本技術(shù)涉及真空磁控濺射鍍膜機，具體涉及一種靶的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜，近十年來發(fā)展相當(dāng)快，已經(jīng)成為當(dāng)今最先進(jìn)的表面處理方式之一。真空鍍膜生產(chǎn)是實現(xiàn)膜層附著在工件表面，以獲得需要的工件表面特性。真空濺射鍍膜是利用靶材發(fā)生濺射，使濺射物附著在工件表面形成膜層，即達(dá)到鍍膜，作為真空磁控濺射鍍膜機的重要部件，在鍍膜時，靶到基片的距離尤為重要，當(dāng)基片形狀為圓弧或者異性形狀時，為保證靶基距基本相同，靶需要旋轉(zhuǎn)靶，由于磁控濺射過程中靶會產(chǎn)生高溫，因此需要對靶進(jìn)行降溫處理。

2、對靶降溫需要通入冷卻水，但現(xiàn)有技術(shù)中通常采用金屬波紋管或者軟管通入冷卻水，當(dāng)靶旋轉(zhuǎn)時波紋管會反復(fù)彎曲，使用壽命很短，更換也不方便。軟管放氣率太高，會影響膜層的質(zhì)量。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種靶的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，解決現(xiàn)有技術(shù)中通常采用金屬波紋管或者軟管通入冷卻水，當(dāng)靶旋轉(zhuǎn)時波紋管會反復(fù)彎曲，使用壽命很短，更換也不方便；軟管放氣率太高，會影響膜層的質(zhì)量的問題。

2、為解決上述的技術(shù)問題，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

3、一種靶的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，包括設(shè)在真空箱體外壁上的伺服電機，伺服電機的輸出軸通過活動孔貫穿真空箱體并朝向真空箱體內(nèi)部設(shè)置，輸出軸通過聯(lián)軸器連接有蝸桿；蝸桿置于真空箱體內(nèi)部通過支撐機構(gòu)傳動連接有傳動機構(gòu)，傳動機構(gòu)底部固定連接有靶；支撐機構(gòu)上固定設(shè)有用于輸送冷卻水的空心型連軸，傳動機構(gòu)活動套設(shè)在連軸的外壁上，連軸遠(yuǎn)離支撐機構(gòu)的一端貫穿穿出傳動機構(gòu)固定連接有出水口；連軸通過冷卻組件與靶內(nèi)部相連。

4、進(jìn)一步的技術(shù)方案是支撐機構(gòu)包括安裝基座和端蓋，安裝基座通過連接法蘭與真空箱體內(nèi)壁相連，安裝基座內(nèi)部設(shè)有安裝倉，安裝倉設(shè)有倉口，端蓋固定設(shè)于安裝基座遠(yuǎn)離倉口的一側(cè)上，連軸兩端貫穿安裝倉分別朝向倉口設(shè)置并與端蓋固定相連，連軸貫穿穿出端蓋的一端連通設(shè)有進(jìn)水口；蝸桿貫穿連接法蘭內(nèi)部的一端活動貫穿穿進(jìn)安裝倉內(nèi)，并與傳動機構(gòu)傳動相連。

5、更進(jìn)一步的技術(shù)方案是傳動機構(gòu)包括轉(zhuǎn)動盤、水套，轉(zhuǎn)動盤一端通過倉口轉(zhuǎn)動設(shè)于安裝倉內(nèi)與蝸桿傳動相連，另一端與水套固定相連，轉(zhuǎn)動盤的外壁上固定套設(shè)有與蝸桿嚙合匹配的渦輪，轉(zhuǎn)動盤位于渦輪兩端的外壁上分別固定套設(shè)有支撐軸承，支撐軸承的外環(huán)與安裝倉的內(nèi)壁相連。

6、更進(jìn)一步的技術(shù)方案是轉(zhuǎn)動盤和水套活動套設(shè)在連軸外壁上，水套內(nèi)開設(shè)有貫穿其內(nèi)部的轉(zhuǎn)動孔，轉(zhuǎn)動孔兩端內(nèi)壁上分別設(shè)有轉(zhuǎn)動軸承，水套轉(zhuǎn)動套設(shè)在連軸外壁上時，連軸外壁與轉(zhuǎn)動軸承內(nèi)環(huán)固定相連。

