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一種帶觀測(cè)石墨烯薄膜連續(xù)規(guī)?;练e設(shè)備的制作方法

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技術(shù)特征:

1.一種帶觀測(cè)石墨烯薄膜連續(xù)規(guī)?;练e設(shè)備,其特征在于:其結(jié)構(gòu)包括移動(dòng)輪(1)、控制機(jī)體(2)、支撐板(3)、氣相沉積箱(4)、觀測(cè)器(5),所述移動(dòng)輪(1)與控制機(jī)體(2)活動(dòng)連接,所述控制機(jī)體(2)通過(guò)支撐板(3)與氣相沉積箱(4)連接,所述觀測(cè)器(5)通過(guò)控制機(jī)體(2)與氣相沉積箱(4)連接,所述控制機(jī)體(2)包括接電開關(guān)(20)、接電旋鈕(21)、接電頭(22)、表計(jì)(23)、控制開關(guān)(24)、外接頭(25)、調(diào)節(jié)旋鈕(26)、指示燈(27)、按鍵(28),所述接電開關(guān)(20)與控制機(jī)體(2)活動(dòng)連接,所述接電旋鈕(21)設(shè)于控制機(jī)體(2)上,所述控制機(jī)體(2)固定設(shè)有接電頭(22),所述表計(jì)(23)設(shè)于控制機(jī)體(2)上,所述控制機(jī)體(2)固定設(shè)有控制開關(guān)(24),所述外接頭(25)設(shè)于控制機(jī)體(2)上,所述調(diào)節(jié)旋鈕(26)與控制機(jī)體(2)活動(dòng)連接,所述控制機(jī)體(2)固定設(shè)有指示燈(27),所述按鍵(28)設(shè)于控制機(jī)體(2)上,所述氣相沉積箱(4)包括混氣罐(40)、連接管(41)、箱蓋(42),所述混氣罐(40)通過(guò)連接管(41)與氣相沉積箱(4)活動(dòng)連接,所述箱蓋(42)與氣相沉積箱(4)活動(dòng)連接,所述觀測(cè)器(5)包括耐溫?cái)z像頭(50)、顯象器(51)、顯象開關(guān)(52),所述顯象器(51)通過(guò)攝像頭(50)與氣相沉積箱(4)連接,所述觀測(cè)器(5)通過(guò)顯象器(51)與控制機(jī)體(2)連接,所述顯象開關(guān)(52)設(shè)于顯象器(51)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶觀測(cè)石墨烯薄膜連續(xù)規(guī)?;练e設(shè)備,其特征在于:所述混氣罐(40)包括進(jìn)料口(400)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶觀測(cè)石墨烯薄膜連續(xù)規(guī)模化沉積設(shè)備,其特征在于:所述進(jìn)料口(400)設(shè)于混氣罐(40)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶觀測(cè)石墨烯薄膜連續(xù)規(guī)?;练e設(shè)備,其特征在于:所述箱蓋(42)包括把手(420)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種帶觀測(cè)石墨烯薄膜連續(xù)規(guī)?;练e設(shè)備,其特征在于:所述把手(420)設(shè)于箱蓋(42)上。

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