技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種彈簧夾片，彈簧夾片由連接端以及由連接端向外側(cè)延伸的一對彈片構(gòu)成，兩個彈片彼此相對設置，所述彈片在遠離連接端的一側(cè)相互靠近，形成夾持部；所述彈片在夾持部沿一定的弧度相互靠近且距離最小的部位不在彈片的端部及公開了一種應用彈簧夾片夾緊硅片的載具裝置，所述載具裝置由側(cè)板、基座以及彈簧夾片組成；所述基座的兩端固定至側(cè)板；所述彈簧夾片卡接在基座中。通過在原子層沉積設備中設置本申請中的裝置，使得在獲得使用原子層沉積鍍膜技術(shù)鍍高質(zhì)量薄膜的同時，避免了原子層沉積鍍膜技術(shù)帶來的繞鍍問題。

技術(shù)研發(fā)人員：胡彬;過宇晨;左敏
受保護的技術(shù)使用者：江蘇微導納米裝備科技有限公司
文檔號碼：201610700090
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.22
技術(shù)公布日：2016.11.16