應(yīng)用于多晶硅電子束熔煉的水冷銅坩堝的制作方法
【專利摘要】本實用新型屬于多晶硅提純領(lǐng)域,具體涉及一種應(yīng)用于多晶硅電子束熔煉的水冷銅坩堝,包括堝體和底座,堝體底部通過連接件與底座固定連接,堝體與底座之間沿堝體外壁形成空腔,該空腔下端兩側(cè)設(shè)置有進水口,上端兩側(cè)設(shè)置有出水口,其特征在于位于空腔內(nèi)的進水口處均設(shè)置有擋板,擋板與進水口成30~60度角,且兩擋板互相平行。本實用新型所具有的有益效果是:通過簡單的結(jié)構(gòu)改造,只需要在水冷銅坩堝的空腔內(nèi)設(shè)置擋板,即可實現(xiàn)冷卻水在空腔內(nèi)形成渦流流動,大大提高散熱效果,保證了對水冷銅坩堝的降溫保護。
【專利說明】應(yīng)用于多晶硅電子束熔煉的水冷銅坩堝
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于多晶硅提純領(lǐng)域,具體涉及一種應(yīng)用于多晶硅電子束熔煉的水冷銅坩堝。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能級多晶硅材料是最主要的光伏材料,它應(yīng)用于太陽能電池,可以將太陽能轉(zhuǎn)化為電能,在常規(guī)能源緊缺的今天,太陽能具有巨大的應(yīng)用價值,近年來,全球太陽能光伏產(chǎn)業(yè)迅速增長,太陽能電池產(chǎn)量快速增加,直接拉動了多晶硅需求的急劇膨脹。但太陽能級多晶硅材料高昂的制造成本以及復(fù)雜的制造工藝是制約光伏產(chǎn)業(yè)大發(fā)展的瓶頸,嚴重阻礙了我國太陽能電池的推廣和使用。我國能夠自主生產(chǎn)的太陽能級多晶硅不足需求的5%,絕大部分原材料需要進口,開發(fā)適合我國國情的太陽能級多晶硅制備技術(shù)符合國家能源戰(zhàn)略的要求,是我國光伏產(chǎn)業(yè)大發(fā)展的必由之路。
[0003]為此,世界各國都在積極開發(fā)具有生產(chǎn)周期短、污染小、成本低、工藝相對簡單、規(guī)模大小可控的制備高純硅材料的新工藝方法,而冶金法由于具備以上優(yōu)點,被認為是最能有效地降低多晶硅生產(chǎn)成本的技術(shù)之一,目前已成為世界各國競相研發(fā)的熱點。電子束熔煉技術(shù)是冶金法制備太陽能級多晶硅中重要的方法之一,它是利用高能量密度的電子束作為熔煉熱源的工藝方法,通過熔化塊體硅料形成熔池后,在電子束產(chǎn)生的高溫下,利用表面蒸發(fā)效應(yīng),有效去除飽和蒸汽壓較高的雜質(zhì),如磷,鋁等。
[0004]電子束熔煉硅料采用的載體一般為水冷銅坩堝,即銅坩堝內(nèi)通入有循環(huán)冷卻水,用于對銅坩堝的降溫保護。水冷銅坩堝的結(jié)構(gòu)一般為下端進水,上端出水,使水流自下而上循環(huán),當(dāng)水流在水冷銅坩堝內(nèi)流動性越好,則降溫保護的效果越好。目前,已有技術(shù)在水冷銅坩堝內(nèi)加設(shè)螺旋管道,使水流在螺旋管道內(nèi)流動,但此種方式要求前期制作工藝復(fù)雜,一體成型要求度高,水冷銅坩堝的制作成本也大大增加。
實用新型內(nèi)容
[0005]根據(jù)以上現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實用新型提出一種應(yīng)用于多晶硅電子束熔煉的水冷銅坩堝,通過簡單的結(jié)構(gòu)改造,以此增加水流在水冷銅坩堝內(nèi)的流動性,提高降溫保護的效
果O
[0006]本實用新型所述的一種應(yīng)用于多晶硅電子束熔煉的水冷銅坩堝,包括堝體和底座,堝體底部通過連接件與底座固定連接,堝體與底座之間沿堝體外壁形成空腔,該空腔下端兩側(cè)設(shè)置有進水口,上端兩側(cè)設(shè)置有出水口,位于空腔內(nèi)的進水口處均設(shè)置有擋板,擋板與進水口成30?60度角,且兩擋板互相平行。