7、更進(jìn)一步的技術(shù)方案是冷卻組件設(shè)于兩個轉(zhuǎn)動軸承之間，冷卻組件包括進(jìn)水管和出水管，連軸分為進(jìn)水端和出水端，進(jìn)水端與出水端之間通過軸封固定相連；進(jìn)水端和出水端靠近軸封處分別設(shè)有流入口和流出口，水套內(nèi)部位于流入口和流出口處分別開設(shè)有流入腔和流出腔，進(jìn)水端和出水端上均設(shè)有用于密封流入腔和流出腔的密封墊；進(jìn)水管和出水管分別固定設(shè)于水套內(nèi)，且進(jìn)水管的兩端分別與流入腔和靶相連通，出水管的兩端分別與流出腔和靶相連通。

8、更進(jìn)一步的技術(shù)方案是伺服電機通過安裝法蘭設(shè)于真空箱體外側(cè)。

9、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：通過設(shè)置伺服電機、支撐機構(gòu)、傳動機構(gòu)、連軸和冷卻組件，伺服電機工作帶動蝸桿進(jìn)行轉(zhuǎn)動，帶動傳動機構(gòu)轉(zhuǎn)動，進(jìn)而帶動靶進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，當(dāng)基片形狀為圓弧或者異性形狀時，通過旋轉(zhuǎn)靶保證靶基距基本相同，實現(xiàn)高效鍍膜，同時將傳動機構(gòu)活動套設(shè)在連軸上，通過連軸輸送冷卻水，當(dāng)在伺服電機工作下傳動機構(gòu)帶動靶旋轉(zhuǎn)時，連軸不會旋轉(zhuǎn)，因此連軸不會彎曲，使得連軸使用壽命延長，解決了現(xiàn)有技術(shù)中采用金屬波紋管或者軟管通入冷卻水，當(dāng)靶旋轉(zhuǎn)時波紋管會反復(fù)彎曲，使用壽命很短，更換也不方便。軟管放氣率太高，會影響膜層的質(zhì)量的問題，大大降低了使用成本。

