專利名稱：用于生產(chǎn)三氟化氮的工藝的制作方法
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體制造中對NF3的需求量大且在增加。早期的生產(chǎn)NF3的工藝包括通過F2的銨離子直接氟化，在攪拌反應(yīng)容器中使氣體F2與液體(熔融地)氟化氫銨(AAF)接觸。早期的工藝操作以在反應(yīng)液體中HF與氨(ammonia)的摩爾比為2.0比2.5(熔融比)和在氟化氫銨熔點(diǎn)以上的溫度下運(yùn)行，NH4HF2的熔點(diǎn)為127℃。后期用于生產(chǎn)NF3的工藝由于使用更高的HF/NH3熔融比，影響了氟化氫銨的直接氟化。
下面的專利和文章描述生產(chǎn)和提純NF3的工藝。
US4,091,081公開了早期通過在攪拌反應(yīng)容器中260°F以上400°F以下的溫度下通過氟化氫銨的直接氟化生產(chǎn)NF3的工藝。HF/NH3比保持為2到2.5。
US4,156,598公開了通過氟化氫銨的直接氟化生產(chǎn)NF3的工藝。為了延長在提純NF3的工藝中所使用吸附柱的壽命，在從反應(yīng)產(chǎn)物中去除吸收的N2O和水之前，以低于0.03的體積百分比的程度去除N2F2。
US5,637,285公開了通過銨源直接氟化生產(chǎn)NF3，例如采用HF/NH3熔融比至少為2.55的氟化氫銨且輸入反應(yīng)介質(zhì)的功率大于每立方米1000瓦特。公開的用于NF3生產(chǎn)的典型的銨源反應(yīng)物包括分子式為NH4Hx-1Fx(NH4)yMFz.nHF的化合物，其中x大于2.55；y為1-4；z為2-8，且n足夠大以保持反應(yīng)物為液體。專利權(quán)人知道通過比現(xiàn)有技術(shù)工藝熔融比更低的工藝，會產(chǎn)生更多的副產(chǎn)品HF，但是其指出部分HF可以被回收和循環(huán)使用。專利權(quán)人也指出即使使用更高的熔融比，也可得到低水平的熔融廢料(每1b的NF3，1.351b銨酸氟化物)，該熔融廢料的水平比US4,091,081中公開的工藝所得到的水平低很多。
US2003/152,507(A1)公開了不需要犧牲F2到NF3的高轉(zhuǎn)化率，使用具有NF3反應(yīng)器的熱機(jī)循環(huán)以消除或大幅減少過去由于攪拌器或渦輪而需要機(jī)械能輸入的生產(chǎn)NF3工藝。在一方面，反應(yīng)器包括混合區(qū)和反應(yīng)區(qū)，其中HF經(jīng)過蒸汽噴嘴。使用能夠經(jīng)受反復(fù)壓縮和膨脹的工作液體HF和NH4F(HF)x產(chǎn)生機(jī)械能。
發(fā)明的簡要描述
本發(fā)明涉及一種改進(jìn)的反應(yīng)工藝，通過該工藝能得到優(yōu)良的NF3產(chǎn)量，同時(shí)最小化離開工藝氣體的未反應(yīng)的氟化物量和產(chǎn)生最小量的液體熔融物廢料(HF/NH3)?；镜腘F3工藝在于在形成NF3的條件下使F2和銨離子源，例如氟化氫銨(ammonium acid fluoride)反應(yīng)，在工藝中的改進(jìn)包括
在第一溫度引入F2和所述的銨離子源以平流(cocurrently)通過填充柱或棒狀柱(monolith column)；
使所述的F2和銨離子源在所述的柱內(nèi)反應(yīng)以產(chǎn)生NF3和副產(chǎn)物HF；和
優(yōu)選地在比第一溫度高的第二溫度下從所述柱上去除包含NF3和副產(chǎn)物的反應(yīng)產(chǎn)物。
通過該工藝可取得顯著的優(yōu)點(diǎn)，包括
能夠顯著地減少與NF3工藝相關(guān)的生產(chǎn)成本和廢料的產(chǎn)生；
能夠在低壓降下操作，并具有極好的反應(yīng)物通過量(throughput)，由此減少了NF3生產(chǎn)的資金消耗；
