1.一種氣體組分自動控制的等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括真空腔室，其特征在于，所述真空腔室上開設(shè)有快接接口，所述快接接口通過取樣氣路與用于檢測真空腔室內(nèi)氣體組分的氣相檢測系統(tǒng)連接，氣相檢測系統(tǒng)的輸出端與控制及反饋系統(tǒng)連接并將檢測結(jié)果輸出至控制及反饋系統(tǒng)，控制及反饋系統(tǒng)的輸出端與質(zhì)量流量計連接，控制及反饋系統(tǒng)輸出控制信號來控制質(zhì)量流量計給氣量的大小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體組分自動控制的等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備還包括工作氣體源，所述工作氣體源依次與氣壓表、第一控制閥、第一壓力傳感器、質(zhì)量流量計、第二控制閥和第二壓力傳感器連接，第一壓力傳感器和第二壓力傳感器實時檢測氣路的壓力并將檢測結(jié)果反饋至控制及反饋系統(tǒng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體組分自動控制的等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述氣相檢測系統(tǒng)為氣相色譜儀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體組分自動控制的等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備還包括等離子體發(fā)生系統(tǒng)，所述等離子體發(fā)生系統(tǒng)為射頻等離子體系統(tǒng)、微波等離子體系統(tǒng)或直流高壓等離子體系統(tǒng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體組分自動控制的等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述控制及反饋系統(tǒng)采用中央處理器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣體組分自動控制的等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述控制及反饋系統(tǒng)還包括用于顯示氣體組分的顯示部件。