本申請涉及磁控濺射鍍膜技術領域，尤其涉及一種工件裝夾夾具。

背景技術：
隨著人們生活水平的不斷提高,越來越多的鍍膜產(chǎn)品被廣泛的應用，而與之相應的真空鍍膜設備的制造也在鍍膜技術的提升中變得愈加的重要。磁控濺射鍍膜就是其中一種被廣泛應用的鍍膜技術，其原理是利用電子在電場的作用下加速飛向基材的過程中與濺射氣體氬氣碰撞，電離出大量的氬離子和電子，電子飛向基材薄膜，在此過程中不斷地與氬原子碰撞，產(chǎn)生更多的氬原子和電子；氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶材原子(或分子)沉積在基材表面的鍍膜技術。磁控濺射鍍膜是當前廣泛應用的鍍膜技術方法，被普遍應用于光學、微電子、耐磨、耐蝕、裝飾等產(chǎn)業(yè)領域，用以提供可靠而穩(wěn)定的薄膜鍍層。如裝飾用彩色鍍膜，手機殼鍍膜，建筑玻璃low-E鍍膜，透明導電玻璃鍍膜等。被鍍膜的基片或工件，通常是玻璃，金屬殼，亞克立，PET(聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂，poly(ethyleneterephthalate))膜等，被放置在夾具上，再安放在可移動的基片架上，由基片架自動帶入磁控濺射鍍膜室內(nèi)進行鍍膜。由于真空成膜技術特點，復雜工件表面濺射成膜工藝在膜厚的控制，均勻性和與工件的結合力表現(xiàn)得比較困難和復雜。隨著機械制造業(yè)的快速發(fā)展，工件表面鍍膜技術的應用范圍，由刀具擴大到精密沖壓模具、航天航空部件及電子配件插件。新的高性能膜層不斷出現(xiàn)，如TiAlCN(氰化鋁鈦)、AlCrN(氮化鉻鋁)、TiSiN(氮化硅鈦)、類金剛石等，提高了工模具的使用壽命和加工效率。對復雜工件表面磁控濺射鍍膜技術的研究顯得尤為重要目前，使用磁控濺射在平面基材或工件表面鍍膜的技術和工藝已經(jīng)相當廣泛和成熟了。對于磁控濺射鍍膜，平面基材裝夾方式一般可分為立式、臥式、圓桶式等幾種方法。并且對平面基材的裝夾方式的研究也十分廣泛。例如磁控濺射立式鍍膜夾具，提高了鍍膜夾具的通用性，可以用在不同尺寸大小基片的鍍膜中，在一定程度上減少了專用夾具制作費用。再例如某種固定夾具，在一定程度上也實現(xiàn)靶基距的距離的變化，實現(xiàn)調(diào)節(jié)靶基距的目的，提高了鍍膜效率?，F(xiàn)有技術中也有對異形工件裝夾方式的研究，但也通常只能裝夾單個的異形工件。例如一種基于磁控濺射技術的鋼球鍍膜夾具裝置。該裝置可以在一定程度上解決鋼球鍍膜時表面鍍膜不均衡的問題，從而提高鋼球的機械性能和表面均勻性。但是，該裝置的適用性較低，對于其它類型的異形工件可能不適用。因此，設計一種適用性強并且可同時裝夾不同工件的磁控濺射異形工件鍍膜的裝夾夾具，對提高磁控濺射異形工件鍍膜的效率、較低成本具有十分重要的意義。

技術實現(xiàn)要素：
