一種真空鍍膜冷卻裝置的制造方法
【專利說明】
[0001 ](一)
技術(shù)領域
本發(fā)明涉及泡沫金屬生產(chǎn)領域，特別涉及一種真空鍍膜冷卻裝置。
[0002](二)
【背景技術(shù)】
泡沫金屬是一種具有海綿狀三維多孔結(jié)構(gòu)的金屬材料。連續(xù)泡沫金屬(例如:泡沫鎳)的規(guī)?；a(chǎn)開始于21世紀初，是一種應用領域廣泛的新技術(shù)材料。其中泡沫鎳、泡沫銅可用于鎳氫電池、燃料電池的電極材料，汽車催化劑轉(zhuǎn)換器、催化燃燒、柴油車黑煙凈化器的催化劑載體，可用作過濾器材料，處理流體中磁性粒子的磁流導體，用于儲氫媒介、熱交換媒介。
[0003]隨著泡沫金屬的應用領域的不斷擴大，泡沫金屬的生產(chǎn)效率和成本成為其生產(chǎn)企業(yè)的瓶頸問題。在泡沫金屬的生產(chǎn)過程中涉及泡沫金屬產(chǎn)品模芯導電化處理過程，模芯導電化處理可采用真空鍍膜技術(shù)、化學鍍或浸涂導電膠的方法。真空鍍膜工藝具有產(chǎn)品純度高、無污染，成品阻值均勻等顯著優(yōu)勢，在泡沫金屬生產(chǎn)中已逐步替代化學鍍和浸涂導電膠工藝。
[0004]用于連續(xù)泡沫金屬生產(chǎn)模芯導電化處理過程的真空鍍膜過程要在ΙΟ-lPa高真空環(huán)境下進行。由于真空狀態(tài)下熱量的對流、輻射要比大氣狀態(tài)下差得多。真空鍍膜時，鍍膜區(qū)域溫度達到300°C，這就會造成高分子泡綿基體材料結(jié)構(gòu)的損傷，從而影響了泡沫金屬的產(chǎn)品質(zhì)量。
[0005](三)

【發(fā)明內(nèi)容】

本發(fā)明為了彌補現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種真空鍍膜冷卻裝置，可以為鍍膜區(qū)域提供良好的溫度環(huán)境，改善鍍膜區(qū)域的冷卻條件，降低膜芯的溫度，進而提高泡沫金屬產(chǎn)品的質(zhì)量。
[0006]本發(fā)明是通過如下技術(shù)方案實現(xiàn)的:
一種真空鍍膜冷卻裝置，其特征在于:包括殼體，殼體內(nèi)設有N組相對的陰極靶和冷卻裝置;所述陰極靶固定在殼體內(nèi)壁上，冷卻裝置與密封室連接，該密封室固定在殼體內(nèi)壁上;所述冷卻裝置與循環(huán)管相連，陰極靶與設備的濺射電源相連;所述濺射電源等通過PCL控制器控制。
[0007]所述陰極靶表面為平面，冷卻裝置為長方體冷卻板。
[0008]所述殼體內(nèi)連接有密封室，密封室通過螺母固定有冷卻板，該冷卻板設有N條冷卻管道;所述冷卻板上端設有回水管，下端設有進水管。
[0009]所述冷卻管道末端設有通水口，該通水口交錯排列。
[0010]所述殼體內(nèi)連接有密封室，密封室通過螺母固定有冷卻板，該冷卻板設有冷卻盤管;所述冷卻板上端設有回水管，下端設有進水管。
[0011]所述陰極靶表面為弧面，冷卻裝置為圓柱形冷卻輥。
[0012]所述殼體內(nèi)連接有密封室，密封室通過法蘭固定連接有冷卻輥;所述密封室內(nèi)設有與殼體相通的進水道和出水道，進水道與設在殼體外的進水孔相連，出水道與設在殼體外的出水孔相連;所述冷卻輥內(nèi)部設有中空的中軸，該中軸內(nèi)設有輸水管;所述輸水管一端通過進水道與進水口相連，輸水管另一端與進水管相連;所述進水管與設在冷卻輥表面內(nèi)的冷卻管道相連，冷卻管道另一端連接有回水管;所述回水管與中軸連接，該中軸通過出水道與出水孔相連。
[0013]所述冷卻管道末端設有通水口，該通水口交錯排列。
