本發(fā)明涉及通過拉伸基板來防止基板的松弛的基板拉伸裝置。

背景技術(shù)：

基板的自重隨著基板的大型化而不斷增加，因此，在水平地保持大型的基板時(shí)，存在如下情況：由于基板的自重而導(dǎo)致基板向下方撓曲，從而在基板上產(chǎn)生松弛。例如在專利文獻(xiàn)1中記載了這樣的裝置：通過對(duì)基板的對(duì)置的端部互相拉伸，來防止基板發(fā)生松弛。

專利文獻(xiàn)1：韓國注冊(cè)專利第10-1456671號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)1記載的基板夾緊機(jī)構(gòu)構(gòu)成為：使用結(jié)合有多個(gè)細(xì)分化的基板支承片的板，經(jīng)由該板將基板向兩側(cè)拉伸驅(qū)動(dòng)。

但是，根據(jù)所支承的基板的材質(zhì)、形狀、面積等，基板的松弛程度不同。在專利文獻(xiàn)1的各種結(jié)構(gòu)中，根據(jù)所支承的基板不同，在各個(gè)支承片間夾壓基板的力會(huì)產(chǎn)生偏頗，或者在夾壓力較弱的支承片之間基板會(huì)發(fā)生打滑，從而在拉伸基板時(shí)會(huì)導(dǎo)致板的長度方向上的基板拉伸力產(chǎn)生偏頗。因此，存在如下的擔(dān)憂：無法消除基板的松弛，或者相反地助長基板的松弛。

如果基板的松弛較大，則不但無法實(shí)現(xiàn)均勻的成膜，而且在使用掩膜在基板上形成薄膜的情況下，還會(huì)成為成膜圖案出現(xiàn)大的偏差的原因。

另外，由于是對(duì)結(jié)合有所有的支承片的板進(jìn)行拉伸驅(qū)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，因此，如果為了消除在夾壓力較弱的支承片處的基板打滑而增強(qiáng)夾壓力，則根據(jù)位置不同，夾壓力可能變得過強(qiáng)而導(dǎo)致基板破損。而且，由于需要拉伸力較大的驅(qū)動(dòng)裝置，因此，會(huì)導(dǎo)致基板拉伸所需要的能耗增加或者拉伸裝置大型化。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于上述的現(xiàn)狀而完成的，本發(fā)明的基板拉伸裝置具備互相對(duì)置的一對(duì)夾緊機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述夾緊機(jī)構(gòu)具備多個(gè)從上下夾住基板的把持部，對(duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部分別具備驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件將用于把持所述基板的按壓力和用于將所述基板向外側(cè)拉伸的拉伸力傳遞至所述把持部。

根據(jù)本發(fā)明的基板拉伸裝置，能夠發(fā)揮出與基板的松弛情況相對(duì)應(yīng)的基板按壓力和基板拉伸力，能夠?qū)?duì)置的基板的邊部之間均等地拉伸，從而能夠有效降低基板的松弛。并且，如果將本發(fā)明的基板拉伸裝置應(yīng)用于成膜裝置，則在基板上不容易產(chǎn)生松弛，能夠?qū)崿F(xiàn)均勻的覆膜的形成、或使用了掩膜的高精度的成膜。

附圖說明

圖1是本實(shí)施例的概要說明立體圖。

圖2是本實(shí)施例的重要部位的放大說明立體圖。

圖3是本實(shí)施例的重要部位的放大說明立體圖。

圖4是本實(shí)施例的夾緊機(jī)構(gòu)的動(dòng)作說明圖。

圖5是本實(shí)施例的夾緊機(jī)構(gòu)的動(dòng)作說明圖。

圖6是本實(shí)施例的夾緊機(jī)構(gòu)的動(dòng)作說明圖。

圖7是蒸鍍裝置的概要說明主視圖。

圖8的(a)是使用本發(fā)明的真空蒸鍍裝置制作出的有機(jī)el顯示裝置的立體圖，(b)是沿(a)中的a-b線的剖視圖。

標(biāo)號(hào)說明

1：基板。

2：邊部。

3、4：把持片。

具體實(shí)施方式

基于圖1示出本發(fā)明的作用，并對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式簡單進(jìn)行說明。

利用夾緊機(jī)構(gòu)分別把持基板1的對(duì)置的邊部2，并且在以不產(chǎn)生松弛的方式向外側(cè)拉伸的狀態(tài)下支承基板1。

此時(shí)，能夠利用對(duì)應(yīng)于夾緊機(jī)構(gòu)的多個(gè)把持部分別設(shè)置的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，針對(duì)每個(gè)把持部分別設(shè)定用于把持基板的按壓力或用于向外側(cè)拉伸的拉伸力，其中，所述多個(gè)把持部沿著基板1的對(duì)置的邊部2分別設(shè)置，由此，即使例如基板1的松弛在基板1的對(duì)置的邊部2的中央側(cè)和端部側(cè)不同，也能夠以在基板1的對(duì)置的邊部之間不存在松弛的方式均等地進(jìn)行拉伸。

