技術(shù)特征：

1.一種清洗液組合物，其特征在于，包含下述化學(xué)式1所表示的化合物：

[化學(xué)式1]

在上述化學(xué)式中，X及Y各自獨(dú)立表示具有非共用電子對的原子或官能團(tuán)，

R¹及R²各自獨(dú)立選自氫原子，羥基，羧基，及被取代或未被取代的、碳原子數(shù)為1至20的烷基，

m及n各自獨(dú)立為1至5的整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗液組合物，其特征在于，

X及Y各自獨(dú)立選自氧族元素原子、氮族元素原子或含有它們的官能團(tuán)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗液組合物，其特征在于，

X為氧原子或-NH，Y為氮原子。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗液組合物，其特征在于，

X為-NH，Y為氮元素，R¹及R²各自獨(dú)立表示氫原子、羥基或羧基。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗液組合物，其特征在于，

還包含氫氧化季銨。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的清洗液組合物，其特征在于，

上述氫氧化季銨包含四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、三甲基(羥乙基)氫氧化銨以及三乙基(羥乙基)氫氧化銨中的一種以上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗液組合物，其特征在于，

還包含有機(jī)胺。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的清洗液組合物，其特征在于，

上述有機(jī)胺為單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、咪唑乙醇、單異丙醇胺、氨基異丙醇、氨基丙醇、甲基氨基乙醇、氨基丁醇、氨基乙氧基乙醇、氨基乙基氨基乙醇、芐基哌嗪、四氫呋喃基胺、二乙烯三胺、三乙四胺以及四乙烯五胺中的一種以上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗液組合物，其特征在于，

清洗液組合物包含1至30重量份的上述化學(xué)式1的化合物、0.1至30重量份的氫氧化季銨以及1至50重量份的有機(jī)胺。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗液組合物，其特征在于，

上述清洗液組合物用于化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)后的清洗。