為代表的濕法。但是，濺射、PVD等采用物理方法的干式工藝需要高度真空，裝置越 大越是難以保持高真空，因此，很難形成大面積的金屬氧化物薄膜。另夕卜， 使材料氣化需要大量的能量，而且為了改善成膜性還必須對形成金...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。