另外，由于是針對(duì)每個(gè)把持部分別設(shè)置驅(qū)動(dòng)構(gòu)件的結(jié)構(gòu)，因此，不需要大拉伸力的驅(qū)動(dòng)裝置，作為驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，可以采用小型的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，能耗也能夠相應(yīng)地減少。

【實(shí)施例】

基于附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例進(jìn)行說明。

本實(shí)施例是具備一對(duì)夾緊機(jī)構(gòu)的基板拉伸裝置，所述一對(duì)夾緊機(jī)構(gòu)能夠把持基板1的對(duì)置的邊部2，并且能夠?qū)⒃搶?duì)置的邊部2分別朝向外側(cè)拉伸。

在本實(shí)施例的夾緊機(jī)構(gòu)中，沿著所把持的基板1的邊部2分別配置有多個(gè)從上下夾住基板1的把持部，并且針對(duì)各個(gè)把持部分別具備驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件對(duì)所述基板1的邊部2傳遞用于把持基板1的按壓力和用于將基板1向外側(cè)拉伸的拉伸力。

即，在本實(shí)施例中，分別利用所述夾緊機(jī)構(gòu)把持基板1的對(duì)置的一對(duì)邊部2，并以使在進(jìn)行把持的狀態(tài)下對(duì)置的把持部彼此互相離開的方式，將基板1向外側(cè)拉伸。

如圖1所示，本實(shí)施例是利用垂直設(shè)置于升降板6的連結(jié)體7以懸吊狀態(tài)連結(jié)設(shè)有夾緊機(jī)構(gòu)的框體5而成的結(jié)構(gòu)，并且設(shè)置有使升降板6相對(duì)于基板8升降的升降機(jī)構(gòu)。另外，連結(jié)體7被設(shè)置成分別連結(jié)升降板6和框體5的四個(gè)角部，在基板8上設(shè)有供連結(jié)體7貫穿插入的貫穿插入孔。

升降板6隔開規(guī)定的間隔平行地設(shè)置在基板8的上方。在升降板6的上方設(shè)置有固定臺(tái)9，該固定臺(tái)9的4個(gè)腿部貫穿插入升降板6的貫穿插入孔中并固定于基板8。作為升降機(jī)構(gòu)，采用了內(nèi)置有伺服電機(jī)或滾珠絲杠等的電動(dòng)氣缸10，該電動(dòng)氣缸10的基端側(cè)被固定于固定臺(tái)9，可動(dòng)末端側(cè)被固定于升降板6。

因此，在更換基板時(shí)等，通過使電動(dòng)氣缸10的可動(dòng)末端進(jìn)退而使升降板6相對(duì)于基板8升降，由此能夠使以懸吊狀態(tài)連結(jié)于升降板6的框體5(夾緊機(jī)構(gòu))升降。升降板6的升降被固定臺(tái)9的腿部引導(dǎo)。

在將本實(shí)施例的基板拉伸裝置設(shè)置于保持基板靜止進(jìn)行成膜的真空成膜裝置中的情況下，可以將基板8的下表面外周部固定于真空成膜室的頂面部，將比基板8靠下側(cè)的部分配置在真空成膜室內(nèi)，將基板8和比基板8靠上側(cè)的部分配置在真空成膜室外的大氣區(qū)域中。如果將基板8兼作成膜裝置的腔室的上表面壁，則能夠削減成膜裝置所需要的部件，因此是優(yōu)選的。在將本實(shí)施例的基板拉伸裝置設(shè)置于使基板移動(dòng)來進(jìn)行成膜的真空成膜裝置中的情況下，可以將圖1所示的基板拉伸裝置整體配置在裝置內(nèi)，并預(yù)先與裝置的基板輸送機(jī)構(gòu)連結(jié)。這種情況下，基板8變得不需要，因此能夠省略。

在所述夾緊機(jī)構(gòu)中，所述把持部由一對(duì)把持片3、4構(gòu)成，并且以如下方式構(gòu)成所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件：利用該一對(duì)把持片3、4從上下按壓基板1，并將把持的基板1向外側(cè)拉伸。

如圖2所示，把持部分別由剖視觀察時(shí)為コ字狀的加緊體14和可動(dòng)體15構(gòu)成，其中，所述加緊體14由對(duì)置的上下的板部11、12和連結(jié)上下的板部11、12的連結(jié)板部13構(gòu)成，所述可動(dòng)體15可動(dòng)自如地設(shè)置于該加緊體14。具體來說，構(gòu)成為，將把持片3、4設(shè)置成分別與加緊體14的下板部12的末端和可動(dòng)體15的末端對(duì)置。