[0007]其中,該堝體的熔煉區(qū)優(yōu)選為圓柱形結(jié)構(gòu),也可以為圓臺形結(jié)構(gòu),且上部直徑大于底部直徑。對于本實用新型來說,更加優(yōu)選采用圓臺形結(jié)構(gòu),一是增大冷卻水與熔煉區(qū)外壁的接觸面積,提高散熱效果,二是由于圓臺形結(jié)構(gòu)的上部直徑大于底部直徑,電子束只掃射上部表面,因此增大了電子束掃射的面積,提高了電子束熔煉提純的效果。[0008]本實用新型中在空腔內(nèi)的進水口處均設(shè)置有擋板,進入的冷卻水與擋板接觸后,由于擋板與進水口之間有夾角,因此冷卻水會沿夾角方向流動,與對面進水口進入的冷卻水形成渦流,從而大大增加了流動性,提高了散熱效果。
[0009]本實用新型所具有的有益效果是:通過簡單的結(jié)構(gòu)改造,只需要在水冷銅坩堝的空腔內(nèi)設(shè)置擋板,即可實現(xiàn)冷卻水在空腔內(nèi)形成渦流流動,大大提高散熱效果,保證了對水冷銅坩堝的降溫保護。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0011]圖2為圖1中的A-A視圖;
[0012]圖中:1、堝體2、底座3、進水口 4、出水口 5、擋板。
【具體實施方式】
[0013]以下結(jié)合實施例和附圖對本實用新型做進一步描述。
[0014]實施例1:
[0015]如圖1和圖2所示,一種應(yīng)用于多晶硅電子束熔煉的水冷銅坩堝,包括堝體I和底座2,堝體I底部通過連接件與底座2固定連接,堝體I與底座2之間沿堝體I外壁形成空腔,該空腔下端兩側(cè)設(shè)置有進水口 3,上端兩側(cè)設(shè)置有出水口 4,位于空腔內(nèi)的進水口 3處均設(shè)置有擋板5,擋板5與進水口 3成30?60度角,且兩擋板5互相平行。
[0016]其中,該堝體I的熔煉區(qū)采用圓臺形結(jié)構(gòu),一是增大冷卻水與熔煉區(qū)外壁的接觸面積,提高散熱效果,二是由于圓臺形結(jié)構(gòu)的上部直徑大于底部直徑,電子束只掃射上部表面,因此增大了電子束掃射的面積,提高了電子束熔煉提純的效果。
[0017]在空腔內(nèi)的進水口 3處均設(shè)置有擋板5,進入的冷卻水與擋板5接觸后,由于擋板5與進水口 3之間有夾角,因此冷卻水會沿夾角方向流動,與對面進水口 3進入的冷卻水形成渦流,從而大大增加了流動性,提高了散熱效果。
[0018]通過簡單的結(jié)構(gòu)改造,只需要在水冷銅坩堝的空腔內(nèi)設(shè)置擋板5,即可實現(xiàn)冷卻水在空腔內(nèi)形成渦流流動,大大提高散熱效果,保證了對水冷銅坩堝的降溫保護。
【權(quán)利要求】
1.一種應(yīng)用于多晶硅電子束熔煉的水冷銅坩堝,包括堝體和底座,堝體底部通過連接件與底座固定連接,堝體與底座之間沿堝體外壁形成空腔,該空腔下端兩側(cè)設(shè)置有進水口,上端兩側(cè)設(shè)置有出水口,其特征在于位于空腔內(nèi)的進水口處均設(shè)置有擋板,擋板與進水口成30?60度角,且兩擋板互相平行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于多晶硅電子束熔煉的水冷銅坩堝,其特征在于該堝體的熔煉區(qū)為圓柱形結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于多晶硅電子束熔煉的水冷銅坩堝,其特征在于該堝體的熔煉區(qū)為圓臺形結(jié)構(gòu),且上部直徑大于底部直徑。
【文檔編號】C01B33/037GK203392869SQ201320498035
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年8月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月15日
【發(fā)明者】譚毅, 袁濤, 劉子成, 陳磊, 溫書濤 申請人:青島隆盛晶硅科技有限公司