本實(shí)用新型涉及鍍膜機(jī)的清洗技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種真空鍍膜機(jī)的清洗機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

真空工藝進(jìn)行前應(yīng)清洗系統(tǒng)材料表面清除污染物；一般情況下通過吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸析和干燥過程、機(jī)械處理以及擴(kuò)散和離析過程都使反應(yīng)室腔壁、靶源表面使污染物增加，久而久之，襯壁的膜層就會(huì)越來越厚。由于在真空管的鍍膜過程中還參與了反應(yīng)濺射。反應(yīng)濺射的產(chǎn)物附著在襯壁上，這樣的膜層會(huì)降低原子向殼體運(yùn)動(dòng)的速度及能力。我們?cè)谏a(chǎn)過程中，會(huì)常遇到起靶困難的現(xiàn)象，就是這個(gè)原因。如果想順利起靶，要么提高本底真空度，這樣會(huì)花費(fèi)較長的時(shí)間，要么就需要清理膜層影響真空鍍膜的反應(yīng)效率和質(zhì)量，現(xiàn)今的清潔去污方法大多數(shù)用人手，通過佩戴裝備，進(jìn)行酸洗清潔，不但效率低，而且對(duì)人身安全造成很大隱患。

故有必要對(duì)現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的清洗機(jī)構(gòu)進(jìn)行進(jìn)一步地技術(shù)革新。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷和不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理、使用方便的真空鍍膜機(jī)的清洗機(jī)構(gòu)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：

本實(shí)用新型所述的一種真空鍍膜機(jī)的清洗機(jī)構(gòu)，它包括有清洗劑桶、進(jìn)液體管、真空反應(yīng)室、陽極靶源、真空管、抽真空機(jī)、排液門、錐形漏斗和排液管；所述陽極靶源設(shè)置在真空反應(yīng)室的內(nèi)腔頂部；所述真空管的出風(fēng)端與抽真空機(jī)相接通；真空管的進(jìn)風(fēng)端與真空反應(yīng)室的內(nèi)腔相連通；所述進(jìn)液體管一端與清洗劑桶相接通；進(jìn)液體管另一端與真空反應(yīng)室相連通；所述進(jìn)液體管上分別設(shè)置有抽液泵和進(jìn)液截止閥；所述進(jìn)液截止閥設(shè)置在進(jìn)液體管的出口端；所述真空反應(yīng)室的外壁設(shè)置有電機(jī)支架；所述電機(jī)支架上設(shè)置有電機(jī)；所述電機(jī)的轉(zhuǎn)軸端伸入到真空反應(yīng)室的內(nèi)腔；所述電機(jī)的轉(zhuǎn)軸末端設(shè)置有攪拌槳；所述真空管的進(jìn)風(fēng)端設(shè)置有真空泵截止閥；所述真空反應(yīng)室的底部呈開口狀；所述排液門鉸接在真空反應(yīng)室的內(nèi)壁底部；所述排液門的上表面設(shè)置有陰極靶座；所述真空反應(yīng)室的頂部設(shè)置有氣缸；所述氣缸的伸縮軸端伸入到真空反應(yīng)室的內(nèi)腔后與排液門的上表面相固定連接；所述錐形漏斗的上端呈開狀；所述錐形漏斗與真空反應(yīng)室之間設(shè)置有密封環(huán)；所述排液門的下表面抵壓在密封環(huán)的上表面；所述錐形漏斗的底端與排液管一端相連通；所述排液管另一端清洗劑桶相接通；所述排液管上連接有排液泵。

進(jìn)一步地，所述真空管的進(jìn)風(fēng)端水平高度低于真空管的出風(fēng)端水平高度。

采用上述結(jié)構(gòu)后，本實(shí)用新型有益效果為：本實(shí)用新型所述的一種真空鍍膜機(jī)的清洗機(jī)構(gòu)，它包括有清洗劑桶、進(jìn)液體管、真空反應(yīng)室、陽極靶源、真空管、抽真空機(jī)、排液門、錐形漏斗和排液管；所述陽極靶源設(shè)置在真空反應(yīng)室的內(nèi)腔頂部；所述真空管的出風(fēng)端與抽真空機(jī)相接通；真空管的進(jìn)風(fēng)端與真空反應(yīng)室的內(nèi)腔相連通；所述進(jìn)液體管一端與清洗劑桶相接通；進(jìn)液體管另一端與真空反應(yīng)室相連通；所述進(jìn)液體管上分別設(shè)置有抽液泵和進(jìn)液截止閥；所述進(jìn)液截止閥設(shè)置在進(jìn)液體管的出口端；所述真空反應(yīng)室的外壁設(shè)置有電機(jī)支架；所述電機(jī)支架上設(shè)置有電機(jī)；所述電機(jī)的轉(zhuǎn)軸端伸入到真空反應(yīng)室的內(nèi)腔；所述電機(jī)的轉(zhuǎn)軸末端設(shè)置有攪拌槳；所述真空管的進(jìn)風(fēng)端設(shè)置有真空泵截止閥；所述真空反應(yīng)室的底部呈開口狀；所述排液門鉸接在真空反應(yīng)室的內(nèi)壁底部；所述排液門的上表面設(shè)置有陰極靶座；所述真空反應(yīng)室的頂部設(shè)置有氣缸；所述氣缸的伸縮軸端伸入到真空反應(yīng)室的內(nèi)腔后與排液門的上表面相固定連接；所述錐形漏斗的上端呈開狀；所述錐形漏斗與真空反應(yīng)室之間設(shè)置有密封環(huán)；所述排液門的下表面抵壓在密封環(huán)的上表面；所述錐形漏斗的底端與排液管一端相連通；所述排液管另一端清洗劑桶相接通；所述排液管上連接有排液泵。在使用本實(shí)用新型時(shí)，當(dāng)需要對(duì)真空反應(yīng)室的內(nèi)腔、陽極靶源和陰極靶座進(jìn)行清潔時(shí)，氣缸往下頂使排液門緊壓在密封環(huán)上，進(jìn)液截止閥打開，真空泵截止閥關(guān)閉，注入清洗劑，用電機(jī)進(jìn)行攪拌，使清洗劑與真空反應(yīng)室的內(nèi)腔、陽極靶源和陰極靶座充分接觸反應(yīng)；反應(yīng)后關(guān)閉進(jìn)液截止閥，氣缸往上拉使排液門離開密封環(huán)，通過排液泵把清洗劑排出，此過程不需要人體接觸到真空反應(yīng)室的內(nèi)腔，清潔效率快，降低操作的危險(xiǎn)性。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)置合理，制作成本低等優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖標(biāo)記說明：