在沿著所把持的基板1的邊部2的、框體5的一對(duì)第一邊部，分別配置有多個(gè)(在本實(shí)施例中為8個(gè))該加緊體14。如果利用加緊體14把持基板的長邊，則與把持短邊的情況相比，能夠減小為了降低基板的松弛而在各把持部中需要的拉伸力，因此是優(yōu)選的。另外，構(gòu)成為，在沿著基板1的未被把持的邊部20的、框體5的一對(duì)第二邊部，設(shè)置有基板支承爪21。具體來說，框體5的第一邊部形成為使垂直板部17在水平板部16的兩端垂下的結(jié)構(gòu)，第二邊部由與第一邊部的垂直板部17連結(jié)的立起板部18、和將該立起板部18的下端彼此連結(jié)的水平部19構(gòu)成。基板支承爪21突出設(shè)置在該水平部19的內(nèi)側(cè)。因此，可以良好地將基板1從第二邊部側(cè)搬入。

以下，詳細(xì)敘述如何在所述各把持部(一對(duì)把持片3、4)對(duì)基板1的邊部2傳遞用于把持基板1的按壓力和用于將基板1向外側(cè)拉伸的拉伸力。

在加緊體14的上板部11設(shè)置有供升降棒24貫穿插入的貫穿插入孔，所述升降棒24的上端與電動(dòng)氣缸22的可動(dòng)末端部23卡定，下端與可動(dòng)體15卡定。在該升降棒24的下端設(shè)置有與可動(dòng)體15的下表面卡定的防脫卡定部25，在可動(dòng)體15的上表面與設(shè)在升降棒24的中間部處的大徑部26的下表面之間設(shè)置有彈簧27。并且，電動(dòng)氣缸22的基端側(cè)被固定于升降板6。

另外，在上板部11與下板部12之間，設(shè)置有與連結(jié)板部13平行的左右一對(duì)引導(dǎo)棒45。在可動(dòng)體15上形成有供該引導(dǎo)棒45分別貫穿插入的貫穿插入孔。圖中，標(biāo)號(hào)46是滑套。

因此，電動(dòng)氣缸22的可動(dòng)末端部23的按壓力經(jīng)由彈簧27傳遞至可動(dòng)體15，進(jìn)行可動(dòng)體15的把持片4和加緊體14的把持片3對(duì)基板1的把持(參照?qǐng)D5)。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，通過對(duì)各加緊體14分別設(shè)置電動(dòng)氣缸22，能夠針對(duì)每個(gè)把持部分別控制按壓力，從而能夠?qū)?yīng)于基板1的松弛良好地把持基板1。而且，通過將彈簧27適當(dāng)?shù)馗鼡Q為彈性系數(shù)不同的彈簧，能夠調(diào)整從電動(dòng)氣缸22傳遞給把持部的力、即把持力。

另外，在本實(shí)施例中構(gòu)成為，在可動(dòng)體15的末端垂下部28的下端，裝卸自如地設(shè)有合成樹脂制的把持片4。作為合成樹脂，可以采用硅、氯丁橡膠、丁腈橡膠等。因此，在把持片4發(fā)生磨損、老化時(shí)，能夠適當(dāng)?shù)馗鼡Q。并且，在本實(shí)施例中，是下板部12的末端的把持片3與下板部12設(shè)置成一體的結(jié)構(gòu)，但也可以是將合成樹脂制的把持片3裝卸自如地設(shè)置于下板部12的末端的結(jié)構(gòu)。

另外，雖然未圖示，但也可以通過變更把持片4的厚度或者在可動(dòng)體15的末端垂下部28的下端與把持片4之間夾設(shè)其它部件來調(diào)整把持片4與把持片3之間的間隔，從而調(diào)整每個(gè)把持片的把持力。另外，也可以通過在可動(dòng)體15的末端垂下部28的下端與把持片4之間夾設(shè)彈簧等彈性部件，并適當(dāng)?shù)卦O(shè)定該彈性部件的彈性(如果是彈簧，則適當(dāng)?shù)卦O(shè)定彈性系數(shù))，由此調(diào)整每個(gè)把持片的把持力。

另外，升降棒24的末端在正面觀察時(shí)形成為t字狀，在該t字狀的末端的兩端部分別設(shè)有輥29。該升降棒24的末端被配置在承接部31內(nèi)，所述承接部31被固定在電動(dòng)氣缸22的可動(dòng)末端部23，且其前方敞開，所述承接部31在剖視觀察時(shí)為コ字狀，并且在該承接部31上設(shè)有供升降棒24的中間部分退讓的槽部30。承接部31的上下板部的間隔被設(shè)定為比輥29的直徑稍大的間隔?？ǘㄓ诔薪硬?1的升降棒24的末端經(jīng)由輥29與承接部31的內(nèi)表面接觸，從而平滑地進(jìn)行在傳遞后述的拉伸力時(shí)的加緊體14的水平滑動(dòng)移動(dòng)。

