本實(shí)用新型涉及超高真空設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種磁偏轉(zhuǎn)電子束蒸發(fā)源。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體集成電路，傳感器和太陽能電池板的生產(chǎn)過程中，很多結(jié)構(gòu)都需要真空鍍膜技術(shù)來生成。因此真空鍍膜直接決定了半導(dǎo)體和太陽能電池板等產(chǎn)品的質(zhì)量。真空鍍膜的研究與應(yīng)用都離不開其產(chǎn)生設(shè)備，因此蒸發(fā)源的研發(fā)具有重要意義。

目前國內(nèi)外的主要真空鍍膜技術(shù)有真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜，其中應(yīng)用最多的是真空蒸發(fā)鍍膜。真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)，即在高真空或超高真空的腔室中通過蒸發(fā)源加熱使膜材(如金屬或化合物)蒸發(fā)。蒸發(fā)的粒子從膜材表面逸出，在蒸發(fā)分子的平均自由程大于蒸發(fā)源與基片間的線尺寸的情況下，可直接到達(dá)基片表面上并凝結(jié)生成膜。影響蒸發(fā)鍍膜性能的主要因素是蒸發(fā)速率、殘余氣體和蒸發(fā)溫度。蒸發(fā)速率直接決定了薄膜的質(zhì)量，相應(yīng)的膜材對(duì)應(yīng)相應(yīng)的蒸發(fā)速率和沉積速率，蒸發(fā)鍍膜與其他鍍膜方法對(duì)比有更高的沉積率，可以蒸鍍大多數(shù)的金屬和化合物膜。

在真空蒸發(fā)鍍膜中，常見的蒸發(fā)源有四種類型：(1)電阻加熱蒸發(fā)源，它是利用對(duì)發(fā)熱體直接通電，利用電流通過后產(chǎn)生的焦耳熱來熔化金屬膜材實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)。(2)感應(yīng)加熱蒸發(fā)源，它是用高頻感應(yīng)電流加熱坩堝和感應(yīng)物質(zhì)。(3)激光加熱蒸發(fā)源，其利用高效率的激光束作為加熱源直接對(duì)膜材進(jìn)行加熱。(4)電子束加熱蒸發(fā)源，其原理是基于電子在電場的作用下，所獲得的動(dòng)能轉(zhuǎn)化為加熱的熱能，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)膜材的加熱，蒸發(fā)，凝結(jié)成所需薄膜。它主要由提供電子的陰極，陽極，聚束極和磁場組成。電子束加熱源的特點(diǎn)是能量集中，能使膜材表面迅速獲得極高的溫度，膜材蒸發(fā)速率和薄膜沉積速率較高，可通水冷卻，可調(diào)控溫度范圍大。

目前的電子束加熱蒸發(fā)源大都是利用高溫電子轟擊膜材靠巨大的能量熔化金屬(或化合物)再使其蒸發(fā)并鍍膜。與之而來的是充當(dāng)陰極的燈絲發(fā)射出來的電子極易直接入射在基片上，降低了薄膜純度。同時(shí)燈絲也極易被電離出來的正離子轟擊和來自坩堝內(nèi)濺射出來的蒸發(fā)物所污染。絕大數(shù)的電子束蒸發(fā)源都采用磁偏轉(zhuǎn)的方式減少污染，主要有如圖一所示三種偏轉(zhuǎn)角度。180°、225°偏轉(zhuǎn)蒸發(fā)源燈絲還是會(huì)受坩堝內(nèi)蒸發(fā)物污染，效果不佳。由于熱電子轟擊坩堝內(nèi)膜材導(dǎo)致坩堝溫度急劇升高(可達(dá)2000℃～6000℃)，傳統(tǒng)的冷卻機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，散熱效果不佳，溫度控制能力較差，大大影響了薄膜性能。除此之外，目前國內(nèi)外絕大數(shù)的磁偏轉(zhuǎn)蒸發(fā)源都是利用通電的磁力線圈產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)磁場的，磁力線圈通電發(fā)熱極易產(chǎn)生雜質(zhì)電子污染燈絲和薄膜。

