技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于三氯化鐵刻蝕液再生的循環(huán)電解裝置，包括：一用于溶解食鹽的溶鹽槽；一用于提供電解食鹽水的鹽水高位槽，鹽水高位槽與溶鹽槽連通；一用于提供稀鹽酸的鹽酸槽；以及一用于通入食鹽水和稀鹽酸在電流的作用下產(chǎn)生電化學反應、Cl?被氧化為Cl2并輸出至三氯化鐵刻蝕液使用的電解槽。本發(fā)明用于三氯化鐵刻蝕液再生的循環(huán)電解裝置，與其他電解裝置相比，減少了廢液的排放(環(huán)境的污染)節(jié)約了處理廢液的成本，確保了刻蝕液中三氯化鐵的穩(wěn)定性，大大減少了廢液的排放，提高了三氯化鐵的使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：曾旭;梁泰頻
受保護的技術(shù)使用者：寧波東盛集成電路元件有限公司;寧波東順電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.17
技術(shù)公布日：2017.08.18