專利名稱:復(fù)合氧化物半導(dǎo)體納米材料的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種復(fù)合氧化物半導(dǎo)體納米材料氧化銦錫(ITO),氧化銻錫(ATO)及氧化鋁鋅(AZO)的制備方法。
背景技術(shù):
復(fù)合氧化物半導(dǎo)體納米材料系指氧化銦錫(ITO),氧化銻錫(ATO)及氧化鋁鋅(AZO),它們被廣泛用作透明導(dǎo)電膜,透明導(dǎo)電涂料及防輻射(主要指紅外,紫外及電磁波)膜等。例如液晶顯示器,太陽能電池,電致發(fā)光片,透明隔熱膜和玻璃,以及冰箱使用的透明加熱器,微波爐中的防輻射膜等。在電子,建筑,汽車,家電等行業(yè),復(fù)合氧化物半導(dǎo)體納米材料已被廣泛使用。現(xiàn)在復(fù)合氧化物半導(dǎo)體納米粉體材料的制備方法主要分為氣相法和液相法二大類。氣相法雖有良好的品質(zhì)保證。但因高能耗,低產(chǎn)率而無法用于量產(chǎn);目前國際上主流是采用液相法生產(chǎn),但傳統(tǒng)的液相法有以下幾方面問題a、因大量使用無機(jī)酸和堿,排放的廢液對環(huán)境造成很大污染,同時(shí)廢液的處理也增加了成本;b、小尺寸的粉體制備特別是納米粉體,是在低濃度下完成的,一般情況下不到5%wt,這樣一來生產(chǎn)設(shè)備數(shù)量增加而引起投資增加,生產(chǎn)效率降低;C、粉體合成中金屬鹽水解,生成氧化物共沉淀,兩種金屬離子水解pH值相差很大,無法實(shí)現(xiàn)真正的共沉淀,引起兩種氧化物復(fù)合時(shí)形成微觀的不均勻,其結(jié)果是粉體電阻過高而影響產(chǎn)品質(zhì)量;D、沉淀氫氧化物在干燥過程中易團(tuán)聚,在高溫?zé)Y(jié)前不得不將干燥物重新球磨粉碎,增加了加工工序,帶來新的雜質(zhì)而影響生成物的純度。
e、因無法真正實(shí)現(xiàn)共沉淀,粉體燒結(jié)溫度很高,除引起高能耗外,也會使有效成份升華。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種使用液相法,在高濃度下,可使兩種金屬的氫氧化物達(dá)到分子級的均勻混合,能得到5-25nm的復(fù)合金屬氧化物納米粉的復(fù)合氧化物半導(dǎo)體納米材料的一種制備方法。
本發(fā)明的目的的實(shí)現(xiàn)方式為,復(fù)合氧化物半導(dǎo)體納米材料的一種制備方法,將生成復(fù)合金屬氧化物的兩種金屬鹽,按所需復(fù)合重量配比溶入含有同金屬離子絡(luò)合的有機(jī)物的有機(jī)溶劑中,取去離子水溶解高分子保護(hù)劑,配成水溶液,用堿性物保持該水溶液pH=4-7,在45℃下將反應(yīng)物滴入水溶液中,發(fā)生水解反應(yīng)生成兩種金屬氫氧化物的共沉淀物,將生成物過濾清洗,在120℃下烘干8小時(shí),再在500℃下煅燒5小時(shí),得到5-25nm的復(fù)合金屬氧化物納米粉,兩種金屬鹽為銦、錫鹽,銻、錫鹽或鋁、鋅鹽,可同金屬離子絡(luò)合的有機(jī)物有醇胺類、有機(jī)酸類、胺類,其加量為金屬鹽0.1-30%,高分子保護(hù)劑有聚乙烯醇、聚乙二醇、甘油、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯亞胺,其加量為金屬鹽3-35%。
