1.硅鋁濺射靶材的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：靶材基管準備：選用并檢驗所需型號的不銹鋼基管；基管表面預處理：將基管進入基管預處理設備進行噴砂粗化、使用鎳鋁合金絲，電弧噴涂法噴涂打底結合層，得到準備噴涂的靶材基管；原料準備：稱取含量：99.9%-99.95%、氧含量≤1000ppm、粒徑：45-150um 的硅粉50kg；稱取含量：99.9%-99.95%、氧含量≤1500ppm、粒徑：45-100um 的高純球形鋁粉6.6kg；混粉：將所得的2種原料投入V型混粉機，混合5-6小時；烘干：將混合均勻的硅鋁粉原料置于烘干爐中，烘干2-3小時，溫度60℃ ；預熱：將靶材基管置于密封的噴涂倉內，將靶管內部與循環(huán)水裝置相連接，并啟動加溫器，將靶管預熱至80℃并保持恒溫；真空等離子噴涂：采用大功率超音速等離子噴涂槍，使用等離子體為熱源將所得硅鋁粉末材料加熱到熔融或半熔融狀態(tài)，隨高速焰流噴涂到制備好的靶材基管表面，形成致密的硅鋁合金靶材涂層，在噴涂過程中，連續(xù)的往噴涂倉中通入氮氣，并呈正壓狀態(tài)；噴涂電壓95-100V、噴涂電流550-600A、氬氣流量1500-2500L/h 、等離子焰體溫度10000-15000℃、焰流速度150m/s，使硅鋁粉末在瞬間熔融，并被高速焰流極速噴涂到靶材基管表面，形成沉積層；氫氣流600-1500L/h、氮氣流量3000-4000L/h，氫氣作為離子混合氣；冷卻：噴涂工藝完成后，關閉供粉系統(tǒng)，關閉噴涂系統(tǒng)，啟動梯度降溫系統(tǒng)，即比自然降溫延長2-3倍時長，降至室溫；機械加工：冷卻完成后的靶材出倉后，進行外形機械加工，加工后進行清潔包裝即得到硅鋁濺射靶材。