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一種坩堝和蒸發(fā)裝置的制作方法

文檔序號(hào):12521233閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種坩堝,包括一端設(shè)有開口的堝體,所述堝體的內(nèi)部具有與所述開口連通的腔體;其特征在于,

沿所述堝體的延伸方向,靠近所述開口的所述腔體內(nèi)設(shè)有間隔分布的至少兩個(gè)隔板;所述至少兩個(gè)隔板中,每個(gè)隔板設(shè)有貫穿其厚度的至少一個(gè)第一通孔,每相鄰的兩個(gè)隔板的第一通孔呈交錯(cuò)分布。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坩堝,其特征在于,所述至少兩個(gè)隔板相互平行設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的坩堝,其特征在于,所述至少兩個(gè)隔板為一體式結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坩堝,其特征在于,還包括位于所述腔體內(nèi)底部的陶瓷碎片和用于將所述陶瓷碎片保持在所述腔體內(nèi)底部的擋板,所述擋板位于所述陶瓷碎片和所述至少兩個(gè)隔板中背離所述開口的隔板之間,所述擋板設(shè)有貫穿其厚度的多個(gè)第二通孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的坩堝,其特征在于,所述多個(gè)第二通孔中,每個(gè)第二通孔的最大孔徑小于所述陶瓷碎片的最小粒徑。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的坩堝,其特征在于,所述每個(gè)隔板為由熱解氮化硼或氮化鋁制成的隔板;所述擋板為由熱解氮化硼或氮化鋁制成的擋板;所述陶瓷碎片為由熱解氮化硼或氮化鋁制成的陶瓷碎片。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坩堝,其特征在于,還包括設(shè)置于所述開口的蓋板,所述蓋板的厚度方向與所述堝體的延伸方向平行,所述蓋板設(shè)有貫穿其厚度的至少一個(gè)第三通孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的坩堝,其特征在于,所述堝體由可拆卸連接的下部堝體和上部堝體構(gòu)成,所述開口位于所述上部堝體背離所述下部堝體的一端,所述至少兩個(gè)隔板設(shè)置于所述上部堝體內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的坩堝,其特征在于,所述下部堝體和上部堝體之間通過螺紋連接。

10.一種蒸發(fā)裝置,包括加熱裝置,其特征在于,還包括如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的坩堝。

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