本實用新型了提供了一種工件裝夾夾具，以解決現(xiàn)有技術不能同時裝夾不同類型的工件的技術問題。為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種工件裝夾夾具，包括：底座，位于濺鍍室的腔室底部，所述濺鍍室的側壁設置靶材；所述底座上設置了N個第一固定孔；每個第一固定孔和所述底座的中心的距離相等；N≥2且為正整數(shù)；N個固定軸，和所述N個第一固定孔對應，每個固定軸通過各自的第一固定孔連接所述底座；M個工件裝夾板，位于相鄰兩個固定軸之間，每個工件裝夾板上設置有P個工件裝夾孔，所述P個工件裝夾孔安裝至少兩種不同類型的工件；其中，M為正整數(shù)，P≥2且為正整數(shù)；傳動軸，位于所述底座和所述濺鍍室的腔室底部之間；所述傳動軸固定連接所述底座，所述傳動軸由驅動電機驅動運轉，進而帶動所述底座旋轉。優(yōu)選的，所述工件裝夾夾具還包括：頂蓋，和所述底座對應；所述頂蓋上設置了N個第二固定孔，每個第二固定孔和各自對應的第一固定孔配合，將各自的固定軸固定在所述頂蓋和所述底座之間。優(yōu)選的，所述第一固定孔和所述第二固定孔都為螺紋孔；每個固定軸的兩端都設置有和所述螺紋孔對應的螺紋。優(yōu)選的，每個工件裝夾板上設置有銷子，每個固定軸上設置有對應的銷孔；通過所述銷子和所述銷孔的配合，使得每個工件裝夾板處于相鄰兩個固定軸之間。優(yōu)選的，相鄰兩個固定軸的距離和所述靶材的寬度相等。優(yōu)選的，每個工件裝夾孔內(nèi)設置有夾緊裝置。優(yōu)選的，所述夾緊裝置包括：彈珠和彈簧；所述彈珠處于對應的工件裝夾孔的孔內(nèi)側壁上開設的孔道內(nèi)，所述孔道的開口處的直徑小于所述彈珠的直徑；所述彈簧的一端和所述彈珠連接，所述彈簧的另一端固定在所述工件裝夾孔內(nèi)的側壁上的孔道底部。優(yōu)選的，所述頂蓋為圓形頂蓋；所述底座為圓形底座。優(yōu)選的，在所述M個工件裝夾板中，每個工件裝夾板的尺寸、形狀可以相同也可以不同。通過本實用新型的一個或者多個技術方案，本實用新型具有以下有益效果或者優(yōu)點：本實用新型公開了一種工件裝夾夾具，包括位于濺鍍室的腔室底部的底座、底座上的固定軸、處于相鄰兩個固定軸之間的工件裝夾板、工件裝夾板上設置的工件裝夾孔、位于所述底座和所述濺鍍室的腔室底部之間的傳動軸；由于每個工件裝夾板上的工件裝夾孔可同時裝夾至少兩種不同類型的工件，因此能夠同時濺鍍不同類型的工件，提高濺鍍的效率。附圖說明圖1為本實用新型實施例中工件裝夾夾具的正視圖；圖2為本實用新型實施例中工件裝夾夾具的俯視圖；圖3為本實用新型實施例中底座的結構示意圖；圖4為本實用新型實施例中工件裝夾板的結構示意圖。附圖標記說明：濺鍍室1、靶材2、底座3、固定軸4、頂蓋5、工件裝夾板6、工件裝夾孔7、傳動軸8、第一固定孔9。具體實施方式為了使本申請所屬技術領域中的技術人員更清楚地理解本申請，下面結合附圖，通過具體實施例對本申請技術方案作詳細描述。在本實用新型實施例中，公開了一種工件裝夾夾具，主要用來裝夾工件，例如待鍍膜基片。當然，工件也可為異形工件，異形工件就是指形狀不規(guī)則的工件，例如半球形的待鍍膜基片。下面請參看圖1-圖2，是本實用新型的工件裝夾夾具的結構示意圖。在濺鍍室1的側壁上設置有靶材2，而工件裝夾夾具位于濺鍍室1的腔體中心，并且工件裝夾夾具和側壁上的每個靶材2的距離一致，如此設計可保證濺鍍的均勻性和濺鍍質量。在本實用新型的實施例中，工件裝夾夾具包括：底座3、頂蓋5、處于頂蓋5和底座3之間的固定軸4、處于相鄰兩個固定軸4之間的工件裝夾板6、工件裝夾板6上設置的工件裝夾孔7。下面具體介紹各個部件。底座3，位于濺鍍室1的腔室底部。底座3的形狀可以是圓形，參看圖3，而尺寸大小可根據(jù)需要定制，選擇不同尺寸的底座3就可以實現(xiàn)靶基距(靶材2到待鍍膜基片(即：工件)的距離)的調(diào)整，從而提高鍍膜效率和鍍膜質量。