本發(fā)明屬于絲桿絲母加工，特別是涉及一種基于雙主軸晶圓劃片機的絲桿絲母加工系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、絲桿絲母又稱滾珠絲杠，其是工具機械和精密機械上最常使用的傳動元件，主要功能是將旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為線性運動或?qū)⑴ぞ剞D(zhuǎn)換成軸向反復(fù)作用力，同時兼具高精度、可逆性和高效率的特點，由于其具有很小的摩擦阻力，滾珠絲杠被廣泛應(yīng)用于雙主軸晶圓劃片機中。

2、在現(xiàn)有技術(shù)中，絲桿絲母主要由絲桿和絲母組成，在絲桿上的槽道與絲母內(nèi)壁的槽道之間裝填有若干滾珠，通過滾珠的作用來減小絲母旋轉(zhuǎn)運動的阻力，在絲桿絲母生產(chǎn)過程中需要使用到磨削設(shè)備。

3、傳統(tǒng)的滾珠絲杠磨削方法主要是有一臺單獨的內(nèi)螺紋磨床磨削滾珠絲杠的內(nèi)螺紋，然后換一臺外圓磨機床繼續(xù)磨削滾珠絲杠的外徑和端面，這種磨削控制方式必須通過兩臺磨削設(shè)備才能完成滾珠絲杠的完全加工，不僅降低了滾珠絲杠的加工效率，而且無法保證絲桿與絲母磨削加工過程中的同軸度，容易造成加工精度發(fā)生偏差。為此，我們提供了一種基于雙主軸晶圓劃片機的絲桿絲母加工系統(tǒng)，用以解決上述中的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種基于雙主軸晶圓劃片機的絲桿絲母加工系統(tǒng)，通過絲桿絲母磨削結(jié)構(gòu)、行走控制機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)切換機構(gòu)以及動力控制機構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)設(shè)計，解決了上述背景技術(shù)中的問題。

2、為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：

3、本發(fā)明為一種基于雙主軸晶圓劃片機的絲桿絲母加工系統(tǒng)，包括水平往復(fù)運動的絲桿絲母磨削結(jié)構(gòu)，所述絲桿絲母磨削結(jié)構(gòu)的一側(cè)安裝有行走控制機構(gòu)；其中，所述絲桿絲母磨削結(jié)構(gòu)包括定位機構(gòu)，所述定位機構(gòu)內(nèi)側(cè)安裝有磨削控制機構(gòu)，所述定位機構(gòu)內(nèi)側(cè)夾持安裝有絲桿絲母組件，所述磨削控制機構(gòu)滑動套設(shè)在絲桿絲母組件上且兩者同軸心設(shè)置，所述定位機構(gòu)包括水平布置的內(nèi)磨削部；所述絲桿絲母組件由預(yù)磨削桿和預(yù)磨削母套組成，所述預(yù)磨削母套滑動套設(shè)在預(yù)磨削桿周側(cè)面上。

4、所述磨削控制機構(gòu)包括套設(shè)在預(yù)磨削桿上的行走齒輪，所述行走齒輪用于控制預(yù)磨削母套的同步轉(zhuǎn)動，所述行走齒輪遠(yuǎn)離預(yù)磨削母套的一側(cè)安裝有與其同軸心的往復(fù)移動環(huán)，所述往復(fù)移動環(huán)隨行走齒輪同步轉(zhuǎn)動且兩者同步軸向移動，所述往復(fù)移動環(huán)靠近行走齒輪的一側(cè)固定安裝有外磨削部；所述行走控制機構(gòu)包括水平往復(fù)運動的固定齒座，所述行走齒輪與所述固定齒座位置相適配，所述固定齒座的移動方向與行走齒輪的滾動方向相互垂直，在控制行走齒輪沿著固定齒座表面滾動的同時行走齒輪發(fā)生軸向運動，軸向運動的行走齒輪帶動固定齒座同步移動，外磨削部沿著預(yù)磨削桿周側(cè)運動進(jìn)行磨削加工，當(dāng)預(yù)磨削母套移動至套設(shè)在內(nèi)磨削部上時，通過預(yù)磨削母套的運動實現(xiàn)其內(nèi)壁磨削加工。

5、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述定位機構(gòu)還包括定位安裝架，所述定位安裝架內(nèi)部轉(zhuǎn)動設(shè)置有雙向螺桿，所述定位安裝架一側(cè)固定安裝有定位控制馬達(dá)，所述定位控制馬達(dá)輸出端與雙向螺桿連接，所述定位安裝架底部對稱固定設(shè)置有兩支撐底座；所述定位安裝架頂部開設(shè)有限位滑道，所述定位安裝架上對稱設(shè)置有與限位滑道滑動配合的兩第一移動架，靠近定位控制馬達(dá)的第一移動架頂部固定設(shè)置有水平延伸架，靠近定位控制馬達(dá)的第一移動架表面固定設(shè)置有第一定位部，遠(yuǎn)離定位控制馬達(dá)的第一移動架表面固定設(shè)置有第二定位部，所述內(nèi)磨削部固定安裝在第二定位部周側(cè)面上，所述第一定位部和第二定位部分別抵壓在預(yù)磨削桿兩端部上。

6、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述水平延伸架正下方設(shè)置有與對應(yīng)第一移動架轉(zhuǎn)動連接的磨削控制螺桿，所述水平延伸架底部水平滑動設(shè)置有第二移動架，所述往復(fù)移動環(huán)轉(zhuǎn)動安裝在第二移動架上的安裝口內(nèi)，所述行走齒輪與往復(fù)移動環(huán)之間通過第一聯(lián)動桿固定連接，所述行走齒輪遠(yuǎn)離第一聯(lián)動桿的一側(cè)固定設(shè)置有第二聯(lián)動桿，所述第二聯(lián)動桿水平插接配合在預(yù)磨削母套端部的軸向孔內(nèi)。