本發(fā)明使用同金屬離子絡(luò)合的有機(jī)物的有機(jī)溶劑,同金屬離子形成絡(luò)合物,改變了金屬離子的電極電位,從而調(diào)節(jié)了金屬離子水解的pH值,使其在同一pH值下同時(shí)水解,這樣可使沉淀出的兩種金屬的氫氧化物達(dá)到分子級的均勻混合。均勻共沉淀所得到的兩種金屬氫氧化物的混合體,可以在較低溫度下形成固熔體,同時(shí)生成的半導(dǎo)體具有更低的電阻,故能在低能耗下制得高品質(zhì)的半導(dǎo)體材料;在發(fā)應(yīng)中避免使用無機(jī)酸,有效的保護(hù)了環(huán)境,同時(shí)制得的粉體更易于分散;另一方面,在反應(yīng)物中加入適量的高分子保護(hù)劑,采用了高分子保護(hù)法,通過其活性基團(tuán),限制反應(yīng)物的反應(yīng)范圍,從而達(dá)到高濃度下生成粒徑分布均勻的納米粉末,能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定地在20%wt左右的濃度下實(shí)現(xiàn)納米粉的批量化生產(chǎn),生產(chǎn)的復(fù)合金屬氧化物納米粉粒度小、導(dǎo)電性好、分散度好。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明將生成復(fù)合金屬氧化物的兩種金屬鹽,按所需重量配比溶入能同金屬離子絡(luò)合的有機(jī)物的有機(jī)溶劑中配成反應(yīng)液,取去離子水溶解高分子保護(hù)劑,配成水溶液,用堿性物保持該水溶液pH=4-7,在45℃下將反應(yīng)物滴入水溶液中,發(fā)生水解反應(yīng)生成兩種金屬氫氧化物的共沉淀物,將生成物過濾清洗,在120℃下烘干8小時(shí),再在500℃下煅燒5小時(shí),得到5-25nm的復(fù)合金屬氧化物納米粉。
在制備復(fù)合氧化物時(shí),其前驅(qū)物氫氧化物的均勻混合至關(guān)重要。一般情況下,兩種金屬鹽在強(qiáng)酸條件下均分布于水溶液中,逐漸加堿來提升反應(yīng)液的pH值,這樣兩種金屬分別在不同的pH值時(shí)水解成氫氧化物析出,客觀上兩種金屬的氫氧化物無法均勻混合。本發(fā)明使用金屬的有機(jī)絡(luò)合劑,同金屬離子形成絡(luò)合物,從而改變金屬離子的電極電位。這樣金屬離子有機(jī)絡(luò)合物同同種單純金屬離子水解pH值會發(fā)生改變,從而達(dá)到調(diào)節(jié)金屬離子水解pH值,使兩種離子在同一pH值下同時(shí)水解,這樣可使兩種金屬的氫氧化物達(dá)到分子級的均勻混合。
均勻共沉淀所得到的兩種金屬氫氧化物的混合體,可以在較低溫度下形成固熔體,同時(shí)生成的半導(dǎo)體因熔體具有更低的電阻,這樣就能在低能耗下制得高品質(zhì)的半導(dǎo)體材料。
本發(fā)明將反應(yīng)物溶解在醇或同類的有機(jī)溶劑中,避免使用無機(jī)酸,有效的保護(hù)了環(huán)境,同時(shí)制得的粉體更易于分散。
為提高產(chǎn)率,即提高反應(yīng)物濃度,本發(fā)明采用了高分子保護(hù)法,在反應(yīng)物中加入高分子保護(hù)劑,通過其活性基團(tuán),限制反應(yīng)物的反應(yīng)范圍,從而達(dá)到高濃度下生成粒徑分布均勻的納米粉末,該方法使我們能穩(wěn)定地在20%wt左右的濃度下實(shí)現(xiàn)納米粉的量產(chǎn)。