技術(shù)特征：

1.一種靶的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括設(shè)在真空箱體（30）外壁上的伺服電機（1），所述伺服電機（1）的輸出軸通過活動孔貫穿真空箱體（30）并朝向真空箱體（30）內(nèi)部設(shè)置，所述輸出軸通過聯(lián)軸器（2）連接有蝸桿（3）；所述蝸桿（3）置于真空箱體（30）內(nèi)部通過支撐機構(gòu)傳動連接有傳動機構(gòu)，所述傳動機構(gòu)底部固定連接有靶（4）；所述支撐機構(gòu)上固定設(shè)有用于輸送冷卻水的空心型連軸（5），所述傳動機構(gòu)活動套設(shè)在所述連軸（5）的外壁上，所述連軸（5）遠(yuǎn)離所述支撐機構(gòu)的一端貫穿穿出所述傳動機構(gòu)固定連接有出水口（6）；所述連軸（5）通過冷卻組件與所述靶（4）內(nèi)部相連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述支撐機構(gòu)包括安裝基座（7）和端蓋（8），所述安裝基座（7）通過連接法蘭（9）與所述真空箱體（30）內(nèi)壁相連，所述安裝基座（7）內(nèi)部設(shè)有安裝倉（10），所述安裝倉（10）設(shè)有倉口，所述端蓋（8）固定設(shè)于安裝基座（7）遠(yuǎn)離倉口的一側(cè)上，所述連軸（5）兩端貫穿安裝倉（10）分別朝向倉口設(shè)置并與所述端蓋（8）固定相連，所述連軸（5）貫穿穿出端蓋（8）的一端連通設(shè)有進(jìn)水口（12）；所述蝸桿（3）貫穿連接法蘭（9）內(nèi)部的一端活動貫穿穿進(jìn)所述安裝倉（10）內(nèi)，并與所述傳動機構(gòu)傳動相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種靶的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述傳動機構(gòu)包括轉(zhuǎn)動盤（13）、水套（14），所述轉(zhuǎn)動盤（13）一端通過倉口轉(zhuǎn)動設(shè)于所述安裝倉（10）內(nèi)與所述蝸桿（3）傳動相連，另一端與所述水套（14）固定相連，所述轉(zhuǎn)動盤（13）的外壁上固定套設(shè)有與所述蝸桿（3）嚙合匹配的渦輪（15），所述轉(zhuǎn)動盤（13）位于所述渦輪（15）兩端的外壁上分別固定套設(shè)有支撐軸承（16），所述支撐軸承（16）的外環(huán)與所述安裝倉（10）的內(nèi)壁相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種靶的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動盤（13）和水套（14）活動套設(shè)在連軸（5）外壁上，所述水套（14）內(nèi)開設(shè)有貫穿其內(nèi)部的轉(zhuǎn)動孔，所述轉(zhuǎn)動孔兩端內(nèi)壁上分別設(shè)有轉(zhuǎn)動軸承（18），所述水套（14）轉(zhuǎn)動套設(shè)在所述連軸（5）外壁上時，所述連軸（5）外壁與所述轉(zhuǎn)動軸承（18）內(nèi)環(huán)固定相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種靶的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述冷卻組件設(shè)于兩個轉(zhuǎn)動軸承（18）之間，所述冷卻組件包括進(jìn)水管（19）和出水管（20），所述連軸（5）分為進(jìn)水端（21）和出水端（22），所述進(jìn)水端（21）與出水端（22）之間通過軸封（23）固定相連；所述進(jìn)水端（21）和出水端（22）靠近所述軸封（23）處分別設(shè)有流入口（24）和流出口（25），所述水套（14）內(nèi)部位于所述流入口（24）和流出口（25）處分別開設(shè)有流入腔（26）和流出腔（27），所述進(jìn)水端（21）和出水端（22）上均設(shè)有用于密封流入腔（26）和流出腔（27）的密封墊（28）；所述進(jìn)水管（19）和出水管（20）分別固定設(shè)于所述水套（14）內(nèi)，且所述進(jìn)水管（19）的兩端分別與流入腔（26）和靶（4）相連通，所述出水管（20）的兩端分別與流出腔（27）和靶（4）相連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述伺服電機（1）通過安裝法蘭（29）設(shè)于所述真空箱體（30）外側(cè)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及真空磁控濺射鍍膜機，具體涉及一種靶的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，包括設(shè)在真空箱體外壁上的伺服電機傳動機構(gòu)，伺服電機的輸出軸通過活動孔貫穿真空箱體并朝向真空箱體內(nèi)部設(shè)置，輸出軸通過聯(lián)軸器連接有蝸桿；蝸桿置于真空箱體內(nèi)部通過支撐機構(gòu)傳動連接有傳動機構(gòu)，傳動機構(gòu)底部固定連接有靶；支撐機構(gòu)上固定設(shè)有空心型連軸，傳動機構(gòu)活動套設(shè)在連軸的外壁上，連軸遠(yuǎn)離支撐機構(gòu)的一端設(shè)有出水口；連軸通過冷卻組件與靶內(nèi)部相連，當(dāng)在伺服電機工作下傳動機構(gòu)帶動靶旋轉(zhuǎn)時，連軸不會旋轉(zhuǎn)，因此連軸不會彎曲，使得連軸使用壽命延長，解決了現(xiàn)有技術(shù)中采用金屬波紋管或者軟管通入冷卻水，當(dāng)靶旋轉(zhuǎn)時波紋管會反復(fù)彎曲，使用壽命很短，更換也不方便。

技術(shù)研發(fā)人員：周榮,李賢兵
受保護(hù)的技術(shù)使用者：成都友臻科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240412
技術(shù)公布日：2024/12/19