技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種取向ITO薄膜的制備方法，將InCl3·4.5H2O、SnCl4·5H2O、溶劑和去離子水混合，放入高壓反應(yīng)釜中反應(yīng)得到ITO噴涂液；將步驟1得到的ITO噴涂液通過空氣霧化或超聲霧化的方式沉積在玻璃基板上，得到取向ITO薄膜。本發(fā)明取向ITO薄膜的制備方法，有如下特點(diǎn)：1.溶膠配制時(shí)間短(1～2h)；2.該溶膠可以在普通鈉鈣玻璃(厚度<5mm，平均透過率為～88.6％)上沉積出具有(l00)取向的ITO玻璃，其電阻率～3×10?4Ω·cm、可見光平均透過率～82％的，且對(duì)沉積環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)。

技術(shù)研發(fā)人員：趙高揚(yáng);高赟;任洋
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西安理工大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610791808
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.31
技術(shù)公布日：2016.12.21