傳遞拉伸力時(shí)的加緊體14的水平移動(dòng)可以通過設(shè)在加緊體14的上板部11與框體5的水平板部16之間的線性導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)。具體來說，在加緊體14的上板部11的上表面設(shè)置有軌道33，所述軌道33與設(shè)在框體5的水平板部16的下表面上的引導(dǎo)塊32嵌合。因此，加緊體14(把持部)相對(duì)于框體5水平滑動(dòng)移動(dòng)。

在圖3中示出了從外側(cè)觀察把持部的結(jié)構(gòu)。在框體5的水平板部16上的所述引導(dǎo)塊32的外側(cè)設(shè)置有用于承接轉(zhuǎn)動(dòng)軸35的軸承部36，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸35設(shè)置在拉伸力傳遞體34的彎曲部，所述拉伸力傳遞體34傳遞拉伸力，且在剖視觀察時(shí)為大致l字狀。拉伸力傳遞體34構(gòu)成為能夠以設(shè)在彎曲部的轉(zhuǎn)動(dòng)軸35為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。拉伸力傳遞體34的末端在正面觀察時(shí)形成為t字狀，在該t字狀的末端的兩端部分別設(shè)有輥37。拉伸力傳遞體34的末端被剖視觀察時(shí)為コ字狀的承接體40承接，所述承接體40被固定在電動(dòng)氣缸38的可動(dòng)末端部39，且其前方敞開。承接體40的上下板部的間隔被設(shè)定為比輥37的直徑稍大的間隔。并且，電動(dòng)氣缸38的基端側(cè)被固定于升降板6。

另外，拉伸力傳遞體34的基端也同樣地在正面觀察時(shí)形成為t字狀，且在該t字狀的基端的兩端部分別設(shè)有輥41。拉伸力傳遞體34的基端被配置在剖視觀察時(shí)為l字狀的承接片42與連結(jié)板部13的背面之間，所述承接片42被設(shè)置在加緊體14的連結(jié)板部13的背面，由水平片和垂直片構(gòu)成。連結(jié)板部13的背面與承接片42的垂直片之間的間隔被設(shè)定為比輥41的直徑稍大的間隔。

因此，通過驅(qū)動(dòng)電動(dòng)氣缸38的可動(dòng)末端部39使與拉伸力傳遞體34的末端卡定的承接體40上升移動(dòng)，由此，拉伸力傳遞體34的基端以設(shè)在彎曲部的轉(zhuǎn)動(dòng)軸35為中心向外側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)，拉伸力傳遞體34的基端將承接片42的垂直片向外方按壓，由此，加緊體14(把持部)向外側(cè)移動(dòng)，將拉伸力傳遞給基板1(參照?qǐng)D6)。

在該拉伸力傳遞體34的彎曲部與基端之間設(shè)有螺絲接頭43，通過使該螺絲接頭43旋轉(zhuǎn)來調(diào)節(jié)彎曲部與基端之間的距離，由此能夠調(diào)整從電動(dòng)氣缸38傳遞至把持部的力即拉伸力(通過加長彎曲部與基端部之間的距離，能夠增大拉伸力。)。具體來說，構(gòu)成為，利用螺絲接頭43將從彎曲部朝向基端側(cè)延伸的螺紋部和從基端朝向彎曲部延伸的反螺紋部螺合連結(jié)。

另外，所述夾緊機(jī)構(gòu)構(gòu)成為具備單獨(dú)調(diào)整構(gòu)件或單獨(dú)控制構(gòu)件，其中，所述單獨(dú)調(diào)整構(gòu)件能夠?qū)?duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部而分別具備的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件各自的按壓力或拉伸力或者它們雙方，對(duì)應(yīng)于每個(gè)驅(qū)動(dòng)構(gòu)件單獨(dú)地進(jìn)行調(diào)整，所述單獨(dú)控制構(gòu)件能夠?qū)?duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部而分別具備的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件各自的按壓力或拉伸力或者它們雙方，對(duì)應(yīng)于每個(gè)驅(qū)動(dòng)構(gòu)件單獨(dú)地進(jìn)行控制。在本實(shí)施例中，彈簧27相當(dāng)于調(diào)整按壓力的單獨(dú)調(diào)整構(gòu)件，螺絲接頭43相當(dāng)于調(diào)整拉伸力的單獨(dú)調(diào)整構(gòu)件。并且，電動(dòng)氣缸22相當(dāng)于調(diào)整按壓力的單獨(dú)控制構(gòu)件，電動(dòng)氣缸38相當(dāng)于調(diào)整拉伸力的單獨(dú)控制構(gòu)件。并且，通過設(shè)置單獨(dú)調(diào)整構(gòu)件，能夠使用于進(jìn)一步降低基板的松弛的按壓力和拉伸力實(shí)現(xiàn)最優(yōu)化，但不一定需要對(duì)按壓構(gòu)件和拉伸力傳遞構(gòu)件都設(shè)置，可以省略任意一方或者雙方。