能夠減小或消除在反應(yīng)中期間產(chǎn)生的危險(xiǎn)的液體熔融物廢料；和
通過增加氟化物的轉(zhuǎn)化和選擇性，能夠增加產(chǎn)品產(chǎn)量并減少在氣體產(chǎn)物線上未反應(yīng)的F2的量。
附圖的簡要描述
該圖是生產(chǎn)NF3的流程圖。
發(fā)明的詳細(xì)說明
氟化物和液體HF/NH3混合物(熔融)的反應(yīng)產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)品包括作為氣體產(chǎn)物的NF3、HF、N2和其它的氟化氮以及液體HF/NH3熔融物。遺憾地是，早期的最佳化NF3產(chǎn)量的現(xiàn)有技術(shù)工藝也增加了液體HF/NH3熔融物的量。另外，這些現(xiàn)有技術(shù)工藝通常導(dǎo)致氟化物的不完全轉(zhuǎn)化和中等(moderate)的產(chǎn)品選擇性。在現(xiàn)有工藝中存在兩個(gè)問題，一個(gè)是減少作為廢物處理的液體熔融物的水平，也就是沒有通過工藝回收的液體熔融物的量，另一個(gè)是減少工藝中逃出的未反應(yīng)的氟化物的水平。
本發(fā)明涉及對通過F2和銨離子源，優(yōu)選氟化氫銨的反應(yīng)來生產(chǎn)三氟化氮的改進(jìn)。在該工藝中銨離子源和包含氣體的氟以平流通過柱反應(yīng)，即填充柱或結(jié)構(gòu)柱例如棒狀柱，反應(yīng)物包括NF3，副產(chǎn)品包括從柱中提取的HF。隨著反應(yīng)混合物向下經(jīng)過柱，由于發(fā)熱反應(yīng)溫度隨著柱長度而升高。另外，通過反應(yīng)由于銨離子的去除和副產(chǎn)品HF的形成，酸值也就是HF水平升高。因此，HF增加導(dǎo)致HF/NH3熔融比在反應(yīng)產(chǎn)物中增加。
與現(xiàn)有的技術(shù)工藝相比，本工藝解決了從工藝中放出液體熔融物廢料和低F2轉(zhuǎn)化的問題?？刂圃谥械臈l件以使F2和銨離子源在填充或單個(gè)柱的入口處的進(jìn)氣溫度低于柱出口處的反應(yīng)產(chǎn)物的溫度。在柱中的溫度升高控制在大約1到30℃的范圍內(nèi)且優(yōu)選大約從8到20℃。因?yàn)樵诳刂浦袦囟壬叩臈l件下操作該工藝，能迫使反應(yīng)所產(chǎn)生的過量HF從液體熔融物變到氣體。這樣，過量的HF不用氣體氟反應(yīng)去除，且在后續(xù)回收步驟中分離而不與液體熔融物在一起。通過適當(dāng)?shù)目刂疲梢詼p少或消除工藝中作為廢料的液體熔融物水平。
為了利于理解本發(fā)明，可以參考附圖。在NF3工藝中，通過管2引入F2，隨同包含熔融再循環(huán)物的液銨離子通過管4到達(dá)反應(yīng)柱6的頂端。氣體氟進(jìn)料管2也可包含惰性氣體如N2和NF3。由F2和液銨離子熔融混合物產(chǎn)生的表示或計(jì)算為HF/NH3的進(jìn)料熔融比的范圍大約從2.4到5，優(yōu)選范圍從2.6到4，最優(yōu)選的范圍從2.6到3.6。平流引入由通過管2和4的反應(yīng)物混合形成進(jìn)料混合物以在柱6中建立栓塞流并產(chǎn)生良好分散的反應(yīng)氣體-液體混合物。為了利于氣體分散和混合，柱6填充任意的填料，如環(huán)、拉西環(huán)或構(gòu)造填料如棒狀柱。棒狀柱或填滿填料的柱允許足夠的壓力降以提供必要的能量輸入到反應(yīng)混合物中，以產(chǎn)生優(yōu)異的反應(yīng)率和優(yōu)異的產(chǎn)量。
在柱6入口或進(jìn)料端的反應(yīng)溫度與柱6的其它任何部分相比優(yōu)選為最低。典型地，入口反應(yīng)料的溫度范圍從90到200℃，優(yōu)選從120到180℃。柱中壓強(qiáng)的典型范圍從10磅/平方英寸(psia)到500磅/平方英寸，優(yōu)選為大約20磅/平方英寸到50磅/平方英寸。
