本實用新型涉及化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備。

背景技術(shù)：

化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備是通過反應(yīng)的方式，利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源，在鍍膜設(shè)備內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在固界面上經(jīng)反應(yīng)形成一層膜。目前，現(xiàn)有的化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備在刀具上制備金剛石涂層過程中，刀具表面金剛石涂層生成周期長，生產(chǎn)效率低，而且，發(fā)熱絲熱場不均勻，反應(yīng)氣體熱解效率低，導(dǎo)致金剛石涂層生成速度慢，金剛石涂層的一致性不能很好保障。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型揭示了一種熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備,其包括第一機殼；

內(nèi)置于第一機殼的第二機殼，第二機殼與第一機殼的頂部相連接，第二機殼與第一機殼之間形成冷卻空間；

設(shè)置于第一機殼及第二機殼頂部的第三機殼，第一機殼、第二機殼及第三機殼形成一密封的反應(yīng)腔室，第三機殼具有至少一反應(yīng)氣體入口，至少一反應(yīng)氣體入口連通反應(yīng)腔室；

設(shè)置于反應(yīng)腔室的水冷基臺，水冷基臺包括第一工作平臺及第二工作平臺，第一工作平臺及第二工作平臺的頂部相連接，第一工作平臺及第二工作平臺間具有一夾角A；

設(shè)置于反應(yīng)腔室的發(fā)熱裝置，發(fā)熱裝置位于水冷基臺的上方，發(fā)熱裝置包括兩組接線柱、發(fā)熱絲組及連接機構(gòu)，兩組接線柱設(shè)置于反應(yīng)腔室，并分別位于水冷基臺的兩側(cè)，兩組接線柱分別連接直流電源的正極及負極，發(fā)熱絲組的兩端分別連接兩組接線柱，連接機構(gòu)設(shè)置于反應(yīng)腔室，并位于兩組接線柱間，連接機構(gòu)分隔發(fā)熱絲組成第一部分及第二部分，第一部分及第二部分分別平行第一工作平臺及第二工作平臺；以及

位于第一機殼一側(cè)的冷水機，冷水機的進口分別連接冷卻空間及水冷基臺，冷水機的出口分別連接冷卻空間及水冷基臺。

根據(jù)本實用新型的一實施方式，上述至少一反應(yīng)氣體入口的數(shù)量為兩個，兩個反應(yīng)氣體入口分別與第一部分及第二部分垂直。

根據(jù)本實用新型的一實施方式，上述夾角A介于100度至160度之間。

根據(jù)本實用新型的一實施方式，上述連接機構(gòu)包括支撐桿及折彎桿，支撐桿設(shè)置于反應(yīng)腔室，并位于兩組接線柱間，折彎桿設(shè)置于支撐桿，并分割發(fā)熱絲組。

根據(jù)本實用新型的一實施方式，上述熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備還包括排氣孔，排氣孔連通所述反應(yīng)腔室及外界。

根據(jù)本實用新型的一實施方式，上述熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備還包括維持泵，維持泵連接排氣孔。

根據(jù)本實用新型的一實施方式，上述維持泵為真空機械泵。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型可以獲得包括以下技術(shù)效果：

本實用新型的熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低廉，加快企業(yè)的生產(chǎn)效率，降低企業(yè)的生產(chǎn)成本；并且，生成的金剛石涂層牢固，生成金剛石涂層快速，在刀具使用過程中，金剛石涂層不易脫落，生產(chǎn)的刀具質(zhì)量一致性好。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施方式的熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備的示意圖。

附圖標記說明：

1、第一機殼；2、第二機殼；3、第三機殼；31、至少一反應(yīng)氣體入口；4、水冷基臺；41、第一工作平臺；42、第二工作平臺；5、發(fā)熱裝置；51、兩組接線柱；52、發(fā)熱絲組；521、第一部分；522、第二部分；53、連接機構(gòu)；531、支撐桿；532、折彎桿；6、冷水機；7、冷卻空間；8、反應(yīng)腔室；9、直流電源；10、刀具；11、排氣孔；12、維持泵。

具體實施方式

以下將以圖式揭露本實用新型的多個實施方式，為明確說明起見，許多實務(wù)上的細節(jié)將在以下敘述中一并說明。然而，應(yīng)了解到，這些實務(wù)上的細節(jié)不應(yīng)用以限制本實用新型。也就是說，在本實用新型的部分實施方式中，這些實務(wù)上的細節(jié)是非必要的。此外，為簡化圖式起見，一些習(xí)知慣用的結(jié)構(gòu)與組件在圖式中將以簡單的示意的方式繪示之。

關(guān)于本文中所使用之“第一”、“第二”等，并非特別指稱次序或順位的意思，亦非用以限定本實用新型，其僅僅是為了區(qū)別以相同技術(shù)用語描述的組件或操作而已。

