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一種用于鋁基材料的鍍膜裝置及鍍膜方法與流程

文檔序號:40450143發(fā)布日期:2024-12-27 09:15閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于鋁基材料的鍍膜裝置,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鋁基材料的鍍膜裝置,其特征在于,所述用于鋁基材料的鍍膜裝置還包括升降機(jī)構(gòu)(610),所述爐體結(jié)構(gòu)(100)包括相對設(shè)置的第一爐體組件(110)和第二爐體組件(120),所述升降機(jī)構(gòu)(610)與所述第二爐體組件(120)連接,所述升降機(jī)構(gòu)(610)用于驅(qū)動(dòng)所述第二爐體組件(120)靠近和遠(yuǎn)離所述第一爐體組件(110),當(dāng)所述第一爐體組件(110)靠近所述第二爐體組件(120)時(shí),所述第一爐體組件(110)與所述第二爐體組件(120)配合圍成所述容置腔(101)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于鋁基材料的鍍膜裝置,其特征在于,所述第一爐體組件(110)包括第一外殼(111)、第一內(nèi)殼(112)及第一隔熱層(114),所述第一外殼(111)套設(shè)于所述第一內(nèi)殼(112)遠(yuǎn)離所述容置腔(101)的一側(cè),所述第一外殼(111)與所述第一內(nèi)殼(112)間隔設(shè)置并配合圍成用于流通冷媒的第一冷卻腔(113),所述第一外殼(111)上還開設(shè)有連通于所述第一冷卻腔(113)的第一進(jìn)液口(1111)和第一出液口(1112),所述第一進(jìn)液口(1111)位于所述第一外殼(111)遠(yuǎn)離所述第二爐體組件(120)的一端,所述第一出液口(1112)位于所述第一外殼(111)靠近所述第二爐體組件(120)的一端;

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的用于鋁基材料的鍍膜裝置,其特征在于,所述用于鋁基材料的鍍膜裝置還包括加熱件(711)、溫度檢測件(712)和溫控器(714),所述加熱件(711)連接于所述第一爐體組件(110)上,并位于所述容置腔(101)中;

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于鋁基材料的鍍膜裝置,其特征在于,所述第二爐體組件(120)包括第二外殼(121)、第二內(nèi)殼(122)及第二隔熱層(124),所述第二外殼(121)套設(shè)于所述第二內(nèi)殼(122)遠(yuǎn)離所述容置腔(101)的一側(cè),所述第二外殼(121)與所述第二內(nèi)殼(122)間隔設(shè)置并配合圍成用于流通冷媒的第二冷卻腔(123),所述第二外殼(121)上還開設(shè)有第二進(jìn)液口(1211)和第二出液口(1212),所述第二進(jìn)液口(1211)和所述第二出液口(1212)均與所述第二冷卻腔(123)連通,所述第二隔熱層(124)設(shè)置于所述第二內(nèi)殼(122)靠近所述容置腔(101)的一側(cè);

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鋁基材料的鍍膜裝置,其特征在于,所述工件架(200)包括轉(zhuǎn)盤(210)和多個(gè)工件桿(220),所述轉(zhuǎn)盤(210)轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述爐體結(jié)構(gòu)(100)上,所述多個(gè)工件桿(220)均轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述轉(zhuǎn)盤(210)上,所述多個(gè)工件桿(220)環(huán)繞設(shè)置于所述轉(zhuǎn)盤(210)的第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的周側(cè),各所述工件桿(220)的第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸線均平行于所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸線;

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于鋁基材料的鍍膜裝置,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(400)包括第一驅(qū)動(dòng)件(410)、第一齒輪(441)和多個(gè)第二齒輪(442),所述第一驅(qū)動(dòng)件(410)固定安裝于所述爐體結(jié)構(gòu)(100)背離所述容置腔(101)的一側(cè),所述第一驅(qū)動(dòng)件(410)的輸出軸傳動(dòng)連接有一第一傳動(dòng)桿(420),所述第一傳動(dòng)桿(420)沿所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸線穿設(shè)于所述爐體結(jié)構(gòu)(100),并延伸至所述容置腔(101)中與所述轉(zhuǎn)盤(210)固定連接;

8.一種用于鋁基材料的鍍膜方法,其特征在于,通過如權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的用于鋁基材料的鍍膜裝置實(shí)現(xiàn),所述用于鋁基材料的鍍膜方法包括:

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于鋁基材料的鍍膜方法,其特征在于,所述去除工件表面的氧化鋁膜,并預(yù)鍍氮化鋁膜,包括:

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于鋁基材料的鍍膜方法,其特征在于,所述第一靶材(311)包括氮化鋁靶,所述若干個(gè)第二靶材(312)包括氮化鈦靶、氮化釩靶和氧化鋯靶;


技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種用于鋁基材料的鍍膜裝置及鍍膜方法,涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。鍍膜裝置包括:爐體結(jié)構(gòu),配置有封閉的容置腔;工件架,轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于容置腔中;第一靶材,安裝于容置腔內(nèi),第一靶材與工件架相對并同軸設(shè)置;若干個(gè)第二靶材,安裝于容置腔內(nèi),若干個(gè)第二靶材環(huán)繞布設(shè)于第一靶材的周側(cè);鍍膜電源的第一正極分別連接于工件架和爐體結(jié)構(gòu),第一正極接地,鍍膜電源的第一負(fù)極分別與工件架、第一靶材和第二靶材連接;除膜電源的第二正極連接于爐體結(jié)構(gòu),除膜電源的第二正極接地,第二負(fù)極連接于第一靶材。本申請?zhí)峁┑腻兡ぱb置可提升強(qiáng)化膜與工件的結(jié)合力。

技術(shù)研發(fā)人員:林育周
受保護(hù)的技術(shù)使用者:深圳市華宇發(fā)真空離子技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/12/26
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