我國目前沒有國產(chǎn)的磁偏轉(zhuǎn)電子束蒸發(fā)源。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型針對(duì)上述技術(shù)問題，提出一種能在真空中結(jié)構(gòu)簡單的高效率蒸發(fā)和沉積的的電子束蒸發(fā)源，并且極大地提高所生長的薄膜的純度的磁偏轉(zhuǎn)電子束蒸發(fā)源。

為達(dá)到以上目的，通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

磁偏轉(zhuǎn)電子束蒸發(fā)源，包括：電子束發(fā)生機(jī)構(gòu)、磁偏轉(zhuǎn)組件、水冷坩堝機(jī)構(gòu)、直線換位機(jī)構(gòu)和工作電路；

所述的電子束發(fā)生機(jī)構(gòu)包括：燈絲、燈絲座A、燈絲座B、陶瓷片、陶瓷座、陶瓷座套筒、支撐塊、陶瓷柱、陶瓷柱保護(hù)罩、陰極屏蔽罩、磁鐵套；

所述的燈絲以螺釘連接的方式固定在燈絲座A和燈絲座B上；所述的兩陶瓷片以螺釘連接的方式固定在燈絲座A的上下兩定位孔內(nèi)，兩陶瓷座位于燈絲座A和燈絲座B正下方，以同軸心的形式分別和兩燈絲座裝配；所述的兩陶瓷座套筒與陶瓷座間隙配合并以螺釘?shù)倪B接的形式與陶瓷座一起固定在所述支撐塊上；所述支撐塊以螺釘?shù)倪B接方式固定在磁鐵套上，且支撐塊設(shè)置有具有放氣的作用前后兩通孔；其中，兩個(gè)燈絲座、陶瓷座套筒和陶瓷座縱向同軸均預(yù)設(shè)有螺釘裝配通孔，通過貫穿裝配的同一根螺釘連接在一起，磁鐵套、支撐塊和陶瓷座縱向同軸預(yù)設(shè)有螺釘裝配通孔，通過另一根螺釘貫穿裝配連接在一起，上述螺釘裝配通孔為縱向同軸通孔；

所述的陰極屏蔽罩位于兩燈絲座和兩陶瓷座套筒之間；所述的陶瓷柱以螺釘連接的方式固定在燈絲座A和燈絲座B之間，用以固定并絕緣兩燈絲座；

所述的陶瓷柱保護(hù)罩以螺釘連接的方式固定在陶瓷柱一側(cè)用來保護(hù)陶瓷柱；

所述的磁偏轉(zhuǎn)組件包括：永久磁鐵、軛鐵、磁偏轉(zhuǎn)擋片、磁鐵固定墊片和非磁性擋片；

所述的永久磁鐵嵌于上述磁鐵套內(nèi)，并由磁鐵固定墊片通過螺釘連接固定在所述的磁鐵套上；所述的軛鐵本身無磁性，共有四塊，分別焊接在水冷坩堝機(jī)構(gòu)的無氧銅坩堝上，經(jīng)對(duì)應(yīng)位置的永久磁鐵磁化后具備磁性兩軛鐵在電子束發(fā)生機(jī)構(gòu)區(qū)域構(gòu)成均勻磁場，對(duì)電子起到了偏轉(zhuǎn)270°的作用；

