技術編號：11774441
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請涉及磁控濺射鍍膜技術領域，尤其涉及一種工件裝夾夾具。背景技術隨著人們生活水平的不斷提高,越來越多的鍍膜產品被廣泛的應用，而與之相應的真空鍍膜設備的制造也在鍍膜技術的提升中變得愈加的重要。磁控濺射鍍膜就是其中一種被廣泛應用的鍍膜技術，其原理是利用電子在電場的作用下加速飛向基材的過程中與濺射氣體氬氣碰撞，電離出大量的氬離子和電子，電子飛向基材薄膜，在此過程中不斷地與氬原子碰撞，產生更多的氬原子和電子；氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶材原子(或分子)沉積在基材表...
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