F2和包含銨離子的熔融物之間的反應(yīng)是高度放熱的，因此釋放出大量熱量。通過控制柱中的液體熔融物比和液體熔融物對F2反應(yīng)流速來保持柱中溫度。柱內(nèi)液體熔融物比例升高，例如高于初始液體熔融物比例0.01到0.5的量，優(yōu)選從0.03到0.1。據(jù)此意味著在反應(yīng)產(chǎn)物和料之間的熔融比的差別從0.01到0.5，優(yōu)選從0.03到0.1。反應(yīng)產(chǎn)物中的熔融比與入口液體進(jìn)料的熔融比的差別大于0.5，由于熱很難從柱中去除會導(dǎo)致反應(yīng)失控。
繼續(xù)參考附圖，反應(yīng)產(chǎn)物通過管8從柱6的底部收回，通常在相分離器10中減壓和分離。通過管12除去包含HF、N2F2、N2副產(chǎn)品、其它的氟化合物和未反應(yīng)F2的粗品NF3蒸汽，通過管14除去作為底部級分的包含液體銨離子的熔融物。任何適當(dāng)?shù)南喾蛛x裝置可以用作相分離器10以分離液相和氣相。
管8中反應(yīng)物出口溫度被控制得比入口溫度高大約1到30℃，因此，出口溫度典型的從120到230℃，優(yōu)選范圍是128到195℃，由于閃蒸和相分離，在管14中相分離后的液體熔融物溫度典型的比管8中的低1到20℃。控制管14中熔融的壓強(qiáng)為15磅/平方英寸到150磅/平方英寸，優(yōu)選范圍為20磅/平方英寸到50磅/平方英寸。
因?yàn)榻咏隹诘臏囟仍黾雍蛪簭?qiáng)減少(相當(dāng)于反應(yīng)溫度增加)，在NF3工藝中主要產(chǎn)生了減少液體熔融物廢料的效果。從液相中除去了在工藝中溫度增加產(chǎn)生的副產(chǎn)物HF，也就是從液體熔融物到蒸汽相。(在柱6的底部溫度更高的第二個(gè)好處是增加了F2氣向NF3的轉(zhuǎn)化，至少可實(shí)現(xiàn)95％的轉(zhuǎn)化。)如果希望完全消除熔融廢料量，控制工藝以使在管12中氣體產(chǎn)物HF去除的量等于反應(yīng)產(chǎn)生的HF的量?；蛘?，如果選擇減小而不是完全消除熔融廢料的量，以提供不希望的可能以液相集聚的雜質(zhì)的出口；通過調(diào)整熔融比和反應(yīng)器出口的溫度可以實(shí)現(xiàn)熔融廢料的減少。如所述出口的熔融比可以通過控制入口的熔融比來控制，尤其是通過管2和4引入的F2與回收熔融物的比。出口溫度范圍典型地比入口溫度高8到20℃，使得F2的轉(zhuǎn)化率高于90％。
可進(jìn)一步順流處理管12中的氣體以再生HF。洗滌、吸收或任何適當(dāng)?shù)奶幚砜梢詮拇制樊a(chǎn)品線中將F2和副產(chǎn)物N2F2與其它氟化物副產(chǎn)物一起去除。
管14中的液體熔融物通常所具有的HF/NH3源的熔融比高于通過管線4引入的液體熔融物料的熔融比或等于入口熔融比。如所述優(yōu)選具有很少甚至沒有液體熔融物廢料的工藝操作。然而會產(chǎn)生一部分液體熔融物廢料并由此通過凈化管16從系統(tǒng)中去除，這些液體熔融物被當(dāng)作廢料并因此被處理。在條件下操作柱6的優(yōu)點(diǎn)是使得有時(shí)少量的液體熔融物被當(dāng)作廢物。在這些場合液體熔融物廢料的去除有利于控制在在回收熔融物中由于反應(yīng)器壁和填充材料的溶解而形成的金屬鹽濃度。
來自相分離器10的剩余液體熔融物通過管18傳送到熱交換器20。那里液體熔融物的溫度降低，這樣反應(yīng)熱從工藝中去除。通過管22將冷卻至大約從80到140℃的熔融物去除并且裝入泵24的入口，在這里，液體管的壓力升高至大約20到50磅/平方英寸。這樣，泵24提供系統(tǒng)操作所必須的能量。