所述的磁偏轉(zhuǎn)擋片以螺釘連接的形式固定在所述燈絲座B上方；所述的非磁性擋片受永久磁鐵磁力吸附在磁鐵外側(cè)；

所述的水冷坩堝機(jī)構(gòu)包括：無氧銅坩堝、坩堝后蓋、坩堝內(nèi)襯、水冷內(nèi)筒、水冷外筒和冷卻筒滑塊；

所述的坩堝后蓋通過釬焊的方式焊接在所述無氧銅坩堝上；所述的坩堝內(nèi)襯形狀、大小與無氧銅坩堝槽相近；坩堝內(nèi)襯的材料為石墨，Mo或Ta；所述水冷內(nèi)筒一端焊接在無氧銅坩堝上作為進(jìn)水口，另一端通過螺紋連接的形式和連接接口管連接；所述的水冷外筒一端焊接在無氧銅坩堝上作為出水口；所述的冷卻筒滑塊與水冷外筒焊接在一起，水冷內(nèi)筒位于水冷外筒內(nèi)，冷卻水由水冷內(nèi)筒流入，從水冷外筒流出；

所述的直線換位機(jī)構(gòu)包括：壓板A、壓板B、坩堝底座壓板、焊接波紋管、滑軌嵌套、追加工法蘭、銅螺母、塑料片、擰把手、銅片、螺紋絲杠、滑軌和滑軌滑塊；所述的坩堝底座壓板通過螺釘與上述的無氧銅坩堝連接；所述的冷卻筒滑塊與所述的坩堝底座以螺釘連接的形式固定，并且其上端面和前端面分別與裝有滑軌嵌套的壓板A和壓板B通過螺釘連接，可以實(shí)現(xiàn)在壓板A的軸向方向的滑動(dòng)，從而帶動(dòng)無氧銅坩堝一起滑動(dòng)；所述壓板A和壓板B通過焊接的方式固定，并且與所述追加工法蘭焊接成一體；所述的焊接波紋管一端與冷卻筒滑塊焊接固定，另一端與追加工法蘭焊接固定；以上各部件位于真空內(nèi)部；所述的銅片與追加工法蘭焊接固定；所述的螺紋絲杠一端與上述冷卻筒滑塊焊接固定，另一端與水冷外筒連接接口連接，螺紋絲杠實(shí)際也作為水冷外筒往外排出冷卻水；所述銅螺母與螺紋絲杠進(jìn)行螺紋連接，所述的擰把手套在銅螺母上，并且通過一根細(xì)小的螺釘與銅螺母夾緊；所述的塑料片套在擰把手上；所述的滑軌焊接在追加工法蘭上；所述的滑軌滑塊與滑軌間隙配合，滑軌滑塊便可以在滑軌上滑動(dòng)；即，擰動(dòng)擰把手帶動(dòng)銅螺母與螺紋絲杠相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)變旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)為直線運(yùn)動(dòng)，原本壓縮后的焊接波紋管慢慢復(fù)原，冷卻筒滑塊帶動(dòng)著固定的無氧銅坩堝向前移動(dòng)，達(dá)到換位的目的；

所述的工作電路由：銅棒、電極法蘭、燈絲、燈絲座A、燈絲座B、無氧銅坩堝組成；其中，兩銅棒一端分別與燈絲座A和燈絲座B相連，另一端分別與電極法蘭預(yù)設(shè)接口相連；所述燈絲兩端分別固定在燈絲座A和燈絲座B的插口處，由外接電源經(jīng)銅棒、燈絲座給燈絲作為陰極，且通負(fù)高壓U＝3.5kV，無氧銅坩堝作為陽極接地。

采用上述技術(shù)方案的本實(shí)用新型與現(xiàn)有的技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

1、由于熱電子轟擊坩堝內(nèi)膜材時(shí)的能量至少3.5KeV，這足以讓絕大多數(shù)的金屬熔化，因此充分可靠的冷卻構(gòu)造極其重要。本實(shí)用新型的冷卻構(gòu)造是雙層水冷，冷卻外筒內(nèi)的冷卻內(nèi)筒將冷卻水直接送至無氧銅坩堝，冷卻水穿過無氧銅坩堝帶走熱量從冷卻外筒流出。本實(shí)用新型的待蒸發(fā)膜材位于無氧銅坩堝內(nèi)襯內(nèi)，采用的坩堝內(nèi)襯可以使整個(gè)熔池的溫度分布趨于均勻，并且防止無氧銅坩堝的材料污染薄膜。陽極的無氧銅坩堝的溫度和冷卻水的流量可以實(shí)時(shí)監(jiān)控，這樣的水冷構(gòu)造可以使設(shè)備在使用過程中保持較低的溫度，從而可以在真空中穩(wěn)定運(yùn)行，提高了蒸發(fā)源的使用壽命。

