1.一種彈簧夾片,其特征在于,彈簧夾片由連接端以及由連接端向外側(cè)延伸的一對(duì)彈片構(gòu)成,兩個(gè)彈片彼此相對(duì)設(shè)置,所述彈片在遠(yuǎn)離連接端的一側(cè)相互靠近,形成夾持部;所述彈片在夾持部沿一定的弧度相互靠近且距離最小的部位不在彈片的端部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種彈簧夾片,其特征在于,所述彈片靠近彈簧夾片的連接端設(shè)有卡接部,所述卡接部卡接于基座。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種彈簧夾片,其特征在于,所述彈簧夾片上鍍耐高溫且硬度較小的材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種彈簧夾片,其特征在于,所述彈簧夾片的厚度為0.1-0.3mm。
5.一種應(yīng)用彈簧夾片夾緊硅片的載具裝置,其特征在于,所述載具裝置由側(cè)板、基座以及彈簧夾片組成;所述基座的兩端固定至側(cè)板;所述彈簧夾片卡接在基座中。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種應(yīng)用彈簧夾片夾緊硅片的載具裝置,其特征在于,所述載具裝置設(shè)有多個(gè)彈簧夾片,每個(gè)彈簧夾片夾持兩片重疊放置的硅片;基座上設(shè)有與彈簧夾片的卡接部相配合的卡槽,彈簧夾片通過卡槽固定至載具裝置中。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種應(yīng)用彈簧夾片夾緊硅片的載具裝置,其特征在于,所述載具裝置設(shè)有至少兩個(gè)基座,每個(gè)基座上設(shè)有多個(gè)卡槽,每一個(gè)卡槽分別與一個(gè)彈簧夾片相對(duì)應(yīng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求5-7任一項(xiàng)所述的一種應(yīng)用彈簧夾片夾緊硅片的載具裝置,其特征在于,所述載具裝置底部設(shè)有承載硅片的硅片托桿。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種應(yīng)用彈簧夾片夾緊硅片的載具裝置,其特征在于,所述載具裝置設(shè)有定位板,定位板卡接設(shè)置在基座上的定位板卡槽中;所述定位板設(shè)置在多個(gè)彈簧夾片的兩側(cè)。