在本實(shí)施例中，如前所述，具備單獨(dú)調(diào)整構(gòu)件和單獨(dú)控制構(gòu)件，所述單獨(dú)調(diào)整構(gòu)件能夠單獨(dú)地調(diào)整對(duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部而分別具備的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件的拉伸力，所述單獨(dú)控制構(gòu)件能夠單獨(dú)地控制對(duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部而分別具備的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件的按壓力。

根據(jù)本實(shí)施例的基板拉伸裝置，能夠利用所述單獨(dú)調(diào)整構(gòu)件或所述單獨(dú)控制構(gòu)件，對(duì)應(yīng)于在所把持的基板的邊部中產(chǎn)生的松弛的程度，單獨(dú)地調(diào)整或單獨(dú)地控制對(duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部而分別具備的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件各自的按壓力或拉伸力或者它們雙方。

例如，能夠利用所述單獨(dú)調(diào)整構(gòu)件或所述單獨(dú)控制構(gòu)件，在所把持的基板的邊部的中央?yún)^(qū)域處，使對(duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部而分別具備的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件各自的按壓力或拉伸力或者它們雙方比在基板的邊部的端部區(qū)域處高。

另外，在本實(shí)施例中，承接體40構(gòu)成為使各拉伸力傳遞體34的末端分別卡定于長條的一個(gè)承接體40，以便能夠統(tǒng)一操作一側(cè)的夾緊機(jī)構(gòu)的各加緊體14的各拉伸力傳遞體34(參照?qǐng)D3)。即，構(gòu)成為，使各拉伸傳遞體34的末端以規(guī)定的間隔卡定于前方敞開的、剖視觀察時(shí)為コ字狀的長條的一個(gè)承接體40，從而構(gòu)成為能夠通過該一個(gè)承接體40的升降使一側(cè)的夾緊機(jī)構(gòu)的所有把持部都拉伸。在本實(shí)施例中，構(gòu)成為，在承接體40的兩端部分別固定有電動(dòng)氣缸38的可動(dòng)末端部39，從而利用2個(gè)電動(dòng)氣缸38統(tǒng)一使一側(cè)的夾緊機(jī)構(gòu)的所有把持部拉伸。

另外，在承接體40的上板部，設(shè)置有使拉伸力傳遞體34的中途部退讓的槽部44。

并且，本實(shí)施例如上述那樣構(gòu)成，但也可以構(gòu)成為：關(guān)于拉伸力，也與按壓力相同地對(duì)各加緊體分別設(shè)置一個(gè)承接體40，并對(duì)應(yīng)于每個(gè)該承接體40分別設(shè)置電動(dòng)氣缸38，利用分別設(shè)置的電動(dòng)氣缸38單獨(dú)地控制各加緊體的把持部的拉伸力。

另外，各電動(dòng)氣缸22、38的可動(dòng)末端部23、39貫穿插入基板8的貫穿插入孔中并與承接部31和承接體40連結(jié)。在將基板拉伸裝置設(shè)置于真空裝置內(nèi)的情況下，可以構(gòu)成為，利用設(shè)在基板8與升降板6之間的波紋管等包圍該貫穿插入孔等，從而保持裝置內(nèi)的真空。

如果使成膜裝置內(nèi)成為真空狀態(tài)后成膜，則由于作用在真空成膜室的頂面部的負(fù)壓而可能導(dǎo)致該頂面部向內(nèi)側(cè)變形。如果基板8兼作真空裝置室的頂面部、或者將基板8與頂面部接觸并固定，則頂板部的變形會(huì)影響基板拉伸裝置而導(dǎo)致基板的松弛增加。因此，可以設(shè)置成：使基板8的剛性比真空成膜室的頂面部高，或者利用波紋管或密封環(huán)將基板8的下表面外周部與真空成膜室的頂面部之間進(jìn)行密封。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，即使由于作用在真空成膜室的頂面部的負(fù)壓而導(dǎo)致該頂面部向內(nèi)側(cè)變形，也能夠抑制對(duì)基板8的影響，并且能夠降低頂面部在成膜過程中向內(nèi)側(cè)變形的情況下的基板松弛，提高成膜精度。

另外，所述夾緊機(jī)構(gòu)可以構(gòu)成為具備聯(lián)合控制構(gòu)件，所述聯(lián)合控制構(gòu)件能夠?qū)?duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部而分別具備的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件的所述單獨(dú)控制構(gòu)件彼此聯(lián)合起來進(jìn)行控制。作為聯(lián)合控制構(gòu)件，可以使用對(duì)各電動(dòng)氣缸的可動(dòng)末端部的進(jìn)退量或進(jìn)退時(shí)機(jī)進(jìn)行控制的控制裝置等。