2、為了獲取一些多種金屬材料合成后的薄膜，要求在鍍膜期間用一個(gè)蒸發(fā)源來蒸發(fā)幾種材料，本實(shí)用新型采用三孔坩堝來依次進(jìn)行蒸發(fā)。本實(shí)用新型采用直線換位機(jī)構(gòu)可以有效的實(shí)現(xiàn)這一功能，并且三個(gè)坩堝槽的位置相距較遠(yuǎn)，相比旋轉(zhuǎn)換位機(jī)構(gòu)，直線換位機(jī)構(gòu)可以避免幾個(gè)坩堝的膜材在未完全蒸發(fā)凝結(jié)成膜前相互污染。

3、本實(shí)用新型采用燈絲加熱的方式發(fā)射熱電子，熱電子經(jīng)陰極和陽極之間的電場加速后飛往陽極。為了增加蒸發(fā)的速率，需使電子束集中地打在所需蒸發(fā)膜材上?？陀^的講就是束斑的大小是影響蒸發(fā)速率的關(guān)鍵因素，束斑大蒸發(fā)效率降低，束斑太小膜材容易飛濺，坩堝內(nèi)襯容易崩裂。因此本實(shí)用新型采用了一種陰極屏蔽罩，此陰極屏蔽罩不僅可以屏蔽下方永久磁鐵產(chǎn)生的磁場對(duì)燈絲發(fā)射電子的干擾，而且還能作為控制極來調(diào)整束斑的大小。這樣即可以提高蒸發(fā)效率還可以防止膜材飛濺污染燈絲。

4、真空鍍膜的關(guān)鍵是確保薄膜的純凈度。但蒸發(fā)膜材時(shí)燈絲發(fā)射出來的熱電子極易直接入射在基片上，降低了薄膜純度。同時(shí)燈絲也極易被來自坩堝內(nèi)濺射出來的蒸發(fā)物所污染。為了解決這一難題，本實(shí)用新型采用磁偏轉(zhuǎn)電子束的方式降低對(duì)燈絲和薄膜的污染。與國內(nèi)外大多數(shù)蒸發(fā)源不同，本實(shí)用新型采用永久磁鐵取代利用通電產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)磁場的磁力線圈，因?yàn)榇帕€圈通電發(fā)熱極易產(chǎn)生雜質(zhì)電子污染燈絲和薄膜。本實(shí)用新型利用永久磁鐵磁化所需蒸發(fā)膜材所在坩堝槽兩邊的軛鐵，軛鐵受到磁化后獲得磁性產(chǎn)生均勻磁場，燈絲發(fā)射的電子在電場加速后經(jīng)磁場偏轉(zhuǎn)270°射到坩堝內(nèi)膜材上。燈絲和坩堝內(nèi)膜材處于異面，可以有效的防止燈絲被來自坩堝內(nèi)濺射出來的蒸發(fā)物所污染，從而大大提高了薄膜膜的純度。

5、本實(shí)用新型適用于超高真空環(huán)境，其零件選用的材質(zhì)完全適合超高真空使用，安裝法蘭采用刀口法蘭，可承受250℃的高溫烘烤，使設(shè)備在使用時(shí)能保持真空環(huán)境的真空度。

6、本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、使用壽命長、操作簡單、可量化生產(chǎn)。

上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本實(shí)用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。

附圖說明

本實(shí)用新型共10幅附圖,其中：

圖1為本實(shí)用新型的主視立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型的后視立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實(shí)用新型的右視圖。