1、清洗劑桶；2、進(jìn)液體管；3、抽液泵；4、真空反應(yīng)室；

4-1、電機(jī)支架；5、電機(jī)；6、進(jìn)液截止閥；7、陽極靶源；8、氣缸；

9、真空泵截止閥；10、真空管；11、抽真空機(jī)；12、陰極靶座；

13、排液門；14、錐形漏斗；14-1、密封環(huán)；15、排液泵；16、排液管。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。

如圖1所示，本實(shí)用新型所述的一種真空鍍膜機(jī)的清洗機(jī)構(gòu)，它包括有清洗劑桶1、進(jìn)液體管2、真空反應(yīng)室4、陽極靶源7、真空管10、抽真空機(jī)11、排液門13、錐形漏斗14和排液管16；所述陽極靶源7設(shè)置在真空反應(yīng)室4的內(nèi)腔頂部；所述真空管10的出風(fēng)端與抽真空機(jī)11相接通；真空管10的進(jìn)風(fēng)端與真空反應(yīng)室4的內(nèi)腔相連通；所述進(jìn)液體管2一端與清洗劑桶1相接通；該清洗劑為酸性或者堿性液體；進(jìn)液體管2另一端與真空反應(yīng)室4相連通；所述進(jìn)液體管2上分別設(shè)置有抽液泵3和進(jìn)液截止閥6；所述進(jìn)液截止閥6設(shè)置在進(jìn)液體管2的出口端；所述真空反應(yīng)室4的外壁設(shè)置有電機(jī)支架4-1；所述電機(jī)支架4-1上設(shè)置有電機(jī)5；所述電機(jī)5的轉(zhuǎn)軸端伸入到真空反應(yīng)室4的內(nèi)腔；所述電機(jī)5的轉(zhuǎn)軸末端設(shè)置有攪拌槳；攪拌槳用作攪拌真空反應(yīng)室4內(nèi)的清洗劑；使清洗劑與真空反應(yīng)室4的內(nèi)腔、陽極靶源7和陰極靶座12充分接觸；所述真空管10的進(jìn)風(fēng)端設(shè)置有真空泵截止閥9；防止清洗劑流入抽真空機(jī)11內(nèi)，損壞抽真空機(jī)11；所述真空反應(yīng)室4的底部呈開口狀；所述排液門13鉸接在真空反應(yīng)室4的內(nèi)壁底部；所述排液門13的上表面設(shè)置有陰極靶座12；所述真空反應(yīng)室4的頂部設(shè)置有氣缸8；所述氣缸8的伸縮軸端伸入到真空反應(yīng)室4的內(nèi)腔后與排液門13的上表面相固定連接；當(dāng)真空反應(yīng)室4需要注入清洗劑時(shí)候，排液門13是關(guān)閉的，當(dāng)真空反應(yīng)室4需要排開清洗劑時(shí)候，排液門13是打開的；都是利用氣缸8推、拉排液門13實(shí)施的；所述錐形漏斗14的上端呈開狀；所述錐形漏斗14與真空反應(yīng)室4之間設(shè)置有密封環(huán)14-1；所述排液門13的下表面抵壓在密封環(huán)14-1的上表面；所述錐形漏斗14的底端與排液管16一端相連通；所述排液管16另一端清洗劑桶1相接通；所述排液管16上連接有排液泵15。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方式；所述真空管10的進(jìn)風(fēng)端水平高度低于真空管10的出風(fēng)端水平高度，在排液時(shí)候，使真空管10內(nèi)的清洗劑能順利排出。

在使用本實(shí)用新型時(shí)，當(dāng)需要對(duì)真空反應(yīng)室的內(nèi)腔、陽極靶源和陰極靶座進(jìn)行清潔時(shí)，氣缸往下頂使排液門緊壓在密封環(huán)上，進(jìn)液截止閥打開，真空泵截止閥關(guān)閉，注入清洗劑，用電機(jī)進(jìn)行攪拌，使清洗劑與真空反應(yīng)室的內(nèi)腔、陽極靶源和陰極靶座充分接觸反應(yīng)；反應(yīng)后關(guān)閉進(jìn)液截止閥，氣缸往上拉使排液門離開密封環(huán)，通過排液泵把清洗劑排出，此過程不需要人體接觸到真空反應(yīng)室的內(nèi)腔，清潔效率快，而且降低操作的危險(xiǎn)性。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)置合理，制作成本低等優(yōu)點(diǎn)。另外，該結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計(jì)合理，制造成本低。

以上所述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，故凡依本實(shí)用新型專利申請(qǐng)范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本實(shí)用新型專利申請(qǐng)范圍內(nèi)。