例如，所述聯(lián)合控制構(gòu)件可以構(gòu)成為：根據(jù)在所把持的基板的邊部產(chǎn)生的松弛的程度，將對(duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部而分別具備的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件的單獨(dú)控制構(gòu)件彼此聯(lián)合起來進(jìn)行控制。

另外，所述聯(lián)合控制構(gòu)件可以通過如下這樣的設(shè)定來控制按壓構(gòu)件和拉伸力傳遞構(gòu)件：在所把持的基板的邊部的中央?yún)^(qū)域，使對(duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部而分別具備的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件各自的按壓力或拉伸力或者它們雙方比在基板的邊部的端部區(qū)域的高。

所把持的基板的松弛的傾向和程度根據(jù)所使用的基板的材質(zhì)、形狀、面積、重量、縱橫比等規(guī)格而不同。因此，根據(jù)規(guī)格對(duì)基板分組，并對(duì)應(yīng)于各個(gè)基板組預(yù)先測(cè)定基板松弛傾向。并且，也優(yōu)選的是，根據(jù)該基板松弛傾向確定各把持部中的基板的松弛程度，對(duì)應(yīng)于所確定的基板的松弛程度將對(duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部而分別具備的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件的單獨(dú)控制構(gòu)件彼此聯(lián)合起來進(jìn)行控制。

另外，也可以構(gòu)成為利用松弛檢測(cè)構(gòu)件檢測(cè)所述把持的基板的松弛傾向和程度。例如，能夠利用對(duì)基板進(jìn)行把持并通過圖像處理或激光位移計(jì)等檢測(cè)松弛的狀態(tài)的松弛檢出裝置等。如果使用該松弛檢測(cè)構(gòu)件，則在通過基板拉伸裝置把持基板時(shí)，也能夠確認(rèn)基板的松弛是否降低至允許范圍。

另外，也優(yōu)選的是，所述單獨(dú)調(diào)整構(gòu)件或所述單獨(dú)控制構(gòu)件分別對(duì)應(yīng)于每個(gè)驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，單獨(dú)地調(diào)整或單獨(dú)地控制對(duì)應(yīng)于每個(gè)所述把持部而分別具備的各個(gè)驅(qū)動(dòng)構(gòu)件的拉伸基板的時(shí)機(jī)。

具體來說，可以是：在所把持的基板的邊部的中央?yún)^(qū)域，使驅(qū)動(dòng)構(gòu)件拉伸基板的時(shí)機(jī)比在所把持的邊部的端部區(qū)域中提前，或者，使驅(qū)動(dòng)構(gòu)件拉伸基板的時(shí)機(jī)隨著朝向所把持的基板的邊部的端部區(qū)域而逐漸延遲。通過這樣的控制，能夠更加抑制基板的松弛。

例如，可以構(gòu)成為：對(duì)各加緊體分別設(shè)置一個(gè)承接體，對(duì)應(yīng)于每個(gè)該承接體設(shè)置電動(dòng)氣缸，并分別通過電動(dòng)氣缸單獨(dú)地控制各加緊體的把持部的拉伸力，并且，控制電動(dòng)氣缸的驅(qū)動(dòng)時(shí)機(jī)，從中央側(cè)朝向端部側(cè)依次操作拉伸力傳遞體。

另外，作為單獨(dú)調(diào)整構(gòu)件，例如可以構(gòu)成為：設(shè)置沿軌道33將圖4所示的加緊體14向內(nèi)側(cè)(基板側(cè))按壓的彈簧等(未圖示)，并且能夠?qū)?yīng)于每個(gè)加緊體單獨(dú)地調(diào)整承接片42與連結(jié)板部13的背面之間的間隔，在輥41與承接片42接觸的時(shí)刻對(duì)基板產(chǎn)生拉伸力，由此單獨(dú)地調(diào)整拉伸基板的時(shí)機(jī)。

并且，本實(shí)施例構(gòu)成為利用對(duì)所把持的基板的對(duì)置的邊部進(jìn)行把持的各夾緊機(jī)構(gòu)分別將基板向外側(cè)拉伸，但也可以構(gòu)成為，所述單獨(dú)控制構(gòu)件以使設(shè)置在對(duì)置的邊部中的任意一側(cè)的所述夾緊機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件分別僅產(chǎn)生按壓力的方式進(jìn)行控制。