[0014]所述殼體內(nèi)連接有密封室，密封室通過法蘭固定連接有冷卻輥;所述密封室內(nèi)設有與殼體相通的進水道和出水道，進水道與設在殼體外的進水孔相連，出水道與設在殼體外的出水孔相連;所述冷卻輥內(nèi)部設有中空的中軸，該中軸內(nèi)設有輸水管;所述輸水管一端通過進水道與進水口相連，輸水管另一端與進水管相連;所述進水管與設在冷卻輥表面內(nèi)的冷卻盤管相連，冷卻盤管另一端連接有回水管;所述回水管與中軸連接，該中軸通過出水道與出水孔相連。
[0015]鍍膜設備工作時，設備抽到一定的真空度，沖入氬氣，根據(jù)工藝要求開啟鍍膜電源，陰極靶材在工作介質(zhì)的作用下，以一定的能量和速度附著到膜芯上。同時冷卻介質(zhì)經(jīng)冷卻板(輥)的進水口，經(jīng)內(nèi)部的焊接盤管或加工成型的冷卻管道流到回水口，再通過密封室將真空鍍膜產(chǎn)生的熱量帶到鍍膜室外。依此反復循環(huán)實現(xiàn)膜芯的直接冷卻。
[0016]本發(fā)明的有益效果是:
本發(fā)明為鍍膜區(qū)域提供良好的溫度環(huán)境，其膜芯溫度在-10°c?80°C范圍內(nèi)可控;本發(fā)明冷卻機構(gòu)與膜芯充分接觸，利用冷卻機構(gòu)里的冷卻介質(zhì)將膜芯上的熱量帶走。避免造成膜芯(高分子泡綿基體材料)結(jié)構(gòu)的損傷，從而達到提高泡沫金屬的產(chǎn)品質(zhì)量之目的。
[0017](四)
【附圖說明】
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步的說明。
[0018]圖1為本發(fā)明平板式結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖2為本發(fā)明旋轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖3為本發(fā)明冷卻板示意圖。
[0021]圖4為本發(fā)明冷卻輥示意圖。
[0022]圖中，1牽引輥，2膜芯，3陰極靶，4冷卻裝置，5過渡輥，6放卷機構(gòu)，7收卷機構(gòu)，8殼體，9密封室，10濺射電源，11循環(huán)管，12冷卻管道，13回水管，14進水管，15通水口，16進水道，17出水道，18中軸，19輸水管。
[0023](五)【具體實施方式】實施例1
該實施例如圖1所示，包括殼體8，殼體8上下分別設有法蘭;所述殼體8內(nèi)壁上設有N組相對的陰極靶3和冷卻裝置4;所述冷卻裝置4與循環(huán)管11相連，陰極靶3與設在殼體8外壁的濺射電源10相連;所述冷卻裝置4與密封室9連接，該密封室9固定在殼體8內(nèi)壁上;所述濺射電源10通過PCL控制器控制。所述陰極靶3表面為平面，冷卻裝置4為長方體冷卻板。所述殼體8內(nèi)連接有密封室9，密封室9通過螺母固定有冷卻板，該冷卻板設有N條冷卻管道12;所述冷卻板上端設有回水管13，下端設有進水管14。所述冷卻管道末端設有通水口 15，該通水口15交錯排列。
[0024]膜芯2由放卷機構(gòu)6經(jīng)過渡輥5到牽引輥1，以一定的角度貼附在冷卻板上，最后經(jīng)牽引輥1、過渡輥5到收卷機構(gòu)7實現(xiàn)整個傳動。
[0025]實施例2 該實施例如圖1所示，包括殼體8，殼體8上下分別設有法蘭;所述殼體8內(nèi)壁上設有N組相對的陰極靶3和冷卻裝置4;所述冷卻裝置4與循環(huán)管11相連，陰極靶3與設在殼體8外壁的濺射電源10相連;所述冷卻裝置4與