7、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述第二移動架套設(shè)在磨削控制螺桿上且兩者螺紋配合，所述磨削控制螺桿周側(cè)面開設(shè)有軸向延伸的限位槽道，所述磨削控制螺桿上滑動套設(shè)有第一傳動齒輪，所述第一傳動齒輪內(nèi)壁固定的限位件滑動配合在限位槽道內(nèi)部，所述往復(fù)移動環(huán)周側(cè)面固定設(shè)置有與第一傳動齒輪嚙合的第二傳動齒輪；所述第二移動架和第二聯(lián)動桿上均固定設(shè)置有推移套，所述第二移動架上的推移套與第一傳動齒輪相貼合，所述第二聯(lián)動桿上的推移套與預(yù)磨削母套端部相貼合，所述第二聯(lián)動桿周側(cè)面螺紋配合有復(fù)位螺帽，所述往復(fù)移動環(huán)遠(yuǎn)離第二移動架的一側(cè)通過若干徑向桿連接有用于第一傳動齒輪限位的隔擋環(huán)。

8、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述行走控制機構(gòu)還包括行走控制架，所述固定齒座水平滑動設(shè)置在行走控制架上，所述固定齒座頂部固定設(shè)置有第一耳座，所述行走控制架表面固定設(shè)置的第二耳座與第一耳座之間通過第一彈性件連接，所述固定齒座底部滑動設(shè)置有移動座，所述固定齒座底部固定設(shè)置的第三耳座與移動座之間通過第二彈性件連接，所述移動座表面固定設(shè)置有受力移動板，所述第二移動架底部固定設(shè)置有與受力移動板相貼合的異形推移架。

9、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，本發(fā)明還包括旋轉(zhuǎn)切換機構(gòu)；其中，所述旋轉(zhuǎn)切換機構(gòu)包括對稱設(shè)置的兩支撐架，兩所述支撐架之間轉(zhuǎn)動設(shè)置有旋轉(zhuǎn)安裝架，所述支撐底座固定安裝在旋轉(zhuǎn)安裝架周側(cè)面上，其中一所述支撐架一側(cè)固定設(shè)置有電機座，所述電機座表面固定安裝有切換控制馬達(dá)，所述切換控制馬達(dá)輸出軸連接有第三傳動齒輪，所述旋轉(zhuǎn)安裝架周側(cè)面固定設(shè)置有與第三傳動齒輪嚙合的外齒環(huán)。

10、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，本發(fā)明還包括動力控制機構(gòu)；其中，所述動力控制機構(gòu)包括相對設(shè)置的第一固定架和第二固定架，所述第一固定架與第二固定架之間對稱轉(zhuǎn)動設(shè)置有兩動力控制螺桿，所述動力控制螺桿靠近第二固定架的端部固定安裝有傳動輪，兩所述傳動輪之間通過傳動帶連接，所述第一固定架一側(cè)固定安裝的動力控制電機輸出端與對應(yīng)動力控制螺桿連接，所述支撐架套設(shè)在對應(yīng)動力控制螺桿上且兩者螺紋配合，所述行走控制架轉(zhuǎn)動安裝在兩動力控制螺桿之間。

11、本發(fā)明具有以下有益效果：

12、1、本發(fā)明在控制行走齒輪沿著固定齒座頂部滾動過程中，隨行走齒輪同步轉(zhuǎn)動的往復(fù)移動環(huán)帶動第二傳動齒輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動，通過第二傳動齒輪的轉(zhuǎn)動帶動第一傳動齒輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動，隨第一傳動齒輪同步轉(zhuǎn)動的磨削控制螺桿驅(qū)使第二移動架往靠近內(nèi)磨削部的方向移動，在此過程中通過第二移動架上的推移套推動第一傳動齒輪同步移動，以保證第一傳動齒輪始終是與第二傳動齒輪處于嚙合關(guān)系，通過第一聯(lián)動桿推動行走齒輪往靠近內(nèi)磨削部的方向移動，同時通過第二聯(lián)動桿上的推移套推動預(yù)磨削母套往靠近內(nèi)磨削部的方向移動，由此即實現(xiàn)外磨削部在轉(zhuǎn)動的過程中沿著預(yù)磨削桿軸向移動以完成預(yù)磨削桿的磨削加工，由于預(yù)磨削母套是套設(shè)在預(yù)磨削桿上的，可有效保證在進(jìn)行磨削加工過程中預(yù)磨削桿以及預(yù)磨削母套之間的同軸度，以提高整個絲桿絲母組件磨削加工的精度。

13、2、本發(fā)明在進(jìn)行預(yù)磨削桿的磨削加工過程中，沿著固定齒座頂部滾動的行走齒輪帶動異形推移架移動并逐漸壓縮第二彈性件，與此同時隨第二移動架同步移動的異形推移架推動固定齒座進(jìn)行移動，以保證行走齒輪始終能夠沿著固定齒座頂部滾動行走，當(dāng)外磨削部完成對預(yù)磨削桿的磨削加工后，預(yù)磨削母套抵靠在內(nèi)磨削部端部上，隨著行走齒輪繼續(xù)沿著固定齒座頂部滾動，使得預(yù)磨削母套一邊進(jìn)行轉(zhuǎn)動一邊軸向運動，由此即通過內(nèi)磨削部實現(xiàn)對預(yù)磨削母套內(nèi)壁的磨削加工，大大提高了滾珠絲杠磨削加工的效率。

14、當(dāng)然，實施本發(fā)明的任一產(chǎn)品并不一定需要同時達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點。