請參閱圖1，其為本實用新型一實施方式的熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備的示意圖。如圖所示，本實用新型揭示了一種熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備，熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備用于化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，將金剛石涂層涂覆于刀具的指定位置。熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備包括第一機殼1、第二機殼2、第三機殼3、水冷基臺4、發(fā)熱裝置5及冷水機6。第二機殼2內(nèi)置于第一機殼1，第二機殼2與第一機殼1的頂部相連接，第二機殼1與第一機殼2之間形成冷卻空間7。第三機殼3設(shè)置于第一機殼1及第二機殼2的頂部，第一機殼1、第二機殼2及第三機殼3形成一密封的反應(yīng)腔室8。第三機殼3具有至少一反應(yīng)氣體入口31，至少一反應(yīng)氣體入口31連通反應(yīng)腔室8。水冷基臺4設(shè)置于反應(yīng)腔室8，水冷基臺4包括第一工作平臺41及第二工作平臺42，第一工作平臺41及第二工作平臺42的頂部相連接，第一工作平臺41及第二工作平臺42間具有一夾角A。發(fā)熱裝置5設(shè)置于反應(yīng)腔室8，發(fā)熱裝置5位于水冷基臺4的上方。發(fā)熱裝置5包括兩組接線柱51、發(fā)熱絲組52及連接機構(gòu)53。兩組接線柱51設(shè)置于反應(yīng)腔室8，兩組接線柱51分別位于水冷基臺4的兩側(cè)，兩組接線柱51分別連接直流電源9的正極及負極。發(fā)熱絲組52的兩端分別連接兩組接線柱51，連接機構(gòu)53設(shè)置于反應(yīng)腔室8，連接機構(gòu)53位于兩組接線柱51間，連接機構(gòu)53分隔發(fā)熱絲組52成第一部分521及第二部分522，第一部分521及第二部分522分別平行第一工作平臺41及第二工作平臺42。冷水機6位于第一機殼1的一側(cè)，冷水機6的進口分別連接冷卻空間7及水冷基臺4，冷水機6的出口分別連接冷卻空間7及水冷基臺4。多個刀具10分別置于第一工作平臺41及第二工作平臺42，于此同時，直流電源9通入電源，使得發(fā)熱絲組52發(fā)熱，充分加熱反應(yīng)腔室8及多個刀具10；爾后，至少一反應(yīng)氣體入口31通入反應(yīng)氣體，反應(yīng)氣體與多個刀具10產(chǎn)生反應(yīng)，多個刀具10的指定位置生成金剛石涂層。在多個刀具10的指定位置生成金剛石涂層過程中，冷水機6開始工作，使得反應(yīng)腔室8及多個刀具10其余位置保持一定溫度，防止多個刀具10其余位置生成金剛石涂層。

具體應(yīng)用時，上述的至少一反應(yīng)氣體入口31的數(shù)量為兩個，兩個反應(yīng)氣體入口31分別與第一部分521及第二部分522垂直。兩個反應(yīng)氣體入口31分別與第一部分521及第二部分522垂直，有利于反應(yīng)氣體熱解效率，提升反應(yīng)氣體活性基團的能量和自由程，減少反應(yīng)氣體的使用，生成的金剛石涂層一致性好，金剛石涂層生成效率高，降低企業(yè)的生產(chǎn)成本。

具體應(yīng)用時，上述的夾角A介于100度至160度之間。水冷基臺4包括第一工作平臺41及第二工作平臺42，第一工作平臺41及第二工作平臺42的夾角A介于100度至160度之間，使得水冷基臺4能放置更多的刀具10，增加一次反應(yīng)的刀具10數(shù)量，提升企業(yè)的生產(chǎn)效率。

具體應(yīng)用時，上述的連接機構(gòu)53包括支撐桿531及折彎桿532。支撐桿531設(shè)置于反應(yīng)腔室8，支撐桿531位于兩組接線柱51間，折彎桿532設(shè)置于支撐桿531，折彎桿532分割發(fā)熱絲組52成第一部分521及第二部分522，第一部分521及第二部分522分別平行第一工作平臺41及第二工作平臺42。使得多個刀具10與發(fā)熱絲組52的距離均勻一致，多個刀具10生成的金剛石涂層一致性好，金剛石涂層生成效率高，反應(yīng)氣體利用率高，降低企業(yè)的生產(chǎn)成本。

具體應(yīng)用時，上述的熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備1還包括排氣孔11及維持泵12，排氣孔11連通反應(yīng)腔室8，維持泵12連接排氣孔11。維持泵12及排氣孔11使得反應(yīng)腔室8的氣壓穩(wěn)定，放置反應(yīng)腔室8內(nèi)的氣壓過高，發(fā)生危險，或者造成多個刀具10生成金剛石涂層失敗。具體應(yīng)用時，上述的維持泵12為真空機械泵，當然，維持泵12也可根據(jù)實際使用情況選用，于此不再贅述。

綜上所述，本實用新型的一或多個實施方式中，本實用新型的熱絲CVD金剛石涂層設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低廉，加快企業(yè)的生產(chǎn)效率，降低企業(yè)的生產(chǎn)成本；并且，生成的金剛石涂層牢固，生成金剛石涂層快速，在刀具使用過程中，金剛石涂層不易脫落，生產(chǎn)的刀具質(zhì)量一致性好。

上所述僅為本實用新型的實施方式而已，并不用于限制本實用新型。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原理的內(nèi)所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包括在本實用新型的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。