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一種行星齒輪式雙面研磨/拋光機的制作方法

文檔序號:9208651閱讀:509來源:國知局
一種行星齒輪式雙面研磨/拋光機的制作方法
【專利說明】
[技術(shù)領(lǐng)域]
[0001]本發(fā)明涉及研磨機或拋光機,尤其涉及一種行星齒輪式雙面研磨/拋光機。
[【背景技術(shù)】]
[0002]雙面研磨/拋光機非常適用于硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時磨削及拋光,可以加工出平面度、等厚度及粗糙度要求非常高的薄形零件,所以在光學(xué)及半導(dǎo)體材料的加工領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
[0003]如圖1和圖2所示,傳統(tǒng)的雙面研磨(拋光機)采用行星輪系傳動結(jié)構(gòu),包括機架、太陽輪10、內(nèi)齒圈11、下研磨盤12,上研磨盤40、行星齒輪41、太陽輪驅(qū)動機構(gòu)、內(nèi)齒圈驅(qū)動機構(gòu)、下研磨盤驅(qū)動機構(gòu)、上研磨盤驅(qū)動機構(gòu)。太陽輪驅(qū)動機構(gòu)包括太陽輪驅(qū)動軸2,太陽輪10固定在太陽輪驅(qū)動軸2的上端。工件100放置在行星齒輪41的空腔內(nèi),設(shè)備工作時,行星齒輪41由內(nèi)齒圈11和太陽輪10帶動圍繞著太陽輪10進行公轉(zhuǎn),行星齒輪41也進行一定速度的自轉(zhuǎn)。此時上研磨盤40和下研磨盤12壓持著加工零件4進行相對轉(zhuǎn)動,實現(xiàn)了對工件4上下平面進行同時研磨(或拋光)的加工。
[0004]行星齒輪41的厚度略小于工件4的厚度,碳素鋼制做的行星齒輪41硬度較高,在與太陽輪10、內(nèi)齒圈11在配合工作的過程中,會對設(shè)備上太陽輪10、內(nèi)齒圈11的嚙合處造成嚴重的局部磨損。
[0005]對于傳統(tǒng)的研磨/拋光機設(shè)備,操作人員需定期對太陽輪10手工進行加減墊片,調(diào)整太陽輪10的高度,錯開其磨損的部位,使太陽輪10輪齒的磨損均勻,以延長太陽輪10使用壽命。
[0006]內(nèi)齒圈11的直徑較大,齒數(shù)多,磨損相對比太陽輪輕一些,但內(nèi)齒圈11在多個位置加減墊片的方法很難將調(diào)內(nèi)齒圈平,內(nèi)齒圈11在保養(yǎng)時可以翻轉(zhuǎn)使用,也可以在維護保養(yǎng)時對端面進行切削,減薄其厚度。
[0007]雙面研磨機(拋光機)的太陽輪及內(nèi)齒圈的嚙合處磨損一直以來都是雙面研磨機設(shè)備保養(yǎng)的主要問題,太陽輪和內(nèi)齒圈高度的調(diào)整也是費工費時保養(yǎng)操作,并且還可能因太陽輪或內(nèi)齒圈調(diào)整裝配不良而造成加工零件的良率下降。
[
【發(fā)明內(nèi)容】
]
[0008]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種太陽輪磨損均勻、行星齒輪機構(gòu)零部件使用壽命長、維護保養(yǎng)工作量較小的行星齒輪式雙面研磨/拋光機。
[0009]本發(fā)明進一步要解決的技術(shù)問題是提供一種內(nèi)齒圈磨損均勻的行星齒輪式雙面研磨/拋光機。
[0010]為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是,一種行星齒輪式雙面研磨/拋光機,包括機架、太陽輪、內(nèi)齒圈、下研磨盤,太陽輪驅(qū)動機構(gòu)、內(nèi)齒圈驅(qū)動機構(gòu)、下研磨盤驅(qū)動機構(gòu)、上研磨盤驅(qū)動機構(gòu)和太陽輪升降機構(gòu);太陽輪驅(qū)動機構(gòu)包括太陽輪驅(qū)動軸,太陽輪固定在太陽輪驅(qū)動軸的上端;機架包括機座和固定在機座上的安裝座,太陽輪驅(qū)動軸的中部由安裝座支承,太陽輪升降機構(gòu)包括升降驅(qū)動機構(gòu)、第一螺套、第二螺套、托板和復(fù)數(shù)根拉桿;第一螺套松套在安裝座外面,由安裝座支承,第二螺套的內(nèi)螺紋與第一螺套的外螺紋旋合,第一螺套由升降驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動;安裝座的下部包括復(fù)數(shù)個拉桿孔,拉桿的上端固定在第二螺套上,拉桿的下端穿過拉桿孔,固定在托板上,托板安裝在太陽輪驅(qū)動軸的下部。
[0011]以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機,包括內(nèi)齒圈升降機構(gòu),內(nèi)齒圈驅(qū)動機構(gòu)包括齒圈支架、升降套、齒圈驅(qū)動齒輪和支架軸承,齒圈支架包括支架和軸承座,內(nèi)齒圈固定在支架上。軸承座通過支架軸承安裝在升降套上;升降套松套在安裝座的外面,與安裝座滑動配合;升降套坐落在第二螺套上,由第二螺套的頂面支承;齒圈驅(qū)動齒輪固定在軸承座上。