更高壓的液體熔融物從泵24釋放并通過管26送入混合裝置28，舉例來說，衡定攪拌槽反應(yīng)器(“CSTR”)，或在線(in-line)靜態(tài)混合器，這里通過管39加入新鮮(flesh)的NH3，如果需要通過管32制成HF。任選地，在這一點(diǎn)上可全部或部分地引入來自管2的F2，而不是如圖所述的在柱6的頂部混合。在混合裝置28中的NH3、HF和回收熔融物之間的反應(yīng)放出熱量且導(dǎo)致溫度增加。通過混合裝置后的夾套(jacket)或在熱交換器將在反應(yīng)裝置中反應(yīng)產(chǎn)生的熱量去除。結(jié)果液體熔融物從混合裝置28排出并通過管4引入到柱6的入口以完成回收循環(huán)。
在本發(fā)明中，可以使用任何在操作范圍與適量的HF結(jié)合產(chǎn)生液體反應(yīng)混合物的銨離子源。銨離子源的例子包括氟金屬銨鹽多(氟化氫)(ammoniumfluorometallate poly(hydrogen fluorides))，其可以通過氟金屬銨鹽與一定量的HF反應(yīng)得到，通過下式表示
A
(NH4)yMFz·nHF
其中M是選自通過元素周期表1至18族的一個(gè)或多個(gè)元素；y是從1到4的數(shù)字；z是范圍從2到8的數(shù)字；n是在反應(yīng)混合物中足以保持化合物為液體的一個(gè)量；和，
B
(NH4)yMxA·nHF
這里M是選自通過元素周期表的1至18族的一個(gè)或多個(gè)元素；x是1或2；A是陰離子，例如選自碳酸根、碳酸氫根、磷酸根、硫酸根、硝酸根、高碘酸根、過溴酸根或高氯酸根；y是0到2的數(shù)字，x是1到3的數(shù)字；
通過式A表示的化合物的例子包括(NH4)2(B12F12)、NH4BrF6、NH4IF6、NH4CIF6、NH4VF6、NH4RuF7、(NH4)3FeF6、(NH4)2SiF6、(NH4)3AlF6、NH4SbF6、NH4AsF6、NH4BiF6、NH4Sb2F11、NH4As2F11、NH4Sb3F16或它們的組合。由式B表示的適當(dāng)?shù)匿@離子化合物的特定例子包括但不限于此NH4NO3、(NH4)3PO4、(NH4)2SO4、(NH4)2CO3、NH4HCO3、NH4HSO4、NH4IO4、NH4CIO4和NH4BrO4。在所有化合物中，氟化氫銨是優(yōu)選的銨源反應(yīng)物。
提供下面的例子以說明本發(fā)明的不同實(shí)施例并不企圖限制其范圍。
實(shí)施例1
使用填充柱的平流反應(yīng)器
在
圖1所述的工藝中，將包含NH3的銨離子源熔融物引入到柱6中，該柱用任意的具有6mm直徑的拉西環(huán)填料填充，空隙組分為0.46，通過管2將純F2氣引入到在頂部分的反應(yīng)器。柱6的入口反應(yīng)溫度為130℃。液體熔融物和氣體的混合物通過柱向下流動，由于重力和通過F2與NH3反應(yīng)產(chǎn)生NF3的外部壓形成好的分散相。F2與NH3之間的反應(yīng)放出熱量導(dǎo)致柱內(nèi)液相的溫度升高。在接近柱的底部溫度最高，舉例來說，144℃會導(dǎo)致反應(yīng)期間形成的大部分或全部HF氣化。從相分離器10去除管12中包含氮副產(chǎn)物和未反應(yīng)的F2的粗品NF3，且從該管回收HF。在管14中的該液體(熔融)管在回收到柱6之前冷卻、加壓并與NH3和HF混合。
下表總結(jié)反應(yīng)器的操作
下表總結(jié)用于處理的總的物質(zhì)平衡
向下平流反應(yīng)器的設(shè)計(jì)參數(shù)一般符合下述要求
F2轉(zhuǎn)化率＝至少95％，優(yōu)選98％
2.4≤熔融比≤5.0
50℃≤反應(yīng)器溫度≤144℃
反應(yīng)器壓強(qiáng)＞10磅/平方英寸到500磅/平方英寸；優(yōu)選20-50磅/平方英寸
實(shí)施例2
使用棒狀柱作為平流反應(yīng)器