另外，和底座3對應的是頂蓋5，即：底座3的尺寸形狀和頂蓋5的尺寸形狀一致。若頂蓋5為圓形頂蓋，那么所述底座3為圓形底座。在底座3上設置了N個第一固定孔9；每個第一固定孔9和所述底座3的中心的距離相等。每個第一固定孔9可以穩(wěn)固安裝一根固定軸4。由于固定一個工件裝夾板6需要兩個固定軸4，因此第一固定孔9的數(shù)量最少為2個，最大數(shù)目不限制。即：N≥2且為正整數(shù)。若固定軸4的數(shù)量為至少3根，則對應的第一固定孔9可沿底座3呈圓周分布。如圖1所示，固定軸4在底座3形成的是八邊形。若固定軸4的數(shù)量越多，則對應的第一固定孔9排布越接近圓形。在頂蓋5上設置了N個第二固定孔，每個第二固定孔和各自對應的第一固定孔9配合，將各自的固定軸4固定在所述頂蓋5和所述底座3之間。因此，第二固定孔的數(shù)目和第一固定孔9的數(shù)目一致。另外，底座3可由傳動軸8帶動旋轉。傳動軸8，位于所述底座3和所述濺鍍室1的腔室底部之間；所述傳動軸8固定連接所述底座3，所述傳動軸8由驅動電機驅動運轉，進而帶動所述底座3旋轉。具體來說，在濺鍍室1的腔室底部利用動密封原理引入驅動電機和傳動軸8，在驅動電機的驅動下，該傳動軸8可做精確的旋轉。傳動軸8穿過底座3的中心，并且在穿過處以上下螺帽的形式形成穩(wěn)固連接，穿過之后以螺接、焊接等等方式和頂蓋5固定連接，對于固定的方式以實際情況為準，本實用新型不再贅述。所述傳動軸8由驅動電機驅動運轉，進而帶動所述底座3旋轉。在濺射鍍膜時，通過所述傳動軸8、所述底座3的旋轉，帶動處于所述P個工件裝夾板6上的所述至少兩種不同類型的工件進行旋轉，通過濺鍍室1內(nèi)的氣體分子撞擊靶材2，使靶材2原子或者分子濺射到所述至少兩種不同類型的工件表面進行鍍膜，進而同時對所述不同類型的工件進行鍍膜，而由于每個工件裝夾板6距離靶材2的距離一致，因此能夠保證鍍膜的均勻性。N個固定軸4，和所述N個第一固定孔9對應。固定軸4的數(shù)目和第一固定孔9的數(shù)目一致。每個固定軸4通過各自的第一固定孔9連接所述底座3。在頂蓋5設置有和第一固定孔9對應的第二固定孔的情況下，每個固定軸4的兩端插入第一固定孔9和第二固定孔之間。在另一種可能的實施例中，所述第一固定孔9和所述第二固定孔都為螺紋孔；而每個固定軸4的兩端都設置有和所述螺紋孔對應的螺紋，因此每個固定軸4螺接在所述頂蓋5和所述底座3之間。而關于固定軸4的形狀，本實用新型是不做限制的。例如，固定軸4的中間部分可為任意幾何形狀，包括圓柱形、長條型、長條矩形、棱柱形等等，便于工件裝夾板6的固定。M個工件裝夾板6，處于相鄰兩個固定軸4之間。其中，M為正整數(shù)，即：本實用新型的工件裝夾板6至少為一塊。工件裝夾板6的結構示意圖參看圖4。而在每個工件裝夾板6上，設置有P個工件裝夾孔7，P≥2且為正整數(shù)。本實用新型的P個工件裝夾孔7至少能夠安裝兩種不同類型的工件，濺鍍時，可同時對至少兩種不同類型的工件進行濺鍍。本實用新型的工件裝夾孔7的數(shù)目最少為2個，最大數(shù)目不限制，只要每個工件裝夾板6能容納即可。在M個工件裝夾板6安裝時，每個工件裝夾板6上設置有銷子，每個固定軸4上設置有對應的銷孔；通過所述銷子和所述銷孔的配合，使得每個工件裝夾板6處于相鄰兩個固定軸4之間。具體來說，在每一根固定軸4上均設置有4個大小相同的銷孔，其中2個銷孔位于固定軸4中間無螺紋部分的上端，另外兩個銷孔位于固定軸4中間無螺紋部分的下端。