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旋轉(zhuǎn)吊裝真空鍍膜室的制作方法

文檔序號:11041443閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.旋轉(zhuǎn)吊裝真空鍍膜室,包括真空泵、導(dǎo)氣管、反應(yīng)室、蒸發(fā)源、鍍膜支架、旋轉(zhuǎn)電機(jī),其特征在于真空泵通過導(dǎo)氣管與反應(yīng)室連通,反應(yīng)室中央位置設(shè)置有蒸發(fā)源,鍍膜支架設(shè)置在旋轉(zhuǎn)電機(jī)下方,旋轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)置在反應(yīng)室頂部,鍍膜支架上表面朝上突起,蒸發(fā)源位于鍍膜支架上表面突起的正下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述旋轉(zhuǎn)吊裝真空鍍膜室,其特征在于所述鍍膜支架與旋轉(zhuǎn)電機(jī)之間為鋼性連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述旋轉(zhuǎn)吊裝真空鍍膜室,其特征在于所述鍍膜支架通過三根支柱鋼性連接在旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出端上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述旋轉(zhuǎn)吊裝真空鍍膜室,其特征在于所述鍍膜支架頂部呈圓形。

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