除了用棒狀柱替代填充柱外，重復(fù)例1的工序。棒狀柱6本身包括不同形狀的沿長度延伸的溝渠結(jié)構(gòu)，舉例來說，圓形、正方形、矩形或六邊形的形狀。結(jié)構(gòu)每平方英寸的橫截面積可包含10到1000個(gè)單元。
在棒狀柱6的入口提供液體發(fā)動氣體噴射器34。液體發(fā)動氣體噴射器34在一定條件下使液體熔融物與反應(yīng)物F2結(jié)合以增加棒狀柱內(nèi)的混合和傳質(zhì)。由于液體發(fā)動氣體噴射器能夠控制送至柱的氣-液混合物的壓強(qiáng)，可以獲得這些改進(jìn)。壓差表示為每平方英寸的磅數(shù)(psig)。典型的壓差的范圍是從0到大約30psig，而優(yōu)選范圍從0.5到大約20psig。
總之，以相對低的溫度在柱6的出口或入口并流引入包括F2和銨離子源的料導(dǎo)致對于NF3高選擇性的反應(yīng)。并且，允許柱內(nèi)反應(yīng)媒介的溫度升高，在柱的出口可以得到具有最高溫度的反應(yīng)產(chǎn)物，有利于更高的F2轉(zhuǎn)化率。在這種方式下操作導(dǎo)致在氣體生產(chǎn)管12中F2低未轉(zhuǎn)化率。與入口的熔融比相比，接近柱出口的高溫和更高的酸值(熔融比)也有利于增加氣體生產(chǎn)管12中HF的濃度。
在氣態(tài)產(chǎn)物管12中去除作為蒸汽的HF減少了工藝產(chǎn)生的液體廢料。使用選擇合適的料熔融比、氣體-液體流速比率和溫度，不需要犧牲NF3產(chǎn)量，通過該工藝產(chǎn)生的幾乎所有副產(chǎn)物HF能作為蒸汽回收。在柱中氣體和液體的低流速也減少了對用于生產(chǎn)NF3的攪拌箱反應(yīng)器的腐蝕和侵蝕。
權(quán)利要求
1.一種通過銨離子源的氟化來生產(chǎn)NF3的工藝，其包括
將包含F(xiàn)2和銨離子源的液體混合物引入到選自無規(guī)填充柱或結(jié)構(gòu)填充柱的柱的入口；
所述的液體混合物以平流通過柱，從而使所述F2和銨離子源在所述柱中發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生NF3和副產(chǎn)物HF；
從所述柱的出口去除包含NF3的反應(yīng)產(chǎn)物；和
從反應(yīng)產(chǎn)物中回收NF3。
2.如權(quán)利要求1的工藝，其中引入到所述柱入口包含反應(yīng)物F2和銨離子源的液體混合物的溫度比在所述柱出口的反應(yīng)產(chǎn)物的溫度低。
3.如權(quán)利要求2的工藝，其中銨離子源選自NH4NO3、(NH4)3PO4、(NH4)2SO4、(NH4)2CO3、NH4HCO3、NH4HSO4、NH4IO4、NH4ClO4和NH4BrO4；NH3、NH4F、NH4HF2、NH4Cl、NH4Br、NH4I、NH4NO3、(NH4)3PO4、(NH4)2SO4、(NH4)2CO3、NH4HCO3、NH4HSO4、NH4OSO2F、NH4OSO2Cl、NH4OSO2CF3、NH4OSO2CH3、NH4OC(O)CF3、NH4OC(O)CH3、NH4N(SO2CF3)2、NH4OIOF4、NH4OTeF5、(NH4)2(B12F12)、NH4BrF6、NH4IF6、NH4ClF6、NH4VF6、NH4RuF7、(NH4)3FeF6、(NH4)2SiF6、(NH4)3AlF6、NH4SbF6、NH4AsF6、NH4BiF6、NH4Sb2F11、NH4As2F11、NH4Sb3F16。
4.如權(quán)利要求2的工藝，其中用HF/NH3表示的液體混合物的熔融比為大約2.4到5。
5.如權(quán)利要求4的工藝，其中在柱出口的反應(yīng)產(chǎn)物與引入到所述柱入口的液體混合物的溫度差為1到30℃。
6.如權(quán)利要求5的工藝，其中所述銨離子源是氟化氫銨。
