技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種氣體組分自動控制的等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括真空腔室，所述真空腔室上開設(shè)有快接接口，所述快接接口通過取樣氣路與用于檢測真空腔室內(nèi)氣體組分的氣相檢測系統(tǒng)連接，氣相檢測系統(tǒng)的輸出端與控制及反饋系統(tǒng)連接并將檢測結(jié)果輸出至控制及反饋系統(tǒng)，控制及反饋系統(tǒng)的輸出端與質(zhì)量流量計連接，控制及反饋系統(tǒng)輸出控制信號來控制質(zhì)量流量計給氣量的大小。通過在等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備中添加氣相檢測系統(tǒng)和控制及反饋系統(tǒng)來實(shí)時檢測并調(diào)控真空腔室內(nèi)的氣體組分，以達(dá)到提高成膜質(zhì)量和提高成膜速率的效果。

技術(shù)研發(fā)人員：滕海燕
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥優(yōu)億科機(jī)電科技有限公司
文檔號碼：201611267479
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.31
技術(shù)公布日：2017.03.08