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一種具有類金鋼石陣列的結(jié)構(gòu)件及其制備方法與流程

文檔序號(hào):12646304閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種具有類金鋼石陣列的結(jié)構(gòu)件,其特征在于,包括基體和設(shè)置在所述基體上的具有尖端結(jié)構(gòu)的類金剛石納米針陣列,所述類金剛石納米針陣列通過對(duì)形成在所述基體上的一類金剛石涂層進(jìn)行刻蝕得到。

2.如權(quán)利要求1所述的具有類金鋼石陣列的結(jié)構(gòu)件,其特征在于,所述基體和類金剛石納米針陣列之間還設(shè)置有殘余類金鋼石涂層,所述類金剛石納米針陣列形成在所述殘余類金鋼石涂層表面;所述殘余類金鋼石涂層的厚度為100nm~3μm。

3.如權(quán)利要求1所述的具有類金鋼石陣列的結(jié)構(gòu)件,其特征在于,所述金剛石納米針陣列中的類金剛石納米針為錐狀結(jié)構(gòu),所述類金剛石納米針的長(zhǎng)徑比為20~80,尖部直徑為10~100nm,底部直徑為30nm~2μm,針密度為104~109·個(gè)·cm-2。

4.如權(quán)利要求3所述的具有類金鋼石陣列的結(jié)構(gòu)件,其特征在于,所述類金剛石納米針的高度在10nm~10μm之間。

5.如權(quán)利要求1所述的具有類金鋼石陣列的結(jié)構(gòu)件,其特征在于,所述基體為金屬、金屬合金、硬質(zhì)合金、不銹鋼、聚合物、玻璃和硅的一種或多種。

6.如權(quán)利要求5所述的具有類金鋼石陣列的結(jié)構(gòu)件,其特征在于,當(dāng)所述基體的材質(zhì)為不銹鋼、聚合物、鈷基金屬合金、硬質(zhì)合金、玻璃和硅時(shí),所述抗菌類金鋼石陣列材料還包括一過渡金屬層,所述過渡金屬層位于所述基體與所述殘余類金鋼石涂層之間;所述過渡金屬層的厚度為50~500nm。

7.一種具有類金鋼石陣列的結(jié)構(gòu)件的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

提供結(jié)構(gòu)件基體,對(duì)所述基體進(jìn)行預(yù)處理;

將所述預(yù)處理后的基體置于鍍膜設(shè)備的真空室內(nèi),在所述預(yù)處理后的基體上沉積類金剛石涂層;

對(duì)所述類金剛石涂層進(jìn)行刻蝕,得到具有尖端結(jié)構(gòu)的類金剛石納米針陣列。

8.如權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于,所述沉積所述類金剛石涂層的方法包括磁控濺射或等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積;

其中,所述磁控濺射的步驟包括:向真空室中通入氬氣并開啟碳靶進(jìn)行沉積,使所述真空室內(nèi)的壓強(qiáng)為0.5~1.0Pa,所述碳靶的靶功率為1~5kW,基底負(fù)偏壓為-50~-200V,沉積時(shí)間為30~600min;

其中,所述等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的步驟包括:向真空室中通入氣態(tài)碳源進(jìn)行沉積,使所述真空室內(nèi)的壓強(qiáng)為0.5~1.0Pa,離子源電壓為50~100V,基底負(fù)偏壓為-50~-200V,沉積時(shí)間為30~600min。

9.如權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于,所述類金剛石涂層的刻蝕是采用感應(yīng)耦合等離子體刻蝕或者電子回旋共振微波等離子體化學(xué)氣相沉積刻蝕;

其中,所述感應(yīng)耦合等離子體刻蝕的步驟包括:將沉積有類金剛石涂層的基體置于電感耦合等離子體刻蝕的腔體中,利用氫氣、氬氣、氧氣、氦氣、氮?dú)?、氣態(tài)碳源、CF4、C4F8和SF6中的一種或多種為反應(yīng)氣體,反應(yīng)氣體的流量為5~200sccm,反應(yīng)氣壓為0.1~10Pa,等離子體的電源功率為500~3000W,基片臺(tái)上的射頻功率為50~300W,刻蝕時(shí)間為10~600min;

其中,所述電子回旋共振微波等離子體化學(xué)氣相沉積刻蝕的步驟包括:將沉積有類金剛石涂層的基體置于電子回旋共振微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備中,通入氫氣或者通入混合的氫氣、氣態(tài)碳源和氬氣,氣體壓力為5~8mTorr,直流負(fù)偏壓為75~230V,偏流為40~120mA,刻蝕時(shí)間為30分鐘~6小時(shí)。

10.如權(quán)利要求7-9任一項(xiàng)所述的制備方法,其特征在于,在所述預(yù)處理之后以及沉積所述類金剛石涂層之前,還包括沉積一過渡金屬層;

其中,所述沉積過渡金屬層的步驟包括:向真空室內(nèi)通入氬氣,調(diào)節(jié)所述真空室的壓強(qiáng)為0.2~1.3Pa,開啟過渡金屬電弧靶,進(jìn)行電弧沉積金屬過渡層,控制靶電流為80~200A,基底偏壓為-100~-300V,沉積時(shí)間為2~10min。

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