7.如權(quán)利要求6的工藝，其中所述柱是棒狀柱。
8.如權(quán)利要求6的工藝，其中出口溫度足夠高以使基本上沒有作為所產(chǎn)生廢料的液體熔融物。
9.如權(quán)利要求8的工藝，其中柱中的壓強(qiáng)為10到500psia(磅/平方英寸)。
10.如權(quán)利要求9的工藝，其中到所述柱入口的液體熔融物的溫度為90到200℃。
11.如權(quán)利要求6的工藝，其中到所述柱入口的液體熔融物的熔融比為2.6到3.6。
12.如權(quán)利要求11的工藝，其中所述液體混合物是平流向上流。
13.如權(quán)利要求11的工藝，其中所述液體混合物是平流向下流。
14.在一種在產(chǎn)生包含NF3的反應(yīng)產(chǎn)物的條件下通過使作為氟反應(yīng)物的氣體F2與氟化氫銨配合物接觸來生產(chǎn)NF3的工藝中，其改進(jìn)包括
將所述F2和所述氟化氫銨配合物作為液體熔融物引入到柱，所述柱具有選自無規(guī)填充料或結(jié)構(gòu)填充料的填充料；
在形成NF3的條件下使所述F2和所述氟化氫銨配合物反應(yīng)；
在使所述柱出口反應(yīng)產(chǎn)物的溫度比在所述柱入口液體熔融物的溫度高的條件下操作柱；和
從反應(yīng)產(chǎn)物中回收所述NF3。
15.如權(quán)利要求14的工藝，其中用HF/NH3表示的到柱內(nèi)的液體熔融物的熔融比為大約2.4到5。
16.如權(quán)利要求14的工藝，其中在所述柱出口的反應(yīng)產(chǎn)物的熔融比比在入口的液體熔融物的熔融比高。
17.如權(quán)利要求16的工藝，其中反應(yīng)產(chǎn)物的熔融比與引入到柱內(nèi)的液體熔融物的熔融比的差為0.01到0.5。
18.如權(quán)利要求17的工藝，其中在與氟化氫銨反應(yīng)中F2的轉(zhuǎn)化率至少為95％。
19.在一種在產(chǎn)生包含NF3和副產(chǎn)物HF的反應(yīng)產(chǎn)物的條件下通過使反應(yīng)物氣態(tài)F2與氟化氫銨配合物接觸來生產(chǎn)NF3的工藝中，其改進(jìn)包括
將作為液體熔融物的所述F2和所述氟化氫銨配合物，其具有2.6到3.6的HF/NH3熔融比，引入到選自無規(guī)填充柱或結(jié)構(gòu)填充柱的柱中；
在形成NF3的條件下使所述F2和所述氟化氫銨配合物反應(yīng)；
在使所述柱出口反應(yīng)產(chǎn)物的溫度比在所述柱入口液體熔融物混合物的溫度高8到20℃的條件下操作柱；和
從反應(yīng)產(chǎn)物中回收NF3。
20.如權(quán)利要求19的工藝，其中所述的柱是棒狀柱。
全文摘要
本發(fā)明涉及改進(jìn)反應(yīng)工藝，其允許取得優(yōu)異的NF3產(chǎn)品產(chǎn)量，同時(shí)最小化從工藝氣體中逃出的未反應(yīng)氟和最小化通過工藝引起的熔融物廢料(HF/NH3)?；镜腘F3工藝為F2與銨離子源例如氟化氫銨(ammonium acid fluoride)在形成NF3的條件下反應(yīng)，工藝中的改進(jìn)包括在第一溫度下，將所述F2和所述銨離子源以平流(cocurrently)引入且向下流通過填充柱或棒狀柱；在所述的柱中使所述F2和銨離子源發(fā)生反應(yīng)；和在比所述第一溫度高的第二溫度下，從所述柱去除NF3和副產(chǎn)物的混合物。
文檔編號C01B21/083GK1751985SQ20051011657
公開日2006年3月29日 申請日期2005年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月20日
發(fā)明者V·P·德霍拉基亞, A·G·特斯魯基斯, A·J·澤恩德, R·P·博伊梅 申請人:氣體產(chǎn)品與化學(xué)公司