圖5為本實(shí)用新型的工作原理圖。

圖6為圖3C處局部放大圖。

圖7為本實(shí)用新型的電子束發(fā)生機(jī)構(gòu)立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8為本實(shí)用新型的電子束發(fā)生機(jī)構(gòu)俯視圖。

圖9為本實(shí)用新型的電子束發(fā)生機(jī)構(gòu)右視圖。

圖10為圖9A-A剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1至圖10所示的一種磁偏轉(zhuǎn)電子束蒸發(fā)源，包括：電子束發(fā)生機(jī)構(gòu)、磁偏轉(zhuǎn)組件、水冷坩堝機(jī)構(gòu)、直線換位機(jī)構(gòu)和工作電路；

所述的電子束發(fā)生機(jī)構(gòu)包括：燈絲8、燈絲座A12、燈絲座B11、陶瓷片10、陶瓷座9、陶瓷座套筒15、支撐塊13、陶瓷柱14、陶瓷柱保護(hù)罩7、陰極屏蔽罩3、磁鐵套1；

所述的燈絲以螺釘連接的方式固定在燈絲座A12和燈絲座B11上，燈絲自身具有一定電阻在通過負(fù)高壓和電流的情況下發(fā)熱并發(fā)射熱電子；所述的兩陶瓷片10以螺釘連接的方式固定在燈絲座A12的上下兩定位孔內(nèi)，兩陶瓷座9位于燈絲座A12和燈絲座B11正下方，以同軸心的形式分別和兩燈絲座裝配；所述的兩陶瓷座套筒15與陶瓷座9間隙配合并以螺釘?shù)倪B接的形式與陶瓷座9一起固定在所述支撐塊13上；所述支撐塊13以螺釘?shù)倪B接方式固定在磁鐵套1上，起到了支撐和保護(hù)陶瓷座的作用，且支撐塊13設(shè)置有具有放氣的作用前后兩通孔；其中，兩個(gè)燈絲座、陶瓷座套筒15和陶瓷座9縱向同軸均預(yù)設(shè)有螺釘裝配通孔，通過貫穿裝配的同一根螺釘連接在一起，磁鐵套1、支撐塊13和陶瓷座9縱向同軸預(yù)設(shè)有螺釘裝配通孔，通過另一根螺釘貫穿裝配連接在一起，上述螺釘裝配通孔為縱向同軸通孔；

所述的陰極屏蔽罩3位于兩燈絲座和兩陶瓷座套筒15之間，其主要用來屏蔽下方永久磁鐵的磁場，避免干擾燈絲發(fā)射的電子運(yùn)動(dòng)軌跡，其次陰極屏蔽罩可以前后滑動(dòng)調(diào)整其內(nèi)沿與燈絲外沿之間的距離，起到了控制電子束聚焦的作用。

所述的陶瓷柱14以螺釘連接的方式固定在燈絲座A12和燈絲座B11之間，用以固定并絕緣兩燈絲座；

所述的陶瓷柱保護(hù)罩7以螺釘連接的方式固定在陶瓷柱14一側(cè)用來保護(hù)陶瓷柱14；

所述的磁偏轉(zhuǎn)組件包括：永久磁鐵2、軛鐵16、磁偏轉(zhuǎn)擋片5、磁鐵固定墊片6和非磁性擋片4；

所述的永久磁鐵2嵌于上述磁鐵套1內(nèi)，并由磁鐵固定墊片6通過螺釘連接固定在所述的磁鐵套1上；所述的軛鐵16本身無磁性，共有四塊，分別焊接在水冷坩堝機(jī)構(gòu)的無氧銅坩堝17上，經(jīng)對(duì)應(yīng)位置的永久磁鐵磁化后具備磁性兩軛鐵在電子束發(fā)生機(jī)構(gòu)區(qū)域構(gòu)成均勻磁場，對(duì)電子起到了偏轉(zhuǎn)270°的作用；

