技術編號：11840731
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種彈性夾片及應用該彈性夾片夾緊硅片的載具裝置，實現(xiàn)了在原子層沉積設備中，兩片硅片可以緊密重疊放置，避免了原子層沉積鍍膜技術帶來的繞鍍問題。背景技術為了提高太陽能電池的效率，通常會在電池的背側上添加一個電介質鈍化層，形成鈍化發(fā)射極背面接觸太陽能電池(PERC)，減少電子和空穴的復合，提高了電池轉化效率。目前本領域中為了形成鈍化發(fā)射極背面接觸的光伏電池(或稱太陽能電池)，通常采用AL2O3作為鈍化層鍍在光伏電池上，而針對光伏電池的優(yōu)選的鍍膜方式主要有兩種，一種是等離子增強的化學氣相沉積方...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。