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一種碳化硅晶棒A邊定向磨削裝置的制作方法

文檔序號:11477843閱讀:252來源:國知局

本實用新型屬于碳化硅加工機械領域,具體涉及一種碳化硅晶棒A邊定向磨削裝置。



背景技術:

眾所周知,在碳化硅晶棒A定向邊的磨削工序中,首先需要對其定向,在定向過程中,需要用手工轉動晶棒來尋找最佳定向位置,然后將晶棒緊固,但手工轉動晶棒不容易確定定向位置,而且在晶棒緊固時,晶棒容易轉動,從而導致定向不準確,需要從新定向該過程耗費大量的時間,降低了工作效率。



技術實現(xiàn)要素:

本實用新型提供一種碳化硅晶棒A邊定向磨削裝置,該裝置結構簡單,操作方便,可以節(jié)省定向時間,提高定向精度。

針對上述問題本實用新型采用的技術方案為:一種碳化硅晶棒A邊定向磨削裝置,該裝置包括框架和卡盤,所述框架上安裝有支撐板,所述支撐板上固定安裝有減速機和鎖緊裝置,所述減速機和鎖緊裝置通過轉軸、第一轉軸軸套和第二轉軸軸套與卡盤連接,所述減速機和鎖緊裝置上安裝有轉輪,所述卡盤由兩個相對的V型槽組成,卡盤每個V型槽上均設有緊固螺栓,卡盤的V型槽內設有橡膠層,所述橡膠層可在緊固螺栓的作用下水平移動被并鎖緊,其具體實現(xiàn)形式可采用絲杠或其他現(xiàn)有技術實現(xiàn)。

使用時,將晶棒放入卡盤內,用緊固螺栓調整橡膠層的位置并將晶棒夾緊,之后用緊固螺栓將其緊固并鎖緊,防止在定向過程中發(fā)生偏移,定向時轉動轉輪通過減速機和自鎖裝置,帶動卡盤轉動,從而尋找最佳定向位置,當確定最佳位置后對A邊進行磨削。

綜上所述,本實用新型結構簡單,操作方便,不僅節(jié)省了定向時間,提高了定向精度,提高了工作效率,而且由于采用了橡膠層配合緊固螺栓的方式固定晶棒,有效避免了晶棒崩邊現(xiàn)象的產生,保證了產品質量。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖;

圖中,1為框架,2為卡盤,3為轉輪,4為減速機和自鎖裝置,5為第一轉軸軸套,6為轉軸,7為支撐板,8為第二轉軸軸套,9為緊固螺栓,10為橡膠層。

具體實施方式

一種碳化硅晶棒A邊定向磨削裝置,該裝置包括框架1和卡盤2,框架1上安裝有支撐板7,所述支撐板7上固定安裝有減速機和自鎖裝置4,所述減速機和自鎖裝置4通過轉軸6、第一轉軸軸套5和第二轉軸軸套8與卡盤2連接,所述減速機和自鎖裝置4上安裝有轉輪3,所述卡盤2為兩個相對的V型槽組成,卡盤2每個V型槽上均設有緊固螺栓9,卡盤2的V型槽內設有橡膠層10,所述橡膠層10可在緊固螺栓9的作用下水平移動被并鎖緊,所述橡膠層10與緊固螺栓之間可采用絲杠或其他現(xiàn)有技術連接,從而實現(xiàn)橡膠層的水平運動。

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