技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種磁偏轉(zhuǎn)電子束蒸發(fā)源，包括：電子束發(fā)生機構(gòu)、磁偏轉(zhuǎn)組件、水冷坩堝機構(gòu)、直線換位機構(gòu)和工作電路；電子束發(fā)生機構(gòu)為本發(fā)明核心機構(gòu)，主要包括燈絲、燈絲座、陶瓷片、陶瓷座、支撐塊、陶瓷柱、陰極屏蔽罩等；采用燈絲加熱的方式發(fā)射熱電子，熱電子經(jīng)陰極和陽極之間的電場加速后飛往陽極，為了提高蒸發(fā)的速率，采用了一種陰極屏蔽罩，此陰極屏蔽罩不僅可以屏蔽下方永久磁鐵產(chǎn)生的磁場對燈絲發(fā)射電子的干擾，而且還能作為控制極來調(diào)整束斑的大??；冷卻構(gòu)造是雙層水冷，冷卻外筒內(nèi)的冷卻內(nèi)筒將冷卻水直接送至無氧銅坩堝；待蒸發(fā)膜材位于無氧銅坩堝內(nèi)襯內(nèi)，采用的坩堝內(nèi)襯可以使整個熔池的溫度分布趨于均勻。

技術(shù)研發(fā)人員：郭方準;陳欣
受保護的技術(shù)使用者：大連交通大學
文檔號碼：201720144590
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.17
技術(shù)公布日：2017.10.13