技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種高密度、低氧含量、不易脆裂的硅鋁濺射靶材的制備方法，包括如下步驟：靶材基管準(zhǔn)備：選用并檢驗(yàn)所需型號(hào)的不銹鋼基管；基管表面預(yù)處理：將基管進(jìn)入基管預(yù)處理設(shè)備進(jìn)行噴砂粗化、使用鎳鋁合金絲，電弧噴涂法噴涂打底結(jié)合層，得到準(zhǔn)備噴涂的靶材基管；原料準(zhǔn)備：稱取含量：99.9%?99.95%、氧含量≤1000ppm、粒徑：45?150um?的硅粉50kg；稱取含量：99.9%?99.95%、氧含量≤1500ppm、粒徑：45?100um?的高純球形鋁粉6.6kg；混粉：將所得的2種原料投入V型混粉機(jī)，混合5?6小時(shí)；烘干：將混合均勻的硅鋁粉原料置于烘干爐中，烘干2?3小時(shí)，溫度60℃。

技術(shù)研發(fā)人員：施玉良
受保護(hù)的技術(shù)使用者：法柯特科技（江蘇）有限公司
文檔號(hào)碼：201610891073
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.13
技術(shù)公布日：2017.03.15