所述的磁偏轉(zhuǎn)擋片5以螺釘連接的形式固定在所述燈絲座B11上方；所述的非磁性擋片4受永久磁鐵2磁力吸附在磁鐵外側(cè)；

所述的水冷坩堝機(jī)構(gòu)包括：無氧銅坩堝17、坩堝后蓋、坩堝內(nèi)襯18、水冷內(nèi)筒19、水冷外筒20和冷卻筒滑塊21；

所述的坩堝后蓋通過釬焊的方式焊接在所述無氧銅坩堝上；所述的坩堝內(nèi)襯18形狀、大小與無氧銅坩堝槽相近；坩堝內(nèi)襯18的材料為石墨，Mo或Ta；所述水冷內(nèi)筒19一端焊接在無氧銅坩堝17上作為進(jìn)水口，另一端通過螺紋連接的形式和連接接口管連接；所述的水冷外筒20一端焊接在無氧銅坩堝上作為出水口；所述的冷卻筒滑塊與水冷外筒20焊接在一起，水冷內(nèi)筒19位于水冷外筒20內(nèi)，冷卻水由水冷內(nèi)筒19流入，從水冷外筒20流出；

所述的直線換位機(jī)構(gòu)包括：壓板A22、壓板B23、坩堝底座壓板24、焊接波紋管25、滑軌嵌套26、追加工法蘭27、銅螺母28、塑料片29、擰把手30、銅片31、螺紋絲杠32、滑軌33和滑軌滑塊34；所述的坩堝底座壓板通過螺釘與上述的無氧銅坩堝連接；所述的冷卻筒滑塊21與所述的坩堝底座以螺釘連接的形式固定，并且其上端面和前端面分別與裝有滑軌嵌套26的壓板A22和壓板B23通過螺釘連接，可以實(shí)現(xiàn)在壓板A22的軸向方向的滑動(dòng)，從而帶動(dòng)坩堝一起滑動(dòng)；所述壓板A22和壓板B23通過焊接的方式固定，并且與所述追加工法蘭27焊接成一體；所述的焊接波紋管25一端與冷卻筒滑塊21焊接固定，另一端與追加工法蘭27焊接固定；以上各部件位于真空內(nèi)部；所述的銅片31與追加工法蘭27焊接固定；所述的螺紋絲杠32一端與上述冷卻筒滑塊21焊接固定，另一端與水冷外筒20連接接口連接，螺紋絲杠32實(shí)際也作為水冷外筒往外排出冷卻水；所述銅螺母28與螺紋絲杠32進(jìn)行螺紋連接，所述的擰把手30套在銅螺母28上，并且通過一根細(xì)小的螺釘與銅螺母28夾緊；所述的塑料片29套在擰把手30上；所述的滑軌33焊接在追加工法蘭27上；所述的滑軌滑塊34與滑軌33間隙配合，滑軌滑塊34便可以在滑軌33上滑動(dòng)；即，擰動(dòng)擰把手30帶動(dòng)銅螺母28與螺紋絲杠32相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)變旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)為直線運(yùn)動(dòng)，原本壓縮后的焊接波紋管25慢慢復(fù)原，冷卻筒滑塊21帶動(dòng)著固定的無氧銅坩堝向前移動(dòng)，達(dá)到換位的目的；

所述的工作電路由：銅棒35、電極法蘭36、燈絲8、燈絲座A12、燈絲座B11、無氧銅坩堝17組成；其中，兩銅棒25一端分別與燈絲座A12和燈絲座B11相連，另一端分別與電極法蘭36預(yù)設(shè)接口相連；所述燈絲8兩端分別固定在燈絲座A12和燈絲座B11的插口處，由外接電源經(jīng)銅棒35、燈絲座給燈絲8作為陰極，且通負(fù)高壓U＝3.5kV，無氧銅坩堝17作為陽極接地。

以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容做出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。