圖7是將本發(fā)明的基板拉伸裝置應(yīng)用于保持基板靜止進(jìn)行成膜的真空蒸鍍裝置中的例子。實(shí)際上，應(yīng)用了與圖1相同的基板拉伸裝置，但在圖7中簡要地示出了最低度所需的部件。在該真空蒸鍍裝置中，為了在保持減壓氣氛的真空槽80內(nèi)使基板81上形成薄膜，射出成膜材料的蒸發(fā)源85被配置在與基板81對(duì)置的位置，并且設(shè)置有：膜厚監(jiān)視器82，其監(jiān)視從蒸發(fā)源85釋放出的蒸發(fā)粒子的蒸發(fā)速度；膜厚計(jì)83，其設(shè)在真空槽80外，將所監(jiān)視到的蒸發(fā)粒子的量換算成膜厚；以及加熱器用電源84，其為了以使換算出的膜厚成為所希望的膜厚的方式控制成膜材料的蒸發(fā)速度而加熱蒸發(fā)源85。另外，具有使蒸發(fā)源85在垂直于紙面的垂直方向上移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，并設(shè)置有使基板81和蒸發(fā)源85相對(duì)移動(dòng)的相對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)。通過一邊使蒸發(fā)源85相對(duì)于基板81移動(dòng)一邊進(jìn)行成膜，能夠遍及基板的整個(gè)面形成均勻的膜厚的蒸鍍膜。而且，具有支承掩膜86的掩膜支承部件，并且能夠使用未圖示的校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)使基板81和掩膜86的相對(duì)位置對(duì)準(zhǔn)來進(jìn)行成膜。

并且，本發(fā)明并不限于本實(shí)施例，各結(jié)構(gòu)要素的具體結(jié)構(gòu)都能夠適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)。

接下來，對(duì)下述實(shí)施例進(jìn)行說明：使用具備本發(fā)明的基板拉伸裝置的真空蒸鍍裝置，制造出有機(jī)el顯示裝置，作為有機(jī)電子器件的例子。

首先，對(duì)待制造的有機(jī)el顯示裝置進(jìn)行說明。圖8的(a)是有機(jī)el顯示裝置60的整體圖，圖8的(b)表示1個(gè)像素的截面結(jié)構(gòu)。

如圖8的(a)所示，在顯示裝置60的顯示區(qū)域61中，呈矩陣狀配置有多個(gè)像素62，所述像素62具備多個(gè)發(fā)光元件。詳細(xì)情況在后面敘述，發(fā)光元件分別具有如下結(jié)構(gòu)：該結(jié)構(gòu)具備被一對(duì)電極夾著的有機(jī)層。并且，在此所說的像素是指能夠在顯示區(qū)域61中顯示所希望的顏色的最小單位。在本實(shí)施例的顯示裝置的情況下，由顯示互不相同的發(fā)光的第1發(fā)光元件62r、第2發(fā)光元件62g、第3發(fā)光元件62b的組合構(gòu)成了像素62。像素62多由紅色發(fā)光元件、綠色發(fā)光元件和藍(lán)色發(fā)光元件的組合構(gòu)成，但也可以是黃色發(fā)光元件、藍(lán)色發(fā)光元件和白色發(fā)光元件的組合，只要是至少一種顏色以上，就不特別限制。

圖8的(b)是圖8的(a)中的a-b線處的局部剖視示意圖。像素62在基板63上具有有機(jī)el元件，該有機(jī)el元件具備第1電極(陽極)64、正孔輸送層65、發(fā)光層66r、66g、66b中的任意、電子輸送層67以及第2電極(陰極)68。其中，正孔輸送層65、發(fā)光層66r、66g、66b、電子輸送層67相當(dāng)于有機(jī)層。另外，在本實(shí)施方式中，發(fā)光層66r是發(fā)出紅色的有機(jī)el層，發(fā)光層66g是發(fā)出綠色的有機(jī)el層，發(fā)光層66b是發(fā)出藍(lán)色的有機(jī)el層。發(fā)光層66r、66g、66b形成為與分別發(fā)出紅色、綠色、藍(lán)色的發(fā)光元件(還存在記述為有機(jī)el元件的情況)對(duì)應(yīng)的圖案。另外，第1電極64針對(duì)每個(gè)發(fā)光元件分離地形成。正孔輸送層65、電子輸送層67、第2電極68可以與多個(gè)發(fā)光元件62共同形成，也可以關(guān)于每個(gè)發(fā)光元件分別形成。并且，為了防止第1電極64和第2電極68由于異物而短路，在第1電極64之間設(shè)有絕緣層69。而且，由于有機(jī)el層會(huì)因?yàn)樗趾脱醵踊?，因此設(shè)置有用于保護(hù)有機(jī)el元件免受水分和氧影響的保護(hù)層70。

為了在發(fā)光元件單位中形成有機(jī)el層，因此采用了經(jīng)由掩模成膜的方法。近年，顯示裝置的高精細(xì)化不斷推進(jìn)，在有機(jī)el層的形成中使用了開口的寬度為數(shù)十μm的掩模。在使用了這樣的掩模的成膜的情況下，如果掩模在成膜中從蒸發(fā)源受熱而熱變形，則掩模與基板的位置錯(cuò)位，從而使得形成在基板上的薄膜的圖案從所希望的位置偏移而形成。因此，對(duì)于這些有機(jī)el層的成膜，適合采用本發(fā)明的真空蒸鍍裝置。