下面舉出本發(fā)明配方實(shí)施例例1氧化銻錫(ATO)納米粉的制備方法稱取120g SnCl4.5H2O和SbCl312g溶入200ml異丙醇中,加入乙二酸1g配成反應(yīng)液。另取100ml去離子水溶解聚乙烯醇3g,配成水溶液,用氫氧化鈉保持該水溶液pH=4。在45攝氏度溫度下將反應(yīng)物滴入水溶液中,發(fā)生水解反應(yīng)生成氫氧化錫和氫氧化銻的共沉淀物,將生成物過濾清洗,120℃×8h烘干,500℃×5h燒結(jié),即可得到5-10nm的ATO納米粉A1。
按傳統(tǒng)方法稱取120g SnCl4.5H2O,12g SbCl3和濃HCl一并溶入200ml去離子水中配制成反應(yīng)液,取濃氨水50ml,溶入50ml去離子水中配制成中和液,將反應(yīng)液和中和液并流滴入100ml用HCl調(diào)制成PH=4的水中,保持PH=4,反應(yīng)溫度45℃,到反應(yīng)完成為止,將沉淀物過濾清洗,50℃下抽真空干燥8h,球磨,120℃×8h烘干,850攝氏度燒結(jié),即可得到10-80nm的ATO納米粉B1。
將A1和B1進(jìn)行特性對比測試a、將A1粉和B1粉在電子顯微鏡下觀察,發(fā)現(xiàn)A1粉粒徑小且分布均勻;而B1粉團(tuán)聚嚴(yán)重,大小在10-80nm的廣大分布范圍。實(shí)驗(yàn)證明,B1粉如果要達(dá)到A1粉的粒徑及分布,其反應(yīng)物濃度應(yīng)降低5倍;b、導(dǎo)電性室溫下將粉體放入模具中,用 壓力壓成φ10mm×2mm圓形體,測量直徑電阻分別為R(A1)=0.3Ω,R(B1)=5.0Ω,可見按本方法生產(chǎn)的復(fù)合納米粉導(dǎo)電性好;c、分散性試驗(yàn)分別將A1和B1各0.5g倒入盛有乙醇50ml的燒杯中,室溫下超聲30min觀察粉體沉降速度,A1 24h后在乙醇中仍有大量懸浮,相反,30min后,B1即全部沉淀至燒杯底部。
例2氧化銦錫(ITO)納米粉的制備方法方法同例1,不同的是稱取100g InCl3、11g SnCl4.5H2O,絡(luò)合劑采用三乙醇胺5g,高分子保護(hù)劑采用聚乙二醇8g,用氫氧化鈉保持該水溶液PH=6。在45攝氏度溫度下將反應(yīng)物滴入水溶液中,發(fā)生水解反應(yīng)生成氫氧化錫和氫氧化銦的共沉淀物,經(jīng)過濾清洗、烘干、燒結(jié),即可得到15-25nm的ITO納米粉A2。
按傳統(tǒng)方法同例1,不同的是稱取100g InCl3,11g SnCl4.5H2O,將反應(yīng)液和中和液并流滴入100ml用HCl調(diào)制成PH=6的水中,最后得到30-80nm的ATO納米粉B2。
將A2和B2進(jìn)行特性對比測試a、同例1,不同的是B2粉如果要達(dá)到A2粉的粒徑及分布,其反應(yīng)物濃度應(yīng)降低4倍;b、導(dǎo)電性通例1,不同的是R(A2)=0.15Ω,R(B2)=2.1Ω;c、分散性試驗(yàn)通例1,不同的是A2 24h后在乙醇中仍有大量懸浮,相反,30min后,B2即全部沉淀至燒杯例3氧化鋁鋅(AZO)納米粉的制備方法同例1,不同的是,稱取136gZnCl3、AlCl3·6H2O12.5g和7g乙二胺絡(luò)合劑,19g聚乙烯吡咯烷酮溶入200ml異丙醇中配成反應(yīng)液,用氫氧化鈉保持該水溶液PH=7,將反應(yīng)物滴入水溶液中,發(fā)生水解反應(yīng)生成氫氧化鋅和氫氧化鋁的共沉淀物,最后得到10-20nm的AZO納米粉A3。
