本實(shí)用新型涉及真空濺射鍍膜機(jī)膜厚調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)：

傳統(tǒng)的立式真空濺射鍍膜設(shè)備爐內(nèi)上下膜厚均勻度很難保證其一致，基本是通過(guò)減少裝爐量和只取中間位置來(lái)操作，解決這一難題將會(huì)使成本降低，產(chǎn)能提高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空濺射鍍膜機(jī)膜厚調(diào)節(jié)裝置，其上下膜厚均勻。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是設(shè)計(jì)一種真空濺射鍍膜機(jī)膜厚調(diào)節(jié)裝置，包括立式爐體、若干設(shè)置于所述立式爐體內(nèi)的靶材、垂直設(shè)置于所述立式爐體內(nèi)的中空充氣架，所述中空充氣架的中心線與所述立式爐體的中心線相重合，所述中空充氣架相對(duì)所述立式爐體相轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置，所述中空充氣架由電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述中空充氣架的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有若干正對(duì)所述靶材的出氣孔，所述中空充氣架的兩端閉合，所述中空充氣架通過(guò)送氣管道與氣體控制柜上的氣體調(diào)節(jié)閥相連通，所述送氣管道與所述中空充氣架之間通過(guò)球形接頭相連接。

進(jìn)一步改進(jìn)的是：所述送氣管道上設(shè)置有用于監(jiān)測(cè)氣體充入多少的流量控制閥。

進(jìn)一步改進(jìn)的是：所述中空充氣架的橫截面呈矩形。

進(jìn)一步改進(jìn)的是：所述中空充氣架的上下兩端與所述立式爐體之間通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸承相連接。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于：提供一種真空濺射鍍膜機(jī)膜厚調(diào)節(jié)裝置，其上下分布均勻，充氣穩(wěn)定、效率高、操作方便。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而不能以此來(lái)限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

本實(shí)用新型具體實(shí)施的技術(shù)方案是：

如圖1所示，一種真空濺射鍍膜機(jī)膜厚調(diào)節(jié)裝置，包括立式爐體1、若干設(shè)置于所述立式爐體1內(nèi)的靶材6、垂直設(shè)置于所述立式爐體1內(nèi)的中空充氣架2，所述中空充氣架2的中心線與所述立式爐體1的中心線相重合，所述中空充氣架2相對(duì)所述立式爐體1相轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置，所述中空充氣架2的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有若干正對(duì)所述靶材6的出氣孔3，所述中空充氣架2的兩端閉合，所述中空充氣架2通過(guò)送氣管道與氣體控制柜上的氣體調(diào)節(jié)閥5相連通，所述送氣管道上設(shè)置有用于監(jiān)測(cè)氣體充入多少的流量控制閥4，所述送氣管道與所述中空充氣架2之間通過(guò)球形接頭相連接。

本實(shí)施例中進(jìn)一步優(yōu)化的實(shí)施方式為，所述中空充氣架2的橫截面呈矩形。

本實(shí)施例中進(jìn)一步優(yōu)化的實(shí)施方式為，所述中空充氣架2的上下兩端與所述立式爐體1之間通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸承相連接

通過(guò)多方位出氣孔3進(jìn)入的氬離子轟擊靶材6，得到均勻的膜厚，解決了傳統(tǒng)膜厚上下不均的問(wèn)題。

以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。