技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及碳化硅晶體領(lǐng)域，具體提供了一種碳化硅晶棒A邊定向磨削裝置，該裝置采用V型槽配合橡膠層的方式實(shí)現(xiàn)對碳化硅晶棒的夾持，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，可以節(jié)省定向時(shí)間，提高定向精度。

技術(shù)研發(fā)人員：梁慶瑞;宗艷民;柏文文;劉家朋
受保護(hù)的技術(shù)使用者：山東天岳晶體材料有限公司
文檔號碼：201621403407
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.20
技術(shù)公布日：2017.08.18