技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種電極帽高溫成型模具，所述電極帽高溫成型模具采用模塊化設(shè)計(jì)，且模塊可拓展，利用定位銷固定連接各個(gè)模塊，拆裝速度快，模塊均采用碳化硅材料，所述電極帽高溫成型模具適用于制造小批量電極帽。本發(fā)明還公開(kāi)了一種電極帽高溫成型方法，所述電極帽高溫成型方法基于所述電極帽高溫成型模具，先將所述電極帽高溫成型模塊組裝密封好后，向模具型腔中加入銅合金粉末，再將模具進(jìn)行加溫，待加熱至銅合金粉末完全融化后，將型芯插入金屬液中，型芯端面與金屬液面持平后固定模具降溫凝固，最后，按順序拆卸模具模塊，取出成形的電極帽即可。制造工藝簡(jiǎn)單，適用于小批量生產(chǎn)，一次成型。

技術(shù)研發(fā)人員：崔立虎;王廣欣;杜勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中科院微電子研究所昆山分所
文檔號(hào)碼：201710018373
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.10
技術(shù)公布日：2017.06.13