1.一種熱蒸發(fā)制備CdSe薄膜的工藝,其特征在于:第一步,選取襯底材料并對(duì)襯底材料依次進(jìn)行清洗和去除本征氧化物及干燥的處理;第二步,將處理后的襯底材料放入真空腔室的樣品架上固定;第三步,稱量CdSe粉末置于蒸發(fā)源內(nèi);第四步,關(guān)閉真空腔室,對(duì)系統(tǒng)抽真空至1.1×10-4Pa以下;第五步,打開(kāi)樣品架控制按鈕,設(shè)置樣品架轉(zhuǎn)速;第六步,關(guān)閉鍍膜機(jī)真空腔閘板閥,打開(kāi)蒸發(fā)電源開(kāi)關(guān),調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流到設(shè)定值;第七步,蒸鍍計(jì)時(shí)至預(yù)設(shè)時(shí)間,關(guān)閉蒸發(fā)電源開(kāi)關(guān),停止蒸鍍;第八步,打開(kāi)真空腔閘板閥,將腔室內(nèi)為沉積的CdSe分子抽走,關(guān)機(jī)取出樣品;第九步,將制備完成CdSe薄膜樣品置于真空退火爐中進(jìn)行退火后,取出樣品,通過(guò)輔助設(shè)備將樣品進(jìn)行表征。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱蒸發(fā)制備CdSe薄膜的工藝,其特征在于:所述襯底材料為玻璃、石英、硅、鍺。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種熱蒸發(fā)制備CdSe薄膜的工藝,其特征在于:襯底材料的清洗為將襯底材料分別置于去離子水、丙酮和無(wú)水乙醇中超聲清洗。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱蒸發(fā)制備CdSe薄膜的工藝,其特征在于:所述樣品架轉(zhuǎn)速為8r/min至13r/min。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱蒸發(fā)制備CdSe薄膜的工藝,其特征在于:所述蒸發(fā)電流的設(shè)定值為70A至95A。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱蒸發(fā)制備CdSe薄膜的工藝,其特征在于:所述蒸鍍計(jì)時(shí)至預(yù)設(shè)時(shí)間為8分鐘至15分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱蒸發(fā)制備CdSe薄膜的工藝,其特征在于:所述退火時(shí)間為1.5h至2.5h。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱蒸發(fā)制備CdSe薄膜的工藝,其特征在于:所述退火溫度為400℃至600℃。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱蒸發(fā)制備CdSe薄膜的工藝,其特征在于:所述輔助設(shè)備為X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡。