技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供基板拉伸裝置、成膜裝置以及膜和有機(jī)電子器件的制造方法，能夠發(fā)揮與基板的松弛情況相對(duì)應(yīng)的基板拉伸力，難以產(chǎn)生基板的松弛，能夠使掩膜和基板良好重合，實(shí)現(xiàn)高精度的成膜。一種基板拉伸裝置，其具備互相對(duì)置的一對(duì)夾緊機(jī)構(gòu)，其中，所述夾緊機(jī)構(gòu)具備多個(gè)從上下夾住基板的把持部，對(duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部分別具備驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件將用于把持所述基板的按壓力和用于將所述基板向外側(cè)拉伸的拉伸力傳遞至所述把持部。

技術(shù)研發(fā)人員：鈴木健太郎;佐藤智之;鹽入信朗
受保護(hù)的技術(shù)使用者：佳能特機(jī)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.30
技術(shù)公布日：2017.07.21