這些銷孔用于固定工件裝夾板6，每個工件裝夾板6上都設置有銷子，通過銷子和銷孔的配合將工件裝夾板6固定在相鄰兩個固定軸4之間，拆卸時只需取下工件裝夾板6即可，裝卸極為方便。當然，如果只有兩根固定軸4來固定工件裝夾板6，那么每個固定軸4的兩端可分別設置一個銷孔，用來和工件裝夾板6銷接。工件裝夾板6的尺寸根據(jù)相鄰兩個固定軸4組合而定，而每個工件裝夾板6上都有多個工件裝夾孔7，每個工件裝夾板6上的所有工件裝夾孔7的排列形狀是不定的，例如工件裝夾孔7可以排列為多個同心圓形，也可以排列成矩陣形狀，還可以排列為波浪狀等等。在一種可能的實施例中，工件裝夾板6為矩形，其上設置大量的工件裝夾孔7，工件裝夾孔7的數(shù)目可以根據(jù)工件裝夾板6的容納度、工件的數(shù)量、類型、尺寸等等綜合確定。另外，每個工件裝夾孔7中設置了夾緊裝置，用于裝夾兩種不同類型的工件。具體來說，夾緊裝置中設置有彈珠和彈簧。所述夾緊裝置包括：彈珠和彈簧。彈珠可包括鋼珠。工件裝夾孔6的孔內(nèi)側壁上開設有孔道。所述彈珠處于對應的工件裝夾孔6的孔內(nèi)側壁上開設的孔道內(nèi)，所述孔道的開口處的直徑小于所述彈珠的直徑；所述彈簧的一端和所述彈珠連接，所述彈簧的另一端固定在所述工件裝夾孔內(nèi)的側壁上的孔道底部。在裝夾工件時(例如半球形工件)，將半球形工件工件放入工件裝夾孔7內(nèi)，通過彈簧的彈力將彈珠頂在所述半球形工件的凹處，使半球形工件的凸起部分從工件裝夾孔7內(nèi)頂出，其余部分卡在工件裝夾孔7內(nèi)進行固定。根據(jù)所需鍍膜的工件的類型、形狀、尺寸等等，這些工件裝夾孔7可設置為圓形、方形或者其它形狀，以及可設置成不同的大小尺寸。該工件裝夾板6易于加工，尺寸可標準化。而根據(jù)不同的工件，可定制不同的工件裝夾孔7，且裝夾數(shù)量多，能夠適用于不同形狀和不同大小的工件。即：在同一塊工件裝夾板6中，每個工件裝夾孔7的形狀、尺寸可不同。因此，每個工件裝夾孔7可安裝不同類型的工件。另外，工件裝夾板7也可定制。靶材2，位于所述濺鍍室1的側壁上。在一種可能的實施方式中，相鄰兩個固定軸4的距離和所述靶材2的寬度相等。如此設計，能夠保證鍍膜的均勻性，提高鍍膜的質量。由于固定軸4、工件裝夾板6的數(shù)目都是不定的，因此本實用新型以固定數(shù)目舉例說明工件裝夾夾具的結構，當然，此處舉例只是為了解釋本實用新型，并不限制本實用新型。在底座3上設置了呈圓周分布的第一固定孔9，每個第一固定孔9和底座3的中心距離相等，第一固定孔9共8個。底座3的大小可根據(jù)需要定制。頂蓋5和底座3對應，頂蓋5上設置了呈圓周分布的第二固定孔，每個第二固定孔和底座3的中心距離相等，第二固定孔共8個。而8個固定軸4固定于各自的第一固定孔9和第二固定孔中，這樣，安裝之后就形成一個正八邊形棱柱支架。在每一根固定軸4上均設置有4個大小相同的銷孔，分別位于固定軸4中間無螺紋部分的上下兩端，每端各兩個。這些銷孔用于固定工件裝夾板6，方便裝卸。此處的工件裝夾板6以矩形為例，上面設置大量的工件裝夾孔7。每個工件裝夾孔7中設置了夾緊裝置，用于夾緊工件。根據(jù)所需鍍膜的工件的形狀和大小尺寸，這些工件裝夾孔7可設置為圓形、方形或者其它形狀，以及可設置成不同的大小尺寸。而每個工件裝夾板6上所有的工件裝夾孔7的排列方式不定。