接下來，對(duì)有機(jī)el顯示裝置的制造方法的例子具體地進(jìn)行說明。

首先，準(zhǔn)備用于驅(qū)動(dòng)有機(jī)el顯示裝置的電路(未圖示)和形成有第1電極64的基板63。

在形成有第1電極64的基板63上通過旋涂法形成丙烯酸樹脂，并以在形成有第1電極64的部分處形成開口的方式通過光刻法使丙烯酸樹脂形成圖案，從而形成絕緣層69。該開口部相當(dāng)于發(fā)光元件實(shí)際發(fā)光的發(fā)光區(qū)域。

將成圖有絕緣層69的基板63搬入真空蒸鍍裝置，利用本發(fā)明的基板拉伸裝置保持基板，使正孔輸送層65作為共用的層成膜在顯示區(qū)域的第1電極64上。通過真空蒸鍍形成了正孔輸送層65。實(shí)際上，由于正孔輸送層65形成為比顯示區(qū)域61大的尺寸，不需要高精細(xì)的掩模。

接下來，使用蒸鍍掩模，在要配置用于發(fā)出紅色的元件的部分處，形成發(fā)出紅色的發(fā)光層66r。首先，將形成至正孔輸送層65的基板63搬入圖7的真空蒸鍍裝置，并利用基板拉伸裝置進(jìn)行保持。此時(shí)，使用單獨(dú)控制構(gòu)件或單獨(dú)調(diào)整構(gòu)件調(diào)整各把持部的按壓力和拉伸力，以使基板的松弛處于允許范圍內(nèi)。當(dāng)基板的松弛處于允許范圍內(nèi)時(shí)，進(jìn)行與掩模86的對(duì)位(校準(zhǔn))，該掩模86具有與待形成第1發(fā)光元件62r的區(qū)域?qū)?yīng)的開口?？梢詫?duì)應(yīng)于成膜所要求的精度來設(shè)定基板松弛的允許范圍。

在蒸發(fā)源85中收納有作為發(fā)光層66r的材料的有機(jī)el材料，作為用于使有機(jī)材料蒸發(fā)而附著在基板上的準(zhǔn)備，預(yù)先進(jìn)行預(yù)備加熱。預(yù)熱是指：為了使收納于蒸發(fā)源85中的成膜材料的熔融狀態(tài)穩(wěn)定，以與成膜溫度同等的溫度預(yù)先加熱蒸發(fā)源85。根據(jù)利用膜厚監(jiān)視器82獲得的成膜速度(蒸鍍速率)的時(shí)間變化，確認(rèn)成膜材料的熔融狀態(tài)是否穩(wěn)定，然后開始發(fā)光層66r的成膜，從而能夠進(jìn)行高精度的膜厚控制。

根據(jù)本例，能夠在整個(gè)基板的范圍內(nèi)降低基板63的松弛，因此能夠使掩膜和基板良好地重合，進(jìn)行高精度的成膜。

與發(fā)光層66r的成膜相同，使用具有與待形成第2發(fā)光素子62g的區(qū)域?qū)?yīng)的開口的掩膜，成膜出發(fā)出綠色的發(fā)光層66g，使用具有與待形成第3發(fā)光素子62b的區(qū)域?qū)?yīng)的開口的掩膜，成膜出發(fā)出藍(lán)色的發(fā)光層66b。

在發(fā)光層66g、66b的成膜完成后，在整個(gè)顯示區(qū)域61上形成電子輸送層65。電子輸送層65形成為對(duì)第1至第3發(fā)光層共用的層。

將形成至電子輸送層65的基板移動(dòng)至濺鍍裝置，成膜出第2電極68，然后移動(dòng)至等離子cvd裝置成膜出保護(hù)層70，完成有機(jī)el顯示裝置60。

如果形成有絕緣層69的圖案的基板63在搬入真空蒸鍍裝置并完成保護(hù)層70的成膜之前暴露在包含水分或氧的氣氛中，則由有機(jī)el材料構(gòu)成的發(fā)光層由于水分或氧而劣化。因此，在本例中，成膜裝置間的基板的搬入搬出在真空氣氛或惰性氣體氣氛下進(jìn)行。

這樣得到的有機(jī)el顯示裝置對(duì)于每個(gè)發(fā)光元件都能夠高精度地形成發(fā)光層。因此，如果采用上述制造方法，則能夠抑制由發(fā)光層的位置偏移所引起的有機(jī)el顯示裝置的不良情況的發(fā)生。

并且，在此對(duì)使用掩膜進(jìn)行蒸鍍的有機(jī)el表示裝置的制造方法進(jìn)行了敘述，但本申請(qǐng)發(fā)明的基板拉伸裝置的應(yīng)用不限于此。能夠?qū)⒈景l(fā)明的基板拉伸裝置應(yīng)用于與是否使用掩膜無關(guān)地沿著與重力方向交叉的方向支承基板的被處理面并進(jìn)行成膜的情況下的成膜裝置。