按傳統(tǒng)方法同例1,不同的是,稱取136g ZnCl3,12.5g AlCl3·6H2O,將反應(yīng)液和中和液并流滴入100ml用HCl調(diào)制成PH=7的水中,最后得到45-80nm的ATO納米粉B3。
將A3和B3進(jìn)行特性對比測試a、同例1,不同的是,B3粉如果要達(dá)到A3粉的粒徑及分布,其反應(yīng)物濃度應(yīng)降低6倍,b、導(dǎo)電性同例1,不同的是,R(A3)=0.45Ω,R(B3)=4.5Ω。
c、分散性試驗(yàn)同例1,不同的是,A3有大量懸浮,B3即全部沉淀至燒杯。
例4氧化銻錫(ATO)納米粉的制備方法同例1,不同的是,采用39.6g檸檬酸作絡(luò)合劑,使用46.1g甘油作為高分子保護(hù)劑,用氨水保持該水溶液pH=7,將反應(yīng)物滴入水溶液中,發(fā)生水解反應(yīng)生成氫氧化鋅和氫氧化鋁的共沉淀物,最后得到5-10nm壓片電阻為0.35Ω的ATO納米粉。
權(quán)利要求
1.復(fù)合氧化物半導(dǎo)體納米材料的制備方法,其特征在于將生成復(fù)合金屬氧化物的兩種金屬鹽,按所需復(fù)合重量配比溶入含有同金屬離子絡(luò)合的有機(jī)物的有機(jī)溶劑中,取去離子水溶解高分子保護(hù)劑,配成水溶液,用堿性物保持該水溶液pH=4-7,在45℃下將反應(yīng)物滴入水溶液中,發(fā)生水解反應(yīng)生成兩種金屬氫氧化物的共沉淀物,將生成物過濾清洗,在120℃下烘干8小時(shí),再在500℃下煅燒5小時(shí),得到5-25nm的復(fù)合金屬氧化物納米粉,兩種金屬鹽為銦、錫鹽,銻、錫鹽或鋁、鋅鹽,可同金屬離子絡(luò)合的有機(jī)物有醇胺類、有機(jī)酸類、胺類,其加量為金屬鹽0.1-30%,高分子保護(hù)劑有聚乙烯醇、聚乙二醇、甘油、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯亞胺,其加量為金屬鹽3-35%。
全文摘要
復(fù)合氧化物半導(dǎo)體納米材料的制備方法,涉及復(fù)合氧化物半導(dǎo)體納米材料氧化銦錫,氧化銻錫及氧化鋁鋅的制備方法。它是將生成復(fù)合金屬氧化物的兩種金屬鹽,按所需重量配比溶入含有同金屬離子絡(luò)合的有機(jī)物的有機(jī)溶劑中,另取去離子水溶解高分子保護(hù)劑配成水溶液,將反應(yīng)物滴入水溶液中,發(fā)生水解反應(yīng)生成兩種金屬氫氧化物的共沉淀物,將生成物過濾清洗、烘干、再煅燒,得到5-25nm的復(fù)合金屬納米粉。本發(fā)明使用金屬的有機(jī)絡(luò)合劑,同金屬離子形成絡(luò)合物,使兩種金屬在同一pH值下同時(shí)水解,高分子保護(hù)劑在反應(yīng)中阻止生成物粒子長大,使兩種金屬的氫氧化物達(dá)到分子級的均勻混合。采用本發(fā)明,能批量生產(chǎn)粒度小、導(dǎo)電性好、分散度好的復(fù)合金屬氧化物納米粉。
文檔編號C01G30/00GK1622283SQ20041006135
公開日2005年6月1日 申請日期2004年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月15日
發(fā)明者賀平, 金航 申請人:賀平, 金航