該工件裝夾板6易于加工，尺寸可標準化，根據(jù)不同的工件，可定制不同的工件裝夾孔7，且裝夾數(shù)量多，能夠適用于不同形狀和不同大小的工件。當裝夾好工件之后，將工件裝夾板6通過銷接安裝于正八邊形棱柱支架上，這樣就形成了一個相對密封的正八邊形棱柱，從而防止工件“內(nèi)表面”或不需鍍膜的表面受到污染(磁控濺射鍍膜的繞射很強)。正八邊形棱柱支架置于磁控濺射室的中心位置，我們在每個棱面對應的位置處均設置了陰極濺射小室，從而可安放最多7個濺射靶材2。每個濺射靶材2可以是相同的材料，從而可大大提高濺射鍍膜的效率，并且可用于在工件表面鍍厚膜。每個濺射靶材2也可為不同的材料，因此隨著正八邊形棱柱支架的精確旋轉，可在工件表面一次性鍍上多種不同功能的薄膜。另外，根據(jù)不同靶材2和所鍍膜的各種要求，可選擇不同的底座3圓盤，但保證安裝上固定軸4后形成的正多邊形棱柱的每一棱邊寬度與靶材2寬度一致。這樣，選擇不同的底座3圓盤就可以實現(xiàn)靶基距的調(diào)整，從而提高鍍膜效率和鍍膜質量。采用該工件裝夾夾具可對工件(例如半球面異形工件)進行鍍兩層功能膜，所鍍膜為光學增透膜。1、根據(jù)要求，選擇合適的底座3，組裝正八邊形棱柱支架，包括傳動軸8、底座3、固定軸4、頂蓋5的組裝。組裝后靶基距為80mm。2、將半球面異形工件裝夾與工件裝夾板6上，通過夾緊裝置，裝夾穩(wěn)固。3、將裝好半球面異形工件的工件裝夾板6安裝于正八邊形棱柱支架上，通過銷接固定。4、選擇適用的靶材2，靶材2數(shù)目為兩個，對稱安放于正八邊形棱柱支架兩邊的濺射陰極上。5、關閉真空腔，打開機械泵和分子泵將真空腔抽到10-4torr。6、充入反應氣體，調(diào)節(jié)氣流大小為260sccm，檢測氣體壓力穩(wěn)定于10～30Pa，達到起輝所需要的氣體壓力。7、打開磁控濺射電源，開循環(huán)冷卻水，調(diào)節(jié)設定靶濺射功率為大于5～7KW。8、同時，傳動軸8帶動正八邊形棱柱支架旋轉，旋轉速度為1r/min。9、鍍膜完成，打開艙門，依次取下工件裝夾板6后，再依次安裝下一批半球面異形工件。10、重復步驟5到9，直到半球形工件全部鍍膜完畢。11、清洗設備，關閉設備。通過本實用新型的一個或者多個實施例，本實用新型具有以下有益效果或者優(yōu)點：本實用新型公開了一種工件裝夾夾具，包括位于濺鍍室的腔室底部的底座、底座上的固定軸、處于相鄰兩個固定軸之間的工件裝夾板、工件裝夾板上設置的工件裝夾孔、位于所述底座和所述濺鍍室的腔室底部之間的傳動軸；由于每個工件裝夾板上的工件裝夾孔可同時裝夾至少兩種不同類型的工件，因此能夠同時濺鍍不同類型的工件，提高濺鍍的效率。盡管已描述了本申請的優(yōu)選實施例，但本領域內(nèi)的普通技術人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對這些實施例作出另外的變更和修改。所以，所附權利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實施例以及落入本申請范圍的所有變更和修改。顯然，本領域的技術人員可以對本申請進行各種改動和變型而不脫離本申請的精神和范圍。這樣，倘若本申請的這些修改和變型屬于本申請權利要求及其等同技術的范圍之內(nèi)，則本申請也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。