一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于靶材制造領(lǐng)域，具體涉及一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機。
【背景技術(shù)】
[0002]鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。其中基板經(jīng)過制粉、煅燒、燒結(jié)之后，制成基板毛料，基板毛料經(jīng)過平面磨床拋光打磨之后進行濺射鍍膜，目前所采用的煅燒工藝中用到的煅燒機尾氣直接排放，尤其是生產(chǎn)靶材原料中的氨氣，直接外排對于環(huán)境污染巨大。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實用新型提供了一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，能夠?qū)⑽矚獬浞治眨ＷC環(huán)境安全，符合當今環(huán)保主題。
[0004]本實用新型采用的具體技術(shù)方案是:
[0005]—種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，包括煅燒爐、液壓頂桿、變壓器，液壓頂桿設(shè)置在煅燒爐上方，煅燒爐的上端面與液壓頂桿形成密封套裝配合，煅燒爐內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有爐內(nèi)電極，爐內(nèi)電極與液壓頂桿分別連接變壓器，所述煅燒爐上端面還設(shè)置有尾氣排放口，所述的煅燒爐外側(cè)套裝有密封套殼，密封套殼連接通氣管，通氣管連接有尾氣吸收罐，尾氣吸收罐與密封套殼內(nèi)側(cè)借助通氣管連通。
[0006]還設(shè)置有冷卻水箱，冷卻水箱套裝在通氣管外側(cè)，通氣管在冷卻水箱內(nèi)呈螺旋狀盤繞。
[0007]所述的密封套殼為夾層結(jié)構(gòu)，密封套殼的夾層內(nèi)灌注有冷卻液。
[0008]尾氣吸收罐上設(shè)置有抽氣機，抽氣機設(shè)置在尾氣吸收罐上端，通氣管連接在尾氣吸收罐底部。
[0009]本實用新型的有益效果是:
[0010]本實用新型，采用尾氣吸收罐進行尾氣吸收，避免直接外排尾氣造成的環(huán)境污染，借助于抽氣機，能夠?qū)⑽矚獬槿胛矚馕展?，同時保持煅燒爐所處環(huán)境為負壓狀態(tài)，降低氧氣含量，防止熔融物氧化，便于提高煅燒效果。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]附圖中，1、煅燒爐，2、液壓頂桿，3、爐內(nèi)電極，4、尾氣排放口，5、密封套殼，6、通氣管，7、尾氣吸收罐，8、冷卻水箱，9、抽氣機。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步說明:
[0014]具體實施例如圖1所示，本實用新型為一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，包括煅燒爐1、液壓頂桿2、變壓器，液壓頂桿2設(shè)置在煅燒爐I上方，煅燒爐I的上端面與液壓頂桿2形成密封套裝配合，煅燒爐I內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有爐內(nèi)電極3，爐內(nèi)電極3與液壓頂桿2分別連接變壓器，所述煅燒爐I上端面還設(shè)置有尾氣排放口 4，所述的煅燒爐I外側(cè)套裝有密封套殼5，密封套殼5連接通氣管6，通氣管6連接有尾氣吸收罐7，尾氣吸收罐7與密封套殼5內(nèi)側(cè)借助通氣管6連通。本實用新型使用時在尾氣吸收罐7內(nèi)灌注酸液以吸收尾氣，生產(chǎn)時變壓器的電流借助爐內(nèi)電極3與液壓頂桿2將爐內(nèi)物料加熱、熔融。
[0015]為了避免熱氣將尾氣吸收罐7內(nèi)酸液加熱沸騰，還設(shè)置有冷卻水箱8，冷卻水箱8套裝在通氣管6外側(cè)，通氣管6在冷卻水箱8內(nèi)呈螺旋狀盤繞。
[0016]為了避免高溫損壞密封套殼5，所述的密封套殼5為夾層結(jié)構(gòu)，密封套殼5的夾層內(nèi)灌注有冷卻液。同時能夠避免煅燒爐與過量氧氣接觸，保證煅燒效果。
[0017]所述的尾氣吸收罐7上設(shè)置有抽氣機9，抽氣機9設(shè)置在尾氣吸收罐7上端，通氣管6連接在尾氣吸收罐7底部。抽氣機9迫使尾氣進入尾氣吸收罐7，保證尾氣吸收效果。
[0018]本實用新型，采用尾氣吸收罐進行尾氣吸收，避免直接外排尾氣造成的環(huán)境污染，借助于抽氣機，能夠?qū)⑽矚獬槿胛矚馕展?，同時保持煅燒爐所處環(huán)境為負壓狀態(tài)，降低氧氣含量，防止熔融物氧化，便于提高煅燒效果。
【主權(quán)項】
1.一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，包括煅燒爐(I)、液壓頂桿(2)、變壓器，液壓頂桿(2)設(shè)置在煅燒爐(I)上方，煅燒爐(I)的上端面與液壓頂桿(2)形成密封套裝配合，煅燒爐(I)內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有爐內(nèi)電極(3)，爐內(nèi)電極(3)與液壓頂桿(2)分別連接變壓器，所述煅燒爐(I)上端面還設(shè)置有尾氣排放口(4)，其特征在于:所述的煅燒爐(I)外側(cè)套裝有密封套殼(5)，密封套殼(5)連接通氣管(6)，通氣管(6)連接有尾氣吸收罐(7)，尾氣吸收罐(7)與密封套殼(5)內(nèi)側(cè)借助通氣管(6)連通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，其特征在于:還設(shè)置有冷卻水箱(8)，冷卻水箱(8)套裝在通氣管(6)外側(cè)，通氣管(6)在冷卻水箱(8)內(nèi)呈螺旋狀盤繞。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，其特征在于:所述的密封套殼(5)為夾層結(jié)構(gòu)，密封套殼(5)的夾層內(nèi)灌注有冷卻液。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，其特征在于:尾氣吸收罐(7)上設(shè)置有抽氣機(9)，抽氣機(9)設(shè)置在尾氣吸收罐(7)上端，通氣管(6)連接在尾氣吸收罐(7)底部。
【專利摘要】本實用新型屬于靶材制造領(lǐng)域，具體涉及一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，包括煅燒爐、液壓頂桿、變壓器，液壓頂桿設(shè)置在煅燒爐上方，煅燒爐的上端面與液壓頂桿形成密封套裝配合，煅燒爐內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有爐內(nèi)電極，爐內(nèi)電極與液壓頂桿分別連接變壓器，所述煅燒爐上端面還設(shè)置有尾氣排放口，所述的煅燒爐外側(cè)套裝有密封套殼，密封套殼連接通氣管，通氣管連接有尾氣吸收罐，尾氣吸收罐與密封套殼內(nèi)側(cè)借助通氣管連通。本實用新型，采用尾氣吸收罐進行尾氣吸收，避免直接外排尾氣造成的環(huán)境污染，借助于抽氣機，能夠?qū)⑽矚獬槿胛矚馕展?，同時保持煅燒爐所處環(huán)境為負壓狀態(tài)，降低氧氣含量，防止熔融物氧化，便于提高煅燒效果。
【IPC分類】C23C14/34, B01D53/14
【公開號】CN205258593
【申請?zhí)枴緾N201521064872
【發(fā)明人】崔娜, 朱輝, 閆麗娜, 張衛(wèi), 康林杰, 郄奕
【申請人】河北東同光電科技有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年12月18日