[0012]以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機,安裝座下部包括突緣,安裝座的突緣固定在機座上;安裝座的突緣上包括三個所述的拉桿孔,所述的拉桿為三根;第一螺套的下端由安裝座的突緣支承,第一螺套的外螺紋位于第一螺套的上部,第一螺套的下部包括齒輪;升降驅(qū)動機構(gòu)包括減速機和由減速機帶動的驅(qū)動齒輪,第一螺套的齒輪由驅(qū)動齒輪帶動。
[0013]以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機,下研磨盤驅(qū)動機構(gòu)包括托盤,下研磨盤驅(qū)動軸和下研磨盤驅(qū)動齒輪;下研磨盤驅(qū)動軸穿過安裝座的內(nèi)孔,下研磨盤驅(qū)動軸的上部和下部由安裝座分別通過軸承支承;下研磨盤固定在托盤上,托盤固定在下研磨盤驅(qū)動軸的上端,下研磨盤驅(qū)動齒輪固定在下研磨盤驅(qū)動軸的下端。
[0014]以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機,太陽輪驅(qū)動機構(gòu)包括滑套和太陽輪驅(qū)動齒輪,下研磨盤驅(qū)動軸為空心軸,太陽輪驅(qū)動軸穿過下研磨盤驅(qū)動軸的內(nèi)孔;滑套套在太陽輪驅(qū)動軸的外面,與太陽輪驅(qū)動軸滑動配合;滑套的上端和下端由研磨盤驅(qū)動軸分別通過軸承支承;托板通過止推軸承安裝在太陽輪驅(qū)動軸的下部,太陽輪驅(qū)動齒輪固定在太陽輪驅(qū)動軸的下端。
[0015]以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機,太陽輪驅(qū)動軸為空心軸,上研磨盤驅(qū)動機構(gòu)包括中心軸、上滑套、下滑套、上軸承、下軸承、中心軸軸承、中心軸驅(qū)動齒輪和上研磨盤的驅(qū)動盤;中心軸穿過太陽輪驅(qū)動軸的內(nèi)孔,驅(qū)動盤固定在中心軸的上端,中心軸驅(qū)動齒輪固定在中心軸的下部,中心軸的下端通過中心軸軸承安裝在機座上;上滑套和下滑套分別套在中心軸的上部和下部,與中心軸滑動配合;上滑套通過上軸承安裝在太陽輪驅(qū)動軸內(nèi)孔的上端,下滑套通過上軸承安裝在太陽輪驅(qū)動軸內(nèi)孔的下端。
[0016]以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機,太陽輪驅(qū)動機構(gòu)包括中心輪和中心輪座,中心輪座固定在太陽輪驅(qū)動軸的上端,中心輪固定在中心輪座上,太陽輪固定在中心輪上。
[0017]本發(fā)明行星齒輪式雙面研磨/拋光機可以很方便地調(diào)整太陽輪的高度,調(diào)整過程可以隨時進行,調(diào)整過程中不需要拆卸零件,不會更變設(shè)備裝配精度,可以保證機床長期工作穩(wěn)定性,采用本設(shè)備的太陽輪升降機構(gòu),太陽輪的磨損會均勻,使用壽命大大提高。
[【附圖說明】]
[0018]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明作進一步詳細的說明。
[0019]圖1是現(xiàn)有技術(shù)行星齒輪式雙面研磨/拋光機主體上部的剖視圖。
[0020]圖2是現(xiàn)有技術(shù)行星齒輪式雙面研磨/拋光機研磨部件的剖視圖。
[0021]圖3是本發(fā)明實施例行星齒輪式雙面研磨/拋光機的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖4是圖3中I部位的局部放大圖。
[【具體實施方式】]
[0023]本發(fā)明實施例行星齒輪式雙面研磨(拋光)機的結(jié)構(gòu)如圖3所示,包括機架、太陽輪10、內(nèi)齒圈11、下研磨盤12,太陽輪驅(qū)動機構(gòu)、內(nèi)齒圈驅(qū)動機構(gòu)、下研磨盤驅(qū)動機構(gòu)、上研磨盤驅(qū)動機構(gòu)、太陽輪升降機構(gòu)和內(nèi)齒圈升降機構(gòu)。
[0024]機架包括機座19和固定在機座19上的安裝座1,安裝座I中空,下部有安裝突緣101,安裝座的突緣101用螺絲29固定在機座19上。
[0025]太陽輪升降機構(gòu)包括升降驅(qū)動機構(gòu)、螺套5、螺套6、三角形的托板7和3根拉桿8。
[0026]螺套5松套在安裝座I外面,螺套5的下端由安裝座I的突緣101支承.螺套6的內(nèi)螺紋與螺套5的外螺紋旋合。安裝座I的突緣101上有三個拉桿孔,拉桿8的上端固定在螺套6上,拉桿8的下端穿過拉桿孔,固定在三角形的托板7上。
[0027]螺套5的外螺紋位于螺套5的上部,螺套5的下部有一個齒輪501。升降驅(qū)動機構(gòu)包括由電動機驅(qū)動的減速機13和由減速機